Вплив структури плівок алюмінію та режимів формовки пор на нанопоруватий анодний оксид алюмінію для оптичних сенсорів
Цель исследований – установление зависимости между режимами осаждения пленок алюминия и их структурой, а также структурой формируемых из них пленок пористого анодного оксида алюминия (ПАОА)....
Збережено в:
| Видавець: | Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України |
|---|---|
| Дата: | 2019 |
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України
2019
|
| Назва видання: | Комп’ютерні засоби, мережі та системи |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/168478 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Цитувати: | Вплив структури плівок алюмінію та режимів формовки пор на нанопоруватий анодний оксид алюмінію для оптичних сенсорів / Т.С. Лєбєдєва, П.Б. Шпильовий, Ю.О. Фролов // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2019. — № 18. — С. 62-69. — Бібліогр.: 11 назв. — укр. |
Репозиторії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-168478 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1684782020-05-04T01:26:00Z Вплив структури плівок алюмінію та режимів формовки пор на нанопоруватий анодний оксид алюмінію для оптичних сенсорів Лєбєдєва, Т.С. Шпильовий, П.Б. Фролов, Ю.О. Мета досліджень – встановлення залежності між режимами осадження плівок алюмінію та їх структурою, а також структурою отримуваних з них плівок пористого анодного оксиду алюмінію (ПАОА). Цель исследований – установление зависимости между режимами осаждения пленок алюминия и их структурой, а также структурой формируемых из них пленок пористого анодного оксида алюминия (ПАОА). The aim of the research is to investigate the relationship between the deposition modes of aluminum films, their structure and properties of porous anodic alumina (PAA) films obtained from the aluminum films. 2019 Article Вплив структури плівок алюмінію та режимів формовки пор на нанопоруватий анодний оксид алюмінію для оптичних сенсорів / Т.С. Лєбєдєва, П.Б. Шпильовий, Ю.О. Фролов // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2019. — № 18. — С. 62-69. — Бібліогр.: 11 назв. — укр. 1817-9908 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/168478 uk Комп’ютерні засоби, мережі та системи Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Ukrainian |
| topic |
Мета досліджень – встановлення залежності між режимами осадження плівок алюмінію та їх структурою, а також структурою отримуваних з них плівок пористого анодного оксиду алюмінію (ПАОА). Мета досліджень – встановлення залежності між режимами осадження плівок алюмінію та їх структурою, а також структурою отримуваних з них плівок пористого анодного оксиду алюмінію (ПАОА). |
| spellingShingle |
Мета досліджень – встановлення залежності між режимами осадження плівок алюмінію та їх структурою, а також структурою отримуваних з них плівок пористого анодного оксиду алюмінію (ПАОА). Мета досліджень – встановлення залежності між режимами осадження плівок алюмінію та їх структурою, а також структурою отримуваних з них плівок пористого анодного оксиду алюмінію (ПАОА). Лєбєдєва, Т.С. Шпильовий, П.Б. Фролов, Ю.О. Вплив структури плівок алюмінію та режимів формовки пор на нанопоруватий анодний оксид алюмінію для оптичних сенсорів Комп’ютерні засоби, мережі та системи |
| description |
Цель исследований – установление зависимости между режимами осаждения пленок алюминия и их структурой, а также структурой формируемых из них пленок пористого анодного оксида алюминия (ПАОА). |
| format |
Article |
| author |
Лєбєдєва, Т.С. Шпильовий, П.Б. Фролов, Ю.О. |
| author_facet |
Лєбєдєва, Т.С. Шпильовий, П.Б. Фролов, Ю.О. |
| author_sort |
Лєбєдєва, Т.С. |
| title |
Вплив структури плівок алюмінію та режимів формовки пор на нанопоруватий анодний оксид алюмінію для оптичних сенсорів |
| title_short |
Вплив структури плівок алюмінію та режимів формовки пор на нанопоруватий анодний оксид алюмінію для оптичних сенсорів |
| title_full |
Вплив структури плівок алюмінію та режимів формовки пор на нанопоруватий анодний оксид алюмінію для оптичних сенсорів |
| title_fullStr |
Вплив структури плівок алюмінію та режимів формовки пор на нанопоруватий анодний оксид алюмінію для оптичних сенсорів |
| title_full_unstemmed |
Вплив структури плівок алюмінію та режимів формовки пор на нанопоруватий анодний оксид алюмінію для оптичних сенсорів |
| title_sort |
вплив структури плівок алюмінію та режимів формовки пор на нанопоруватий анодний оксид алюмінію для оптичних сенсорів |
| publisher |
Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України |
| publishDate |
2019 |
| topic_facet |
Мета досліджень – встановлення залежності між режимами осадження плівок алюмінію та їх структурою, а також структурою отримуваних з них плівок пористого анодного оксиду алюмінію (ПАОА). |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/168478 |
| citation_txt |
Вплив структури плівок алюмінію та режимів формовки пор на нанопоруватий анодний оксид алюмінію для оптичних сенсорів / Т.С. Лєбєдєва, П.Б. Шпильовий, Ю.О. Фролов // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2019. — № 18. — С. 62-69. — Бібліогр.: 11 назв. — укр. |
| series |
Комп’ютерні засоби, мережі та системи |
| work_keys_str_mv |
AT lêbêdêvats vplivstrukturiplívokalûmíníûtarežimívformovkipornananoporuvatijanodnijoksidalûmíníûdlâoptičnihsensorív AT špilʹovijpb vplivstrukturiplívokalûmíníûtarežimívformovkipornananoporuvatijanodnijoksidalûmíníûdlâoptičnihsensorív AT frolovûo vplivstrukturiplívokalûmíníûtarežimívformovkipornananoporuvatijanodnijoksidalûmíníûdlâoptičnihsensorív |
| first_indexed |
2023-10-18T22:22:59Z |
| last_indexed |
2023-10-18T22:22:59Z |
| _version_ |
1796155371887263744 |