Structure of polycrystalline diamond coatings deposited by СVD method in the plasma of glow discharge with the use of pulse power supply

The structure of CVD carbon coatings synthesized in a hydrogen-methane mixture in the plasma of a glow discharge stabilized by a magnetic field using a pulsed power supply was studied by X-ray diffraction analysis and optical microscopy. The range of deposition parameters is determined, which ensure...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2021
Автори:	Koshevoy, K.I., Volkov, Yu.Ya., Strel’nitskij, V.E., Reshetnyak, E.N.
Формат:	Стаття
Мова:	English
Опубліковано:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2021
Назва видання:	Вопросы атомной науки и техники
Теми:	Physics of radiation and ion-plasma technologies
Онлайн доступ:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/194957
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Structure of polycrystalline diamond coatings deposited by СVD method in the plasma of glow discharge with the use of pulse power supply / K.I. Koshevoy, Yu.Ya. Volkov, V.E. Strel’nitskij, E.N. Reshetnyak // Problems of Atomic Science and Technology. — 2021. — № 2. — С. 113-118. — Бібліогр.: 22 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	irk-123456789-194957
record_format	dspace
spelling	irk-123456789-1949572023-12-01T21:03:59Z Structure of polycrystalline diamond coatings deposited by СVD method in the plasma of glow discharge with the use of pulse power supply Koshevoy, K.I. Volkov, Yu.Ya. Strel’nitskij, V.E. Reshetnyak, E.N. Physics of radiation and ion-plasma technologies The structure of CVD carbon coatings synthesized in a hydrogen-methane mixture in the plasma of a glow discharge stabilized by a magnetic field using a pulsed power supply was studied by X-ray diffraction analysis and optical microscopy. The range of deposition parameters is determined, which ensure formation of polycrystalline diamond coatings. The coatings consist of diamond crystals with a clearly defined cut and the crystal lattice parameter close to the tabular value for natural diamond. The influence of the methane partial pressure in the gas mixture and the substrate temperature on the size and predominant orientation of diamond crystals in the coatings was determined. It is established that the use of the pulse mode and grounding of the substrate holder helps to improve the quality of diamond coatings. Методами рентгеноструктурного аналізу та оптичної мікроскопії досліджено структуру CVD вуглецевих покриттів, що синтезуються у воднево-метановій суміші в плазмі тліючого розряду, стабілізованого магнітним полем, із застосуванням імпульсного джерела живлення. Визначено діапазон параметрів осадження, що забезпечують формування полікристалічних алмазних покриттів, які складаються з алмазних кристалів з чітко вираженою огранкою та параметром кристалічної решітки, близьким до табличної величини для природного алмазу. З’ясовано впливи парціального тиску метану в газовій суміші і температури підкладки на розмір та переважну орієнтацію кристалів алмазу в покриттях. Встановлено, що застосування імпульсного режиму та заземлення підкладинкотримача сприяє покрашенню якості покриттів. Методами рентгеноструктурного анализа и оптической микроскопии исследована структура CVD углеродных покрытий, синтезируемых в водородно-метановой смеси в плазме тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, с применением импульсного источника питания. Определен диапазон параметров осаждения, обеспечивающих формирование поликристаллических алмазных покрытий, состоящих из алмазных кристаллов с четко выраженной огранкой и параметром кристаллической решетки, близким к табличному значению для природного алмаза. Выяснено влияние парциального давления метана в газовой смеси и температуры подложки на размер и преимущественную ориентацию кристаллов алмаза в покрытиях. Установлено, что использование импульсного режима и заземленного подложкодержателя способствует улучшению качества покрытий. 2021 Article Structure of polycrystalline diamond coatings deposited by СVD method in the plasma of glow discharge with the use of pulse power supply / K.I. Koshevoy, Yu.Ya. Volkov, V.E. Strel’nitskij, E.N. Reshetnyak // Problems of Atomic Science and Technology. — 2021. — № 2. — С. 113-118. — Бібліогр.: 22 назв. — англ. 1562-6016 DOI: https://doi.org/10.46813/2021-132-113 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/194957 537.534.2:679.826 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	English
