Синтез плівок TiO2 методом хімічного газофазного осадження та їх властивості

• Дата: 2008
• Автори: Силенко, П.М., Данько, Д.Б., Шлапак, А.М., Єршова, О.Г., Солонін, Ю.М.
• Формат: Стаття
• Мова: Russian
• Опубліковано: Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України 2008
• Онлайн доступ: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/17672
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Синтез плівок TiO2 методом хімічного газофазного осадження та їх властивості / П.М. Силенко, Д.Б. Данько, А.М. Шлапак, О.Г. Єршова, Ю.М. Солонін // Электронная микроскопия и прочность материалов: Сб. научн . тр. — К.: ІПМ НАН України, 2008. — Вип. 15. — С. 145-152. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.

Проведено дослідження процесу синтезу тонких плівок ТіО2 методом хімічного газофазного осадження. Рентгенографічні дослідження показали, що плівки, синтезовані при температурах 500°С і вище, є кристалічними і мають структуру рутилу. Встановлено, що зарядовий стан атомів титану у зразку TiO―Ni (Тсинт...