Structure of polycrystalline diamond coatings deposited by СVD method in the plasma of glow discharge with the use of pulse power supply

• Дата: 2021
• Автори: Koshevoy, K.I., Volkov, Yu.Ya., Strel’nitskij, V.E., Reshetnyak, E.N.
• Формат: Стаття
• Мова: English
• Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2021
• Назва видання: Вопросы атомной науки и техники
• Теми: Physics of radiation and ion-plasma technologies
• Онлайн доступ: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/194957
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Structure of polycrystalline diamond coatings deposited by СVD method in the plasma of glow discharge with the use of pulse power supply / K.I. Koshevoy, Yu.Ya. Volkov, V.E. Strel’nitskij, E.N. Reshetnyak // Problems of Atomic Science and Technology. — 2021. — № 2. — С. 113-118. — Бібліогр.: 22 назв. — англ.

The structure of CVD carbon coatings synthesized in a hydrogen-methane mixture in the plasma of a glow discharge stabilized by a magnetic field using a pulsed power supply was studied by X-ray diffraction analysis and optical microscopy. The range of deposition parameters is determined, which ensure...