Разработка и исследование макета низкочастотного источника питания сильноточного импульсного магнетронного разряда
В работе решалась задача создания импульсного источника питания разряда, совместимого с технологическими плазменными устройствами магнетронного типа, имеющими несбалансированную магнитную систему. Целью работы было создание схемы модуляции разрядного напряжения разряда магнетрона, основанной на недо...
Збережено в:
| Дата: | 2019 |
|---|---|
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут технічної механіки НАН України і НКА України
2019
|
| Назва видання: | Технічна механіка |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/174090 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Разработка и исследование макета низкочастотного источника питания сильноточного импульсного магнетронного разряда / А.Д. Гришкевич, С.И. Гринюк // Технічна механіка.— 2019.— № 4.— С. 137-147.— Бібліогр.: 12 назв.— рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| Резюме: | В работе решалась задача создания импульсного источника питания разряда, совместимого с технологическими плазменными устройствами магнетронного типа, имеющими несбалансированную магнитную систему. Целью работы было создание схемы модуляции разрядного напряжения разряда магнетрона, основанной на недорогих, доступных электронных компонентах. Рассматриваются возможности реализации комплексной технологии поверхностной обработки, базирующиеся на использовании импульсного потока энергетичной газометаллической плазмы, генерируемого аномальным тлеющим разрядом с замкнутым дрейфом электронов. |
|---|