Синтез плівок TiO2 методом хімічного газофазного осадження та їх властивості
Проведено дослідження процесу синтезу тонких плівок ТіО2 методом хімічного газофазного осадження. Рентгенографічні дослідження показали, що плівки, синтезовані при температурах 500°С і вище, є кристалічними і мають структуру рутилу. Встановлено, що зарядовий стан атомів титану у зразку TiO―Ni (Тсинт...
Збережено в:
| Дата: | 2008 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України
2008
|
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/17672 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Синтез плівок TiO2 методом хімічного газофазного осадження та їх властивості / П.М. Силенко, Д.Б. Данько, А.М. Шлапак, О.Г. Єршова, Ю.М. Солонін // Электронная микроскопия и прочность материалов: Сб. научн . тр. — К.: ІПМ НАН України, 2008. — Вип. 15. — С. 145-152. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-17672 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-176722011-03-06T12:03:45Z Синтез плівок TiO2 методом хімічного газофазного осадження та їх властивості Силенко, П.М. Данько, Д.Б. Шлапак, А.М. Єршова, О.Г. Солонін, Ю.М. Проведено дослідження процесу синтезу тонких плівок ТіО2 методом хімічного газофазного осадження. Рентгенографічні дослідження показали, що плівки, синтезовані при температурах 500°С і вище, є кристалічними і мають структуру рутилу. Встановлено, що зарядовий стан атомів титану у зразку TiO―Ni (Тсинтезу = 600°С) такий же, як у чистому диоксиді титану, а у зразку, синтезованому при 500°С, енергія зв’язку Ті2р-електронів дещо менша. Отже, вказаний зразок містить суміш диоксиду титану та незначні домішки нестехіометричного оксиду титану. Встановлено, що температура синтезу впливає на структуру поверхні. Показано, що кращі фотоелектрохімічні властивості мають плівки зі структурою рутилу та з розвиненою поверхнею. 2008 Article Синтез плівок TiO2 методом хімічного газофазного осадження та їх властивості / П.М. Силенко, Д.Б. Данько, А.М. Шлапак, О.Г. Єршова, Ю.М. Солонін // Электронная микроскопия и прочность материалов: Сб. научн . тр. — К.: ІПМ НАН України, 2008. — Вип. 15. — С. 145-152. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. XXXX-0048 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/17672 661.8: 546.821 ru Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| description |
Проведено дослідження процесу синтезу тонких плівок ТіО2 методом хімічного газофазного осадження. Рентгенографічні дослідження показали, що плівки, синтезовані при температурах 500°С і вище, є кристалічними і мають структуру рутилу. Встановлено, що зарядовий стан атомів титану у зразку TiO―Ni (Тсинтезу = 600°С) такий же, як у чистому диоксиді титану, а у зразку, синтезованому при 500°С, енергія зв’язку Ті2р-електронів дещо менша. Отже, вказаний зразок містить суміш диоксиду титану та незначні домішки нестехіометричного оксиду титану. Встановлено, що температура синтезу впливає на структуру поверхні. Показано, що кращі фотоелектрохімічні властивості мають плівки зі структурою рутилу та з розвиненою поверхнею. |
| format |
Article |
| author |
Силенко, П.М. Данько, Д.Б. Шлапак, А.М. Єршова, О.Г. Солонін, Ю.М. |
| spellingShingle |
Силенко, П.М. Данько, Д.Б. Шлапак, А.М. Єршова, О.Г. Солонін, Ю.М. Синтез плівок TiO2 методом хімічного газофазного осадження та їх властивості |
| author_facet |
Силенко, П.М. Данько, Д.Б. Шлапак, А.М. Єршова, О.Г. Солонін, Ю.М. |
| author_sort |
Силенко, П.М. |
| title |
Синтез плівок TiO2 методом хімічного газофазного осадження та їх властивості |
| title_short |
Синтез плівок TiO2 методом хімічного газофазного осадження та їх властивості |
| title_full |
Синтез плівок TiO2 методом хімічного газофазного осадження та їх властивості |
| title_fullStr |
Синтез плівок TiO2 методом хімічного газофазного осадження та їх властивості |
| title_full_unstemmed |
Синтез плівок TiO2 методом хімічного газофазного осадження та їх властивості |
| title_sort |
синтез плівок tio2 методом хімічного газофазного осадження та їх властивості |
| publisher |
Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України |
| publishDate |
2008 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/17672 |
| citation_txt |
Синтез плівок TiO2 методом хімічного газофазного осадження та їх властивості / П.М. Силенко, Д.Б. Данько, А.М. Шлапак, О.Г. Єршова, Ю.М. Солонін // Электронная микроскопия и прочность материалов: Сб. научн . тр. — К.: ІПМ НАН України, 2008. — Вип. 15. — С. 145-152. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT silenkopm sintezplívoktio2metodomhímíčnogogazofaznogoosadžennâtaíhvlastivostí AT danʹkodb sintezplívoktio2metodomhímíčnogogazofaznogoosadžennâtaíhvlastivostí AT šlapakam sintezplívoktio2metodomhímíčnogogazofaznogoosadžennâtaíhvlastivostí AT êršovaog sintezplívoktio2metodomhímíčnogogazofaznogoosadžennâtaíhvlastivostí AT solonínûm sintezplívoktio2metodomhímíčnogogazofaznogoosadžennâtaíhvlastivostí |
| first_indexed |
2023-10-18T17:00:35Z |
| last_indexed |
2023-10-18T17:00:35Z |
| _version_ |
1796140446168121344 |