topic	Physics of radiation and ion-plasma technologies Physics of radiation and ion-plasma technologies
spellingShingle	Physics of radiation and ion-plasma technologies Physics of radiation and ion-plasma technologies Koshevoy, K.I. Volkov, Yu.Ya. Strel’nitskij, V.E. Reshetnyak, E.N. Structure of polycrystalline diamond coatings deposited by СVD method in the plasma of glow discharge with the use of pulse power supply Вопросы атомной науки и техники
description	The structure of CVD carbon coatings synthesized in a hydrogen-methane mixture in the plasma of a glow discharge stabilized by a magnetic field using a pulsed power supply was studied by X-ray diffraction analysis and optical microscopy. The range of deposition parameters is determined, which ensure formation of polycrystalline diamond coatings. The coatings consist of diamond crystals with a clearly defined cut and the crystal lattice parameter close to the tabular value for natural diamond. The influence of the methane partial pressure in the gas mixture and the substrate temperature on the size and predominant orientation of diamond crystals in the coatings was determined. It is established that the use of the pulse mode and grounding of the substrate holder helps to improve the quality of diamond coatings.
format	Article
author	Koshevoy, K.I. Volkov, Yu.Ya. Strel’nitskij, V.E. Reshetnyak, E.N.
author_facet	Koshevoy, K.I. Volkov, Yu.Ya. Strel’nitskij, V.E. Reshetnyak, E.N.
author_sort	Koshevoy, K.I.
title	Structure of polycrystalline diamond coatings deposited by СVD method in the plasma of glow discharge with the use of pulse power supply
title_short	Structure of polycrystalline diamond coatings deposited by СVD method in the plasma of glow discharge with the use of pulse power supply
title_full	Structure of polycrystalline diamond coatings deposited by СVD method in the plasma of glow discharge with the use of pulse power supply
title_fullStr	Structure of polycrystalline diamond coatings deposited by СVD method in the plasma of glow discharge with the use of pulse power supply
title_full_unstemmed	Structure of polycrystalline diamond coatings deposited by СVD method in the plasma of glow discharge with the use of pulse power supply
title_sort	structure of polycrystalline diamond coatings deposited by сvd method in the plasma of glow discharge with the use of pulse power supply
publisher	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
publishDate	2021
topic_facet	Physics of radiation and ion-plasma technologies
url	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/194957
citation_txt	Structure of polycrystalline diamond coatings deposited by СVD method in the plasma of glow discharge with the use of pulse power supply / K.I. Koshevoy, Yu.Ya. Volkov, V.E. Strel’nitskij, E.N. Reshetnyak // Problems of Atomic Science and Technology. — 2021. — № 2. — С. 113-118. — Бібліогр.: 22 назв. — англ.
series	Вопросы атомной науки и техники
work_keys_str_mv	AT koshevoyki structureofpolycrystallinediamondcoatingsdepositedbysvdmethodintheplasmaofglowdischargewiththeuseofpulsepowersupply AT volkovyuya structureofpolycrystallinediamondcoatingsdepositedbysvdmethodintheplasmaofglowdischargewiththeuseofpulsepowersupply AT strelnitskijve structureofpolycrystallinediamondcoatingsdepositedbysvdmethodintheplasmaofglowdischargewiththeuseofpulsepowersupply AT reshetnyaken structureofpolycrystallinediamondcoatingsdepositedbysvdmethodintheplasmaofglowdischargewiththeuseofpulsepowersupply
first_indexed	2024-03-31T09:13:41Z
last_indexed	2024-03-31T09:13:41Z
_version_	1796158003683000320

Structure of polycrystalline diamond coatings deposited by СVD method in the plasma of glow discharge with the use of pulse power supply

Репозитарії

Схожі ресурси