Using of electron cyclotron resonance discharge in ion beam sputtering systems for space charge compensation
The possibility of using a magnetic mirror in the output gap of ion source with a closed electron drift to generating of an additional gas discharge by using the electron-cyclotron resonance to compensate of the ion beam space charge is studied. The first experiments have shown that an additional mi...
Збережено в:
| Дата: | 2019 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2019
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/194631 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Using of electron cyclotron resonance discharge in ion beam sputtering systems for space charge compensation / A.A. Bizyukov, I.K. Tarasov, A.D. Chibisov // Problems of atomic science and technology. — 2019. — № 1. — С. 124-126. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-194631 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1946312023-11-28T11:52:25Z Using of electron cyclotron resonance discharge in ion beam sputtering systems for space charge compensation Bizyukov, A.A. Tarasov, I.K. Chibisov, A.D. Low temperature plasma and plasma technologies The possibility of using a magnetic mirror in the output gap of ion source with a closed electron drift to generating of an additional gas discharge by using the electron-cyclotron resonance to compensate of the ion beam space charge is studied. The first experiments have shown that an additional microwave discharge generated in the region of the annular gap when the microwave power is applied. An additional plasma source of electrons provides the maintenance and intensification of the gas discharge in the accelerator with an anode layer. Вивчено можливість використання пастки пробочного типу у вихідному зазорі джерела іонів із замкнутим електронним дрейфом для генерації додаткового газового розряду з використанням електронно-циклотронного резонансу та компенсації просторового заряду іонного пучка. Перші експерименти показали, що генерується додатковий НВЧ-розряд в області кільцевого зазору при подачі НВЧ-потужності. Додаткове плазмове джерело електронів забезпечує підтримку та інтенсифікацію газового розряду в прискорювачі з анодним шаром. Изучена возможность использования ловушки пробочного типа в выходном зазоре источника ионов с замкнутым электронным дрейфом для генерации дополнительного газового разряда с использованием электронно-циклотронного резонанса и компенсации пространственного заряда ионного пучка. Первые эксперименты показали, что генерируется дополнительный СВЧ-разряд в области кольцевого зазора при подаче СВЧ-мощности. Дополнительный плазменный источник электронов обеспечивает поддержание и интенсификацию газового разряда в ускорителе с анодным слоем. 2019 Article Using of electron cyclotron resonance discharge in ion beam sputtering systems for space charge compensation / A.A. Bizyukov, I.K. Tarasov, A.D. Chibisov // Problems of atomic science and technology. — 2019. — № 1. — С. 124-126. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.40.hf http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/194631 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| topic |
Low temperature plasma and plasma technologies Low temperature plasma and plasma technologies |
| spellingShingle |
Low temperature plasma and plasma technologies Low temperature plasma and plasma technologies Bizyukov, A.A. Tarasov, I.K. Chibisov, A.D. Using of electron cyclotron resonance discharge in ion beam sputtering systems for space charge compensation Вопросы атомной науки и техники |
| description |
The possibility of using a magnetic mirror in the output gap of ion source with a closed electron drift to generating of an additional gas discharge by using the electron-cyclotron resonance to compensate of the ion beam space charge is studied. The first experiments have shown that an additional microwave discharge generated in the region of the annular gap when the microwave power is applied. An additional plasma source of electrons provides the maintenance and intensification of the gas discharge in the accelerator with an anode layer. |
| format |
Article |
| author |
Bizyukov, A.A. Tarasov, I.K. Chibisov, A.D. |
| author_facet |
Bizyukov, A.A. Tarasov, I.K. Chibisov, A.D. |
| author_sort |
Bizyukov, A.A. |
| title |
Using of electron cyclotron resonance discharge in ion beam sputtering systems for space charge compensation |
| title_short |
Using of electron cyclotron resonance discharge in ion beam sputtering systems for space charge compensation |
| title_full |
Using of electron cyclotron resonance discharge in ion beam sputtering systems for space charge compensation |
| title_fullStr |
Using of electron cyclotron resonance discharge in ion beam sputtering systems for space charge compensation |
| title_full_unstemmed |
Using of electron cyclotron resonance discharge in ion beam sputtering systems for space charge compensation |
| title_sort |
using of electron cyclotron resonance discharge in ion beam sputtering systems for space charge compensation |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2019 |
| topic_facet |
Low temperature plasma and plasma technologies |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/194631 |
| citation_txt |
Using of electron cyclotron resonance discharge in ion beam sputtering systems for space charge compensation / A.A. Bizyukov, I.K. Tarasov, A.D. Chibisov // Problems of atomic science and technology. — 2019. — № 1. — С. 124-126. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT bizyukovaa usingofelectroncyclotronresonancedischargeinionbeamsputteringsystemsforspacechargecompensation AT tarasovik usingofelectroncyclotronresonancedischargeinionbeamsputteringsystemsforspacechargecompensation AT chibisovad usingofelectroncyclotronresonancedischargeinionbeamsputteringsystemsforspacechargecompensation |
| first_indexed |
2024-03-31T09:12:13Z |
| last_indexed |
2024-03-31T09:12:13Z |
| _version_ |
1796157969787781120 |