Structure and mechanical properties of multilayer coatings (TiAlCrY)N/ZrN

Multiperiodic nitride coatings (TiAlCrY)N/ZrN with different layer thicknesses are formed by vacuum-arc evaporation in a nitrogen atmosphere (0.2…0.6 Pa) of two targets, TiAlCrY and Zr. The targets were located along one straight line at equal distances from the perpendicular axis on which the subst...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2019
Автори: Novikov, V.Yu., Beresnev, V.М., Kolesnikov, D.A., Ivanov, О.N., Lytovchenko, S.V., Stolbovoy, V.A., Kolodiy, I.V., Kozachenko, A.O., Kovaleva, M.G., Kritsyna, E.V., Glukhov, О.V.
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2019
Назва видання:Вопросы атомной науки и техники
Теми:
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/194952
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Structure and mechanical properties of multilayer coatings (TiAlCrY)N/ZrN / V.Yu. Novikov, V.М. Beresnev, D.A. Kolesnikov, О.N. Ivanov, S.V. Lytovchenko, V.A. Stolbovoy, I.V. Kolodiy, A.O. Kozachenko, M.G. Kovaleva, E.V. Kritsyna, О.V. Glukhov // Problems of atomic science and technology. — 2019. — № 2. — С. 116-120. — Бібліогр.: 4 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-194952
record_format dspace
spelling irk-123456789-1949522023-12-01T20:49:51Z Structure and mechanical properties of multilayer coatings (TiAlCrY)N/ZrN Novikov, V.Yu. Beresnev, V.М. Kolesnikov, D.A. Ivanov, О.N. Lytovchenko, S.V. Stolbovoy, V.A. Kolodiy, I.V. Kozachenko, A.O. Kovaleva, M.G. Kritsyna, E.V. Glukhov, О.V. Physics of radiotechnology and ion-plasma technologies Multiperiodic nitride coatings (TiAlCrY)N/ZrN with different layer thicknesses are formed by vacuum-arc evaporation in a nitrogen atmosphere (0.2…0.6 Pa) of two targets, TiAlCrY and Zr. The targets were located along one straight line at equal distances from the perpendicular axis on which the substrates were placed. The rotation of the axis with the substrates was carried out either continuously or with a fixed delay at the evaporators. The duration of the process was chosen so that the total thickness of the coating (total thickness of the bilayers) was 10…11 μm. The effect of nitrogen pressure and modulation period on the structural-phase state, elemental composition, and mechanical properties of multilayer coatings has been studied. An increase in the partial pressure of nitrogen and, consequently, its content in the coating leads to an increase in hardness. Reducing the thickness of the layers in the coatings increases the adhesive strength of the coatings and does not have a significant effect on the microstresses in the coating. Багатоперіодичні нітридні покриття (TiAlCrY)N/ZrN з різною товщиною прошарків сформовані вакуумно-дуговим випаровуванням в азоті (0,2…0,6 Па) двох мішеней – TiAlCrY і Zr. Мішені розташовували на одній прямій на рівних відстанях від перпендикулярної осі, на якій кріпилися підкладинки. Обертання осі з підкладинками здійснювали або безперервно, або з фіксованою затримкою у випарників. Тривалість процесу вибирали так, щоб загальна товщина покриття (сумарна товщина подвійних прошарків) становила 10…11 мкм. Проаналізовано вплив тиску азоту і періоду модуляції на структурнофазовий стан, елементний склад і механічні властивості багатошарових покриттів. Збільшення парціального тиску азоту і внаслідок цього  його вмісту в покритті призводить до збільшення твердості. Зменшення товщини шарів у покриттях збільшує адгезійну міцність покриттів та істотно не впливає на мікронапруження в покритті. Многопериодичные нитридные покрытия (TiAlCrY)N/ZrN с различной толщиной слоев сформированы вакуумно-дуговым испарением в среде азота (0,2…0,6 Па) двух мишеней – TiAlCrY и Zr. Мишени располагали вдоль одной прямой на равных расстояниях от перпендикулярной оси, на которой располагали подложки. Вращение оси с подложками осуществляли либо непрерывно, либо с фиксированной задержкой у испарителей. Длительность процесса выбирали так, чтобы общая толщина покрытия (суммарная толщина бислоев) составляла 10…11 мкм. Проанализировано влияние давления азота и периода модуляции на структурно-фазовое состояние, элементный состав и механические свойства многослойных покрытий. Увеличение парциального давления азота и вследствие этого – его содержания в покрытии приводит к увеличению твердости. Уменьшение толщины слоев в покрытиях увеличивает адгезионную прочность покрытий и не оказывает существенного влияния на микронапряжения в покрытии. 2019 Article Structure and mechanical properties of multilayer coatings (TiAlCrY)N/ZrN / V.Yu. Novikov, V.М. Beresnev, D.A. Kolesnikov, О.N. Ivanov, S.V. Lytovchenko, V.A. Stolbovoy, I.V. Kolodiy, A.O. Kozachenko, M.G. Kovaleva, E.V. Kritsyna, О.V. Glukhov // Problems of atomic science and technology. — 2019. — № 2. — С. 116-120. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. 1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/194952 621.793:548.73 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language English
topic Physics of radiotechnology and ion-plasma technologies
Physics of radiotechnology and ion-plasma technologies
spellingShingle Physics of radiotechnology and ion-plasma technologies
Physics of radiotechnology and ion-plasma technologies
Novikov, V.Yu.
