High voltage beam discharge in nitrogen with fast neutral atom reflection from tantalum cathode
The kinetic simulation of high-voltage beam discharge at low pressure of nitrogen is fulfilled. The characteristics of particle flows to the tantalum cathode and back reflection of fast nitrogen atoms are calculated. The reflection coefficient equals tens of percents at voltages up to 100 kV. The ge...
Збережено в:
| Дата: | 2021 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2021
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/195419 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | High voltage beam discharge in nitrogen with fast neutral atom reflection from tantalum cathode / V.S. Boldasov, A.I. Kuzmichev, M.S. Melnichenko, V.M. Shulaev // Problems of Atomic Science and Technology. — 2021. — № 4. — С. 207-211. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-195419 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1954192023-12-05T12:05:27Z High voltage beam discharge in nitrogen with fast neutral atom reflection from tantalum cathode Boldasov, V.S. Kuzmichev, A.I. Melnichenko, M.S. Shulaev, V.M. Applications and technologies The kinetic simulation of high-voltage beam discharge at low pressure of nitrogen is fulfilled. The characteristics of particle flows to the tantalum cathode and back reflection of fast nitrogen atoms are calculated. The reflection coefficient equals tens of percents at voltages up to 100 kV. The generation of fast nitrogen atoms may be used for metals and dielectrics nitriding with implantation effect. Виконано кінетичне моделювання високовольтного променевого розряду при низькому тиску азоту. Розраховані характеристики потоків частинок до танталового катода і зворотне відбиття швидких атомів азоту. Коефіцієнт відбиття дорівнює десяткам відсотків при напрузі до 100 кВ. Генерація швидких атомів азоту може бути використана для азотування металів і діелектриків з імплантаційним ефектом. Выполнено кинетическое моделирование высоковольтного лучевого разряда при низком давлении азота. Рассчитаны характеристики потоков частиц к танталовому катоду и обратного отражения быстрых атомов азота. Коэффициент отражения составляет десятки процентов при напряжении до 100 кВ. Генерация быстрых атомов азота может