Method for measuring external and internal parameters of plasma with ungrounded gas discharge electrodes
This work is devoted to the method of measuring the external and internal parameters of gas-discharge plasma in conditions of non-potential "ground" using a multi-grid probe with ungrounded electrodes and a casing. The technique was developed in the plasma of a pulsed high-current high-vol...
Збережено в:
| Дата: | 2019 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2019
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/194835 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Method for measuring external and internal parameters of plasma with ungrounded gas discharge electrodes / А.G. Chunadra, К.N. Sereda, I.K. Tarasov // Problems of atomic science and technology. — 2019. — № 1. — С. 219-221. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-194835 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1948352023-11-30T16:54:42Z Method for measuring external and internal parameters of plasma with ungrounded gas discharge electrodes Chunadra, А.G. Sereda, К.N. Tarasov, I.K. Low temperature plasma and plasma technologies This work is devoted to the method of measuring the external and internal parameters of gas-discharge plasma in conditions of non-potential "ground" using a multi-grid probe with ungrounded electrodes and a casing. The technique was developed in the plasma of a pulsed high-current high-voltage magnetron discharge with the electrodes detached from the ground. This technique makes it possible to measure ion and electron densities and plasma temperatures and potentials, as well as the ion and electron energy distribution functions, with the usual accuracy for probe measurements. The measurements were carried out by a three-electrode probe installed in the cathode sputtering zone. Selection of the investigated particles was carried out through a screen located under a floating potential. Розглянуто метод вимірювання зовнішніх і внутрішніх параметрів газорозрядної плазми в умовах непотенційного «заземлення» з використанням багатосіточного зондa з незаземленими електродами та корпусом. Методика була розроблена в плазмі імпульсного сильнострумового високовольтного магнетронного розряду з електродами, відокремленими від землі. Цей метод дозволяє виміряти щільності іонів і електронів, температури та потенціали плазми, а також функції розподілу енергії іонів і електронів iз звичайною точністю для зондових вимірів. Виміри проводилися трьохелектродним зондом, встановленим у зоні катодного розпилення. Відбір досліджуваних часток проводився за допомогою екрана, розташованого під плаваючим потенціалом. Рассмотрен метод измерения внешних и внутренних параметров газоразрядной плазмы в условиях непотенциального «заземления» с использованием многосеточного зонда с незаземленными электродами и корпусом. Методика была разработана в плазме импульсного сильноточного высоковольтного магнетронного разряда с электродами, отсоединенными от земли. Этот метод позволяет измерять плотности ионов и электронов, температуры и потенциалы плазмы, а также функции распределения энергии ионов и электронов с обычной точностью для зондовых измерений. Измерения проводились трехэлектродным зондом, установленным в зоне катодного распыления. Выбор исследуемых частиц проводился через экран, расположенный под плавающим потенциалом. 2019 Article Method for measuring external and internal parameters of plasma with ungrounded gas discharge electrodes / А.G. Chunadra, К.N. Sereda, I.K. Tarasov // Problems of atomic science and technology. — 2019. — № 1. — С. 219-221. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 51.50.+v, 52.25.Jm http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/194835 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| topic |
Low temperature plasma and plasma technologies Low temperature plasma and plasma technologies |
| spellingShingle |
Low temperature plasma and plasma technologies Low temperature plasma and plasma technologies Chunadra, А.G. Sereda, К.N. Tarasov, I.K. Method for measuring external and internal parameters of plasma with ungrounded gas discharge electrodes Вопросы атомной науки и техники |
| description |
This work is devoted to the method of measuring the external and internal parameters of gas-discharge plasma in conditions of non-potential "ground" using a multi-grid probe with ungrounded electrodes and a casing. The technique was developed in the plasma of a pulsed high-current high-voltage magnetron discharge with the electrodes detached from the ground. This technique makes it possible to measure ion and electron densities and plasma temperatures and potentials, as well as the ion and electron energy distribution functions, with the usual accuracy for probe measurements. The measurements were carried out by a three-electrode probe installed in the cathode sputtering zone. Selection of the investigated particles was carried out through a screen located under a floating potential. |
| format |
Article |
| author |
Chunadra, А.G. Sereda, К.N. Tarasov, I.K. |
| author_facet |
Chunadra, А.G. Sereda, К.N. Tarasov, I.K. |
| author_sort |
Chunadra, А.G. |
| title |
Method for measuring external and internal parameters of plasma with ungrounded gas discharge electrodes |
| title_short |
Method for measuring external and internal parameters of plasma with ungrounded gas discharge electrodes |
| title_full |
Method for measuring external and internal parameters of plasma with ungrounded gas discharge electrodes |
| title_fullStr |
Method for measuring external and internal parameters of plasma with ungrounded gas discharge electrodes |
| title_full_unstemmed |
Method for measuring external and internal parameters of plasma with ungrounded gas discharge electrodes |
| title_sort |
method for measuring external and internal parameters of plasma with ungrounded gas discharge electrodes |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2019 |
| topic_facet |
Low temperature plasma and plasma technologies |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/194835 |
| citation_txt |
Method for measuring external and internal parameters of plasma with ungrounded gas discharge electrodes / А.G. Chunadra, К.N. Sereda, I.K. Tarasov // Problems of atomic science and technology. — 2019. — № 1. — С. 219-221. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT chunadraag methodformeasuringexternalandinternalparametersofplasmawithungroundedgasdischargeelectrodes AT seredakn methodformeasuringexternalandinternalparametersofplasmawithungroundedgasdischargeelectrodes AT tarasovik methodformeasuringexternalandinternalparametersofplasmawithungroundedgasdischargeelectrodes |
| first_indexed |
2024-03-31T09:13:09Z |
| last_indexed |
2024-03-31T09:13:09Z |
| _version_ |
1796157990792855552 |