Growth rate of diamond-like coatings synthesized in RF discharge at various ratios of the concentrations of Ar and C₆H₆
Diamond-like coatings (DLC) synthesized by plasma-chemical deposition from a vapor mixture of C₆H₆ and Ar have been investigated. The growth rate of the coating was measured, which showed a nonlinear dependence on the partial pressure of Ar. The mathematical model of the deposition has been develope...
Збережено в:
| Дата: | 2021 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2021
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/194928 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Growth rate of diamond-like coatings synthesized in RF discharge at various ratios of the concentrations of Ar and C₆H₆ / A.I. Kalinichenko, A.О. Omarov, V.E. Strel’nitskij // Problems of Atomic Science and Technology. — 2021. — № 2. — С. 109-112. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-194928 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1949282023-12-01T18:03:05Z Growth rate of diamond-like coatings synthesized in RF discharge at various ratios of the concentrations of Ar and C₆H₆ Kalinichenko, A.I. Omarov, A.О. Strel’nitskij, V.E. Physics of radiation and ion-plasma technologies Diamond-like coatings (DLC) synthesized by plasma-chemical deposition from a vapor mixture of C₆H₆ and Ar have been investigated. The growth rate of the coating was measured, which showed a nonlinear dependence on the partial pressure of Ar. The mathematical model of the deposition has been developed, which qualitatively and quantitatively describes the dependence of the ion flux density and deposition rate on the partial pressure of argon. Досліджено алмазоподібні покриття, які отримані плазмохімічним осадженням з парової суміші C₆H₆ і Ar. Виміряна швидкість росту покриття, яка показала нелінійну залежність від парціального тиску Ar. Розроблено математичну модель осадження, що якісно і кількісно описує залежність густини потоку iонiв та швидкості осадження від парціального тиску аргону. Исследованы алмазоподобные покрытия, полученные плазмохимическим осаждением из паровой смеси C₆H₆ и Ar. Измерена скорость роста покрытия, которая показала нелинейную зависимость от парциального давления Ar. Разработана математическая модель осаждения, качественно и количественно описывающая зависимость плотности потока ионов и скорости осаждения от парциального давления аргона. 2021 Article Growth rate of diamond-like coatings synthesized in RF discharge at various ratios of the concentrations of Ar and C₆H₆ / A.I. Kalinichenko, A.О. Omarov, V.E. Strel’nitskij // Problems of Atomic Science and Technology. — 2021. — № 2. — С. 109-112. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. 1562-6016 DOI: https://doi.org/10.46813/2021-132-109 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/194928 621.793.18:535.37 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| topic |
Physics of radiation and ion-plasma technologies Physics of radiation and ion-plasma technologies |
| spellingShingle |
Physics of radiation and ion-plasma technologies Physics of radiation and ion-plasma technologies Kalinichenko, A.I. Omarov, A.О. Strel’nitskij, V.E. Growth rate of diamond-like coatings synthesized in RF discharge at various ratios of the concentrations of Ar and C₆H₆ Вопросы атомной науки и техники |
| description |
Diamond-like coatings (DLC) synthesized by plasma-chemical deposition from a vapor mixture of C₆H₆ and Ar have been investigated. The growth rate of the coating was measured, which showed a nonlinear dependence on the partial pressure of Ar. The mathematical model of the deposition has been developed, which qualitatively and quantitatively describes the dependence of the ion flux density and deposition rate on the partial pressure of argon. |
| format |
Article |
| author |
Kalinichenko, A.I. Omarov, A.О. Strel’nitskij, V.E. |
| author_facet |
Kalinichenko, A.I. Omarov, A.О. Strel’nitskij, V.E. |
| author_sort |
Kalinichenko, A.I. |
| title |
Growth rate of diamond-like coatings synthesized in RF discharge at various ratios of the concentrations of Ar and C₆H₆ |
| title_short |
Growth rate of diamond-like coatings synthesized in RF discharge at various ratios of the concentrations of Ar and C₆H₆ |
| title_full |
Growth rate of diamond-like coatings synthesized in RF discharge at various ratios of the concentrations of Ar and C₆H₆ |
| title_fullStr |
Growth rate of diamond-like coatings synthesized in RF discharge at various ratios of the concentrations of Ar and C₆H₆ |
| title_full_unstemmed |
Growth rate of diamond-like coatings synthesized in RF discharge at various ratios of the concentrations of Ar and C₆H₆ |
| title_sort |
growth rate of diamond-like coatings synthesized in rf discharge at various ratios of the concentrations of ar and c₆h₆ |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2021 |
| topic_facet |
Physics of radiation and ion-plasma technologies |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/194928 |
| citation_txt |
Growth rate of diamond-like coatings synthesized in RF discharge at various ratios of the concentrations of Ar and C₆H₆ / A.I. Kalinichenko, A.О. Omarov, V.E. Strel’nitskij // Problems of Atomic Science and Technology. — 2021. — № 2. — С. 109-112. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT kalinichenkoai growthrateofdiamondlikecoatingssynthesizedinrfdischargeatvariousratiosoftheconcentrationsofarandc6h6 AT omarovao growthrateofdiamondlikecoatingssynthesizedinrfdischargeatvariousratiosoftheconcentrationsofarandc6h6 AT strelnitskijve growthrateofdiamondlikecoatingssynthesizedinrfdischargeatvariousratiosoftheconcentrationsofarandc6h6 |
| first_indexed |
2024-03-31T09:13:33Z |
| last_indexed |
2024-03-31T09:13:33Z |
| _version_ |
1796158000576069632 |