2025-02-22T23:27:35-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-17390%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-22T23:27:35-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-17390%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-22T23:27:35-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-22T23:27:35-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения
На примере титан-кремниевых композитов (содержание кремния в катоде 4…5 вес.%) изучались особенности переноса составляющих катодного материала к покрытиям, осаждаемым вакуумно-дуговым методом в присутствии азота. Изучалась эволюция свойств покрытий (микротвёрдости, элементного и фазового составов) с...
Saved in:
| Main Authors: | , , , , , , , |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2010
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/17390 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| id |
irk-123456789-17390 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-173902011-02-27T12:04:20Z Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения Аксёнов, И.И. Белоус, В.А. Голтвяница, С.К. Голтвяница, В.С. Заднепровский, Ю.А. Куприн, А.С. Ломино, Н.С. Соболь, О.В. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий На примере титан-кремниевых композитов (содержание кремния в катоде 4…5 вес.%) изучались особенности переноса составляющих катодного материала к покрытиям, осаждаемым вакуумно-дуговым методом в присутствии азота. Изучалась эволюция свойств покрытий (микротвёрдости, элементного и фазового составов) с изменением давления газа в реакционном объёме. Установлен немонотонный характер зависимости содержания кремния в покрытии от давления газа с минимумом в области 10^−3 Торр. Описан предположительный механизм формирования такой зависимости. На прикладі титан-силіцієвих композитів (вміст силіцію в катоді 4…5 ваг.%) вивчались особливості переносу складових катодного матеріалу до покриттів, осаджуваних вакуумно-дуговим методом у присутності азоту. Вивчалась еволюція властивостей покриттів (мікротвердість, елементного й фазового складів) із зміною тиску газу в реакційному області. Встановлено немонотонний характер залежності вмісту силіцію в покритті від тиску газу з мінімумом в області 10^−3 Торр. Описані припущення щодо механізму формування такої залежності. On an example of the titanium-silicon composites (the silicon content in the cathode of 4…5 wt.%) features of cathodic material components transport to the coatings, deposited by a vacuum-arc method in presence of nitrogen, were studied. Evolution of properties of the coatings (microhardness, element and phase structures) with change of the gas pressure in reaction area was studied. Nonmonotonic character of dependences of the silicon content in the coating on the gas pressure with a minimum in region of 10^−3 Тоrr is revealed . The hypothetical mechanism of formation of such dependence is described. 2010 Article Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения / И.И. Аксёнов, В.А. Белоус, С.К. Голтвяница, В.С. Голтвяница, Ю.А. Заднепровский, А.С. Куприн, Н.С. Ломино, О.В. Соболь // Вопросы атомной науки и техники. — 2010. — № 5. — С. 119-125. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. 1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/17390 621.793 ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| spellingShingle |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Аксёнов, И.И. Белоус, В.А. Голтвяница, С.К. Голтвяница, В.С. Заднепровский, Ю.А. Куприн, А.С. Ломино, Н.С. Соболь, О.В. Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения |
| description |
На примере титан-кремниевых композитов (содержание кремния в катоде 4…5 вес.%) изучались особенности переноса составляющих катодного материала к покрытиям, осаждаемым вакуумно-дуговым методом в присутствии азота. Изучалась эволюция свойств покрытий (микротвёрдости, элементного и фазового составов) с изменением давления газа в реакционном объёме. Установлен немонотонный характер зависимости содержания кремния в покрытии от давления газа с минимумом в области 10^−3 Торр. Описан предположительный механизм формирования такой зависимости. |
| format |
Article |
| author |
Аксёнов, И.И. Белоус, В.А. Голтвяница, С.К. Голтвяница, В.С. Заднепровский, Ю.А. Куприн, А.С. Ломино, Н.С. Соболь, О.В. |
| author_facet |
Аксёнов, И.И. Белоус, В.А. Голтвяница, С.К. Голтвяница, В.С. Заднепровский, Ю.А. Куприн, А.С. Ломино, Н.С. Соболь, О.В. |
| author_sort |
Аксёнов, И.И. |
| title |
Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения |
| title_short |
Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения |
| title_full |
Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения |
| title_fullStr |
Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения |
| title_full_unstemmed |
Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения |
| title_sort |
перенос и удержание кремния в тi-si-n-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2010 |
| topic_facet |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/17390 |
| citation_txt |
Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения / И.И. Аксёнов, В.А. Белоус, С.К. Голтвяница, В.С. Голтвяница, Ю.А. Заднепровский, А.С. Куприн, Н.С. Ломино, О.В. Соболь // Вопросы атомной науки и техники. — 2010. — № 5. — С. 119-125. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT aksënovii perenosiuderžaniekremniâvtisinpokrytiâhvprocessevakuumnodugovogoosaždeniâ AT belousva perenosiuderžaniekremniâvtisinpokrytiâhvprocessevakuumnodugovogoosaždeniâ AT goltvânicask perenosiuderžaniekremniâvtisinpokrytiâhvprocessevakuumnodugovogoosaždeniâ AT goltvânicavs perenosiuderžaniekremniâvtisinpokrytiâhvprocessevakuumnodugovogoosaždeniâ AT zadneprovskijûa perenosiuderžaniekremniâvtisinpokrytiâhvprocessevakuumnodugovogoosaždeniâ AT kuprinas perenosiuderžaniekremniâvtisinpokrytiâhvprocessevakuumnodugovogoosaždeniâ AT lominons perenosiuderžaniekremniâvtisinpokrytiâhvprocessevakuumnodugovogoosaždeniâ AT sobolʹov perenosiuderžaniekremniâvtisinpokrytiâhvprocessevakuumnodugovogoosaždeniâ |
| first_indexed |
2023-10-18T16:59:56Z |
| last_indexed |
2023-10-18T16:59:56Z |
| _version_ |
1796140418541289472 |