Investigation of the influence of Ar pressure on vacuum-arc plasma with Cr-, Cu-, and Zr-cathodes
The work deals with the influence of argon pressure on the ion current of vacuum-arc discharge in the “Bulat-6” setup with Cr-Cu-Zr-cathodes, and also, on the rate of coating deposition on the surfaces being perpendicular and parallel to the plasma stream. It is shown that a substantial decrease in...
Збережено в:
| Дата: | 2019 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2019
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/194705 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Investigation of the influence of Ar pressure on vacuum-arc plasma with Cr-, Cu-, and Zr-cathodes / Yu.V. Kovtun, A.S. Kuprin, V.M. Lunev // Problems of atomic science and technology. — 2019. — № 1. — С. 145-148. — Бібліогр.: 25 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-194705 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1947052023-11-29T11:13:57Z Investigation of the influence of Ar pressure on vacuum-arc plasma with Cr-, Cu-, and Zr-cathodes Kovtun, Yu.V. Kuprin, A.S. Lunev, V.M. Low temperature plasma and plasma technologies The work deals with the influence of argon pressure on the ion current of vacuum-arc discharge in the “Bulat-6” setup with Cr-Cu-Zr-cathodes, and also, on the rate of coating deposition on the surfaces being perpendicular and parallel to the plasma stream. It is shown that a substantial decrease in both the ion current density and the rate of coating deposition takes place at Ar pressure above 1 Pa. Consideration is given to the elementary processes occurring during plasma stream-gas target interaction. Досліджено впливи тиску аргону на іонний струм вакуумно-дугового розряду в установці «Булат-6» з Cr-, Cu-, Zr-катодами, а також на швидкість осадження покриттів на поверхні перпендикулярні і паралельні плазмовому потоку. Показано, що істотні зменшення густини іонного струму і швидкості осадження покриттів відбуваються при тиску Ar вище 1 Pa. Розглянуто елементарні процеси, що відбуваються при взаємодії плазмового потоку з газовою мішенню. Исследованы влияния давления аргона на ионный ток вакуумно-дугового разряда в установке «Булат-6» с Cr-, Cu-, Zr-катодами, а также на скорость осаждения покрытий на поверхности, перпендикулярные и параллельные плазменному потоку. Показано, что существенные уменьшения плотности ионного тока и скорости осаждения покрытий происходят при давлении Ar выше 1 Pa. Рассмотрены элементарные процессы, происходящие при взаимодействии плазменного потока с газовой мишенью. 2019 Article Investigation of the influence of Ar pressure on vacuum-arc plasma with Cr-, Cu-, and Zr-cathodes / Yu.V. Kovtun, A.S. Kuprin, V.M. Lunev // Problems of atomic science and technology. — 2019. — № 1. — С. 145-148. — Бібліогр.: 25 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.80.-s; 52.80.Mg http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/194705 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| topic |
Low temperature plasma and plasma technologies Low temperature plasma and plasma technologies |
| spellingShingle |
Low temperature plasma and plasma technologies Low temperature plasma and plasma technologies Kovtun, Yu.V. Kuprin, A.S. Lunev, V.M. Investigation of the influence of Ar pressure on vacuum-arc plasma with Cr-, Cu-, and Zr-cathodes Вопросы атомной науки и техники |
| description |
The work deals with the influence of argon pressure on the ion current of vacuum-arc discharge in the “Bulat-6” setup with Cr-Cu-Zr-cathodes, and also, on the rate of coating deposition on the surfaces being perpendicular and parallel to the plasma stream. It is shown that a substantial decrease in both the ion current density and the rate of coating deposition takes place at Ar pressure above 1 Pa. Consideration is given to the elementary processes occurring during plasma stream-gas target interaction. |
| format |
Article |
| author |
Kovtun, Yu.V. Kuprin, A.S. Lunev, V.M. |
| author_facet |
Kovtun, Yu.V. Kuprin, A.S. Lunev, V.M. |
| author_sort |
Kovtun, Yu.V. |
| title |
Investigation of the influence of Ar pressure on vacuum-arc plasma with Cr-, Cu-, and Zr-cathodes |
| title_short |
Investigation of the influence of Ar pressure on vacuum-arc plasma with Cr-, Cu-, and Zr-cathodes |
| title_full |
Investigation of the influence of Ar pressure on vacuum-arc plasma with Cr-, Cu-, and Zr-cathodes |
| title_fullStr |
Investigation of the influence of Ar pressure on vacuum-arc plasma with Cr-, Cu-, and Zr-cathodes |
| title_full_unstemmed |
Investigation of the influence of Ar pressure on vacuum-arc plasma with Cr-, Cu-, and Zr-cathodes |
| title_sort |
investigation of the influence of ar pressure on vacuum-arc plasma with cr-, cu-, and zr-cathodes |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2019 |
| topic_facet |
Low temperature plasma and plasma technologies |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/194705 |
| citation_txt |
Investigation of the influence of Ar pressure on vacuum-arc plasma with Cr-, Cu-, and Zr-cathodes / Yu.V. Kovtun, A.S. Kuprin, V.M. Lunev // Problems of atomic science and technology. — 2019. — № 1. — С. 145-148. — Бібліогр.: 25 назв. — англ. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT kovtunyuv investigationoftheinfluenceofarpressureonvacuumarcplasmawithcrcuandzrcathodes AT kuprinas investigationoftheinfluenceofarpressureonvacuumarcplasmawithcrcuandzrcathodes AT lunevvm investigationoftheinfluenceofarpressureonvacuumarcplasmawithcrcuandzrcathodes |
| first_indexed |
2024-03-31T09:12:32Z |
| last_indexed |
2024-03-31T09:12:32Z |
| _version_ |
1796157977653149696 |