2025-02-23T12:08:23-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-174052%22&qt=morelikethis&rows=5

2025-02-23T12:08:23-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-174052%22&qt=morelikethis&rows=5

2025-02-23T12:08:23-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK

2025-02-23T12:08:23-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response

Установка протонно-лучевой литографии на базе электростатического ускорителя для фабрикации 3D микро- и наноструктур

Введение. Поверхностные микро- и наноструктуры находят свое применение в различных физических приложениях, таких как рентгеновская оптика, фотоника, микроэлектромеханические системы, метаматериалы и др. Проблематика. Существующие методы фабрикации таких структур являются либо дорогостоящими, либо н...

Full description

Saved in:

Bibliographic Details
Main Authors:	Пономарев, А.Г., Ребров, В.А., Колинько, С.В.
Format:	Article
Language:	Russian
Published:	Видавничий дім "Академперіодика" НАН України 2019
Series:	Наука та інновації
Subjects:	Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України
Online Access:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/174052
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!

Be the first to leave a comment!

Установка протонно-лучевой литографии на базе электростатического ускорителя для фабрикации 3D микро- и наноструктур

Similar Items