Рентгеновские исследования дефектов структуры в приповерхностных слоях монокристаллов германия и кремния, деформированных при 310 K

Использован метод рентгеновской дифракции в стандартной геометрии Вульфа - Брэгга для исследования плотности дефектов в приповерхностных слоях деформированных монокристаллов германия и кремния. Исследования поверхности рентгеновских максимумов в системе подвижного образца и неподвижного детектора по...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Видавець:	Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України
Дата:	2003
Автори:	Надточий, В.А., Жихарев, И.В., Голоденко, Н.Н., Киселев, Н.С.
Формат:	Стаття
Мова:	Russian
Опубліковано:	Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України 2003
Назва видання:	Физика и техника высоких давлений
Онлайн доступ:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/167965
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Цитувати:	Рентгеновские исследования дефектов структуры в приповерхностных слоях монокристаллов германия и кремния, деформированных при 310 K / В.А. Надточий, И.В. Жихарев, Н.Н. Голоденко, Н.С. Киселев // Физика и техника высоких давлений. — 2003. — Т. 13, № 1. — С. 91-95. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Репозиторії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	irk-123456789-167965
record_format	dspace
spelling	irk-123456789-1679652020-04-19T01:25:30Z Рентгеновские исследования дефектов структуры в приповерхностных слоях монокристаллов германия и кремния, деформированных при 310 K Надточий, В.А. Жихарев, И.В. Голоденко, Н.Н. Киселев, Н.С. Использован метод рентгеновской дифракции в стандартной геометрии Вульфа - Брэгга для исследования плотности дефектов в приповерхностных слоях деформированных монокристаллов германия и кремния. Исследования поверхности рентгеновских максимумов в системе подвижного образца и неподвижного детектора показали, что распределения интенсивностей пучков, отраженных от поверхностей деформированных и недеформированных кристаллов, отличаются. По виду кривых распределения интенсивностей в максимуме рентгеновских рефлексов эталонного и исследуемого образцов можно дать качественную оценку увеличения плотности дефектов. X-ray diffraction method in standard Bragg geometry was used to investigate the density of defects in subsurface layers of deformed Ge and Si single crystals. X-ray maxima distribution was explored in the movable sample and motionless detector system. It was shown that intensity distributions of X-ray beams reflected from the surfaces of deformed and undeformed samples were different. Qualitative estimation of defects density in deformed crystal can be made by examination of X-ray reflexes intensity distributions on deformed and undeformed samples 2003 Article Рентгеновские исследования дефектов структуры в приповерхностных слоях монокристаллов германия и кремния, деформированных при 310 K / В.А. Надточий, И.В. Жихарев, Н.Н. Голоденко, Н.С. Киселев // Физика и техника высоких давлений. — 2003. — Т. 13, № 1. — С. 91-95. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. 0868-5924 PACS: 71.10.-W http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/167965 ru Физика и техника высоких давлений Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	Russian
description	Использован метод рентгеновской дифракции в стандартной геометрии Вульфа - Брэгга для исследования плотности дефектов в приповерхностных слоях деформированных монокристаллов германия и кремния. Исследования поверхности рентгеновских максимумов в системе подвижного образца и неподвижного детектора показали, что распределения интенсивностей пучков, отраженных от поверхностей деформированных и недеформированных кристаллов, отличаются. По виду кривых распределения интенсивностей в максимуме рентгеновских рефлексов эталонного и исследуемого образцов можно дать качественную оценку увеличения плотности дефектов.
format	Article
author	Надточий, В.А. Жихарев, И.В. Голоденко, Н.Н. Киселев, Н.С.
spellingShingle	Надточий, В.А. Жихарев, И.В. Голоденко, Н.Н. Киселев, Н.С. Рентгеновские исследования дефектов структуры в приповерхностных слоях монокристаллов германия и кремния, деформированных при 310 K Физика и техника высоких давлений
author_facet	Надточий, В.А. Жихарев, И.В. Голоденко, Н.Н. Киселев, Н.С.
author_sort	Надточий, В.А.
title	Рентгеновские исследования дефектов структуры в приповерхностных слоях монокристаллов германия и кремния, деформированных при 310 K
title_short	Рентгеновские исследования дефектов структуры в приповерхностных слоях монокристаллов германия и кремния, деформированных при 310 K
title_full	Рентгеновские исследования дефектов структуры в приповерхностных слоях монокристаллов германия и кремния, деформированных при 310 K
title_fullStr	Рентгеновские исследования дефектов структуры в приповерхностных слоях монокристаллов германия и кремния, деформированных при 310 K
title_full_unstemmed	Рентгеновские исследования дефектов структуры в приповерхностных слоях монокристаллов германия и кремния, деформированных при 310 K
title_sort	рентгеновские исследования дефектов структуры в приповерхностных слоях монокристаллов германия и кремния, деформированных при 310 k
publisher	Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України
publishDate	2003
url	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/167965
citation_txt	Рентгеновские исследования дефектов структуры в приповерхностных слоях монокристаллов германия и кремния, деформированных при 310 K / В.А. Надточий, И.В. Жихарев, Н.Н. Голоденко, Н.С. Киселев // Физика и техника высоких давлений. — 2003. — Т. 13, № 1. — С. 91-95. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.
series	Физика и техника высоких давлений
work_keys_str_mv	AT nadtočijva rentgenovskieissledovaniâdefektovstrukturyvpripoverhnostnyhsloâhmonokristallovgermaniâikremniâdeformirovannyhpri310k AT žihareviv rentgenovskieissledovaniâdefektovstrukturyvpripoverhnostnyhsloâhmonokristallovgermaniâikremniâdeformirovannyhpri310k AT golodenkonn rentgenovskieissledovaniâdefektovstrukturyvpripoverhnostnyhsloâhmonokristallovgermaniâikremniâdeformirovannyhpri310k AT kiselevns rentgenovskieissledovaniâdefektovstrukturyvpripoverhnostnyhsloâhmonokristallovgermaniâikremniâdeformirovannyhpri310k
first_indexed	2023-10-18T22:21:55Z
last_indexed	2023-10-18T22:21:55Z
_version_	1796155324339585024

Рентгеновские исследования дефектов структуры в приповерхностных слоях монокристаллов германия и кремния, деформированных при 310 K

Репозиторії

Схожі ресурси