Beresnev, V.М.
Kolesnikov, D.A.
Ivanov, О.N.
Lytovchenko, S.V.
Stolbovoy, V.A.
Kolodiy, I.V.
Kozachenko, A.O.
Kovaleva, M.G.
Kritsyna, E.V.
Glukhov, О.V.
Structure and mechanical properties of multilayer coatings (TiAlCrY)N/ZrN
Вопросы атомной науки и техники
description Multiperiodic nitride coatings (TiAlCrY)N/ZrN with different layer thicknesses are formed by vacuum-arc evaporation in a nitrogen atmosphere (0.2…0.6 Pa) of two targets, TiAlCrY and Zr. The targets were located along one straight line at equal distances from the perpendicular axis on which the substrates were placed. The rotation of the axis with the substrates was carried out either continuously or with a fixed delay at the evaporators. The duration of the process was chosen so that the total thickness of the coating (total thickness of the bilayers) was 10…11 μm. The effect of nitrogen pressure and modulation period on the structural-phase state, elemental composition, and mechanical properties of multilayer coatings has been studied. An increase in the partial pressure of nitrogen and, consequently, its content in the coating leads to an increase in hardness. Reducing the thickness of the layers in the coatings increases the adhesive strength of the coatings and does not have a significant effect on the microstresses in the coating.
format Article
author Novikov, V.Yu.
Beresnev, V.М.
Kolesnikov, D.A.
Ivanov, О.N.
Lytovchenko, S.V.
Stolbovoy, V.A.
Kolodiy, I.V.
Kozachenko, A.O.
Kovaleva, M.G.
Kritsyna, E.V.
Glukhov, О.V.
author_facet Novikov, V.Yu.
Beresnev, V.М.
Kolesnikov, D.A.
Ivanov, О.N.
Lytovchenko, S.V.
Stolbovoy, V.A.
Kolodiy, I.V.
Kozachenko, A.O.
Kovaleva, M.G.
Kritsyna, E.V.
Glukhov, О.V.
author_sort Novikov, V.Yu.
title Structure and mechanical properties of multilayer coatings (TiAlCrY)N/ZrN
title_short Structure and mechanical properties of multilayer coatings (TiAlCrY)N/ZrN
title_full Structure and mechanical properties of multilayer coatings (TiAlCrY)N/ZrN
title_fullStr Structure and mechanical properties of multilayer coatings (TiAlCrY)N/ZrN
title_full_unstemmed Structure and mechanical properties of multilayer coatings (TiAlCrY)N/ZrN
title_sort structure and mechanical properties of multilayer coatings (tialcry)n/zrn
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
publishDate 2019
topic_facet Physics of radiotechnology and ion-plasma technologies
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/194952
citation_txt Structure and mechanical properties of multilayer coatings (TiAlCrY)N/ZrN / V.Yu. Novikov, V.М. Beresnev, D.A. Kolesnikov, О.N. Ivanov, S.V. Lytovchenko, V.A. Stolbovoy, I.V. Kolodiy, A.O. Kozachenko, M.G. Kovaleva, E.V. Kritsyna, О.V. Glukhov // Problems of atomic science and technology. — 2019. — № 2. — С. 116-120. — Бібліогр.: 4 назв. — англ.
series Вопросы атомной науки и техники
work_keys_str_mv AT novikovvyu structureandmechanicalpropertiesofmultilayercoatingstialcrynzrn
AT beresnevvm structureandmechanicalpropertiesofmultilayercoatingstialcrynzrn
AT kolesnikovda structureandmechanicalpropertiesofmultilayercoatingstialcrynzrn
AT ivanovon structureandmechanicalpropertiesofmultilayercoatingstialcrynzrn
AT lytovchenkosv structureandmechanicalpropertiesofmultilayercoatingstialcrynzrn
AT stolbovoyva structureandmechanicalpropertiesofmultilayercoatingstialcrynzrn
AT kolodiyiv structureandmechanicalpropertiesofmultilayercoatingstialcrynzrn
AT kozachenkoao structureandmechanicalpropertiesofmultilayercoatingstialcrynzrn
AT kovalevamg structureandmechanicalpropertiesofmultilayercoatingstialcrynzrn
AT kritsynaev structureandmechanicalpropertiesofmultilayercoatingstialcrynzrn
AT glukhovov structureandmechanicalpropertiesofmultilayercoatingstialcrynzrn
first_indexed 2024-03-31T09:13:40Z
last_indexed 2024-03-31T09:13:40Z
_version_ 1796158003138789376