Особенности электронных свойств δ‹Sb›-слоев в эпитаксиальном кремнии. 1. Общая физическая картина
Изучено температурное изменение (в интервале 1,6-300 К) электронных кинетических характеристик (проводимости, магнитосопротивления, эдс Холла) кристаллов эпитаксиального кремния, содержащих δ(Sb)-слой с различной поверхностной концентрацией легирующих атомов сурьмы. Впервые установлено, что при темп...
Збережено в:
Дата: | 1996 |
---|---|
Автори: | , , , , , , |
Формат: | Стаття |
Мова: | Russian |
Опубліковано: |
Фізико-технічний інститут низьких температур ім. Б.І. Вєркіна НАН України
1996
|
Назва видання: | Физика низких температур |
Теми: | |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/174976 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Особенности электронных свойств δ‹Sb›-слоев в эпитаксиальном кремнии. 1. Общая физическая картина / В.Ю. Каширин, Ю.Ф. Комник, Вит.Б. Красовицкий, О.А. Миронов, О.Н. Макаровский, Ч.Дж. Эмелеус, Т.Э. Волл // Физика низких температур. — 1996. — Т. 22, № 10. — С. 1166-1173. — Бібліогр.: 26 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraineid |
irk-123456789-174976 |
---|---|
record_format |
dspace |
spelling |
irk-123456789-1749762021-01-30T01:26:24Z Особенности электронных свойств δ‹Sb›-слоев в эпитаксиальном кремнии. 1. Общая физическая картина Каширин, В.Ю. Комник, Ю.Ф. Красовицкий, Вит.Б. Миронов, О.А. Макаровский, О.Н. Emeleus, C.J. Whall, T.E. Электpонные свойства металлов и сплавов Изучено температурное изменение (в интервале 1,6-300 К) электронных кинетических характеристик (проводимости, магнитосопротивления, эдс Холла) кристаллов эпитаксиального кремния, содержащих δ(Sb)-слой с различной поверхностной концентрацией легирующих атомов сурьмы. Впервые установлено, что при температурах выше 30 К свойства образцов отражают поведение электронов не только в самом δ-слое, но и в прилегающих к нему областях, имеющих свойства легированною полупроводника с четко выраженной температурной областью экспоненциальной зависимости сопротивления от обратной температуры. Вивчено температурну зміну (в інтервалі 1,6-300 К) електронних кінетичних характеристик (провідності, магнітоопору, ерс Холла) кристалів епітаксійного кремнію, що містять у собі δ(Sb)-шар з різною поверхневою концентрацією легуючих атомів стибію. Вперше установлено, що при температурах вищих ніж 30 К властивості зразків відображують поведінку електронів не тільки в самому δ-шарі, але й в прилеглих до нього областях, які мають властивості легуючого напівпровідника з чітко виявленою температурною областю експоненційної залежності опору від зворотної температури. The variation of electronic kinetic characteristics (conductivity, magnetoresistance, Hall emf) with temperature has been studied over а temperaiure range 1.6-300 К in epitaxial Si crystals involving δ(Sb) layer with а different sheet concentration of Sb doping atoms. It has been established for the first time that at the temperatures above 30 К the properties of these samples reflect the behavior of electrons not only in the very δ-layer but also in the adjacent regions showing the alloyed semiconductor properties with а clearly defined temperature region of exponential variation of resistance with inverse temperature. 1996 Article Особенности электронных свойств δ‹Sb›-слоев в эпитаксиальном кремнии. 1. Общая физическая картина / В.Ю. Каширин, Ю.Ф. Комник, Вит.Б. Красовицкий, О.А. Миронов, О.Н. Макаровский, Ч.Дж. Эмелеус, Т.Э. Волл // Физика низких температур. — 1996. — Т. 22, № 10. — С. 1166-1173. — Бібліогр.: 26 назв. — рос. 0132-6414 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/174976 ru Физика низких температур Фізико-технічний інститут низьких температур ім. Б.І. Вєркіна НАН України |
institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
collection |
DSpace DC |
language |
Russian |
topic |
Электpонные свойства металлов и сплавов Электpонные свойства металлов и сплавов |
spellingShingle |
Электpонные свойства металлов и сплавов Электpонные свойства металлов и сплавов Каширин, В.Ю. Комник, Ю.Ф. Красовицкий, Вит.Б. Миронов, О.А. Макаровский, О.Н. Emeleus, C.J. Whall, T.E. Особенности электронных свойств δ‹Sb›-слоев в эпитаксиальном кремнии. 1. Общая физическая картина Физика низких температур |
description |
Изучено температурное изменение (в интервале 1,6-300 К) электронных кинетических характеристик (проводимости, магнитосопротивления, эдс Холла) кристаллов эпитаксиального кремния, содержащих δ(Sb)-слой с различной поверхностной концентрацией легирующих атомов сурьмы. Впервые установлено, что при температурах выше 30 К свойства образцов отражают поведение электронов не только в самом δ-слое, но и в прилегающих к нему областях, имеющих свойства легированною полупроводника с четко выраженной температурной областью экспоненциальной зависимости сопротивления от обратной температуры. |
format |
Article |
author |
Каширин, В.Ю. Комник, Ю.Ф. Красовицкий, Вит.Б. Миронов, О.А. Макаровский, О.Н. Emeleus, C.J. Whall, T.E. |
author_facet |
Каширин, В.Ю. Комник, Ю.Ф. Красовицкий, Вит.Б. Миронов, О.А. Макаровский, О.Н. Emeleus, C.J. Whall, T.E. |
author_sort |
Каширин, В.Ю. |
title |
Особенности электронных свойств δ‹Sb›-слоев в эпитаксиальном кремнии. 1. Общая физическая картина |
title_short |
Особенности электронных свойств δ‹Sb›-слоев в эпитаксиальном кремнии. 1. Общая физическая картина |
title_full |
Особенности электронных свойств δ‹Sb›-слоев в эпитаксиальном кремнии. 1. Общая физическая картина |
title_fullStr |
Особенности электронных свойств δ‹Sb›-слоев в эпитаксиальном кремнии. 1. Общая физическая картина |
title_full_unstemmed |
Особенности электронных свойств δ‹Sb›-слоев в эпитаксиальном кремнии. 1. Общая физическая картина |
title_sort |
особенности электронных свойств δ‹sb›-слоев в эпитаксиальном кремнии. 1. общая физическая картина |
publisher |
Фізико-технічний інститут низьких температур ім. Б.І. Вєркіна НАН України |
publishDate |
1996 |
topic_facet |
Электpонные свойства металлов и сплавов |
url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/174976 |
citation_txt |
Особенности электронных свойств δ‹Sb›-слоев в эпитаксиальном кремнии. 1. Общая физическая картина / В.Ю. Каширин, Ю.Ф. Комник, Вит.Б. Красовицкий, О.А. Миронов, О.Н. Макаровский, Ч.Дж. Эмелеус, Т.Э. Волл // Физика низких температур. — 1996. — Т. 22, № 10. — С. 1166-1173. — Бібліогр.: 26 назв. — рос. |
series |
Физика низких температур |
work_keys_str_mv |
AT kaširinvû osobennostiélektronnyhsvojstvdsbsloevvépitaksialʹnomkremnii1obŝaâfizičeskaâkartina AT komnikûf osobennostiélektronnyhsvojstvdsbsloevvépitaksialʹnomkremnii1obŝaâfizičeskaâkartina AT krasovickijvitb osobennostiélektronnyhsvojstvdsbsloevvépitaksialʹnomkremnii1obŝaâfizičeskaâkartina AT mironovoa osobennostiélektronnyhsvojstvdsbsloevvépitaksialʹnomkremnii1obŝaâfizičeskaâkartina AT makarovskijon osobennostiélektronnyhsvojstvdsbsloevvépitaksialʹnomkremnii1obŝaâfizičeskaâkartina AT emeleuscj osobennostiélektronnyhsvojstvdsbsloevvépitaksialʹnomkremnii1obŝaâfizičeskaâkartina AT whallte osobennostiélektronnyhsvojstvdsbsloevvépitaksialʹnomkremnii1obŝaâfizičeskaâkartina |
first_indexed |
2023-10-18T22:37:43Z |
last_indexed |
2023-10-18T22:37:43Z |
_version_ |
1796156011862556672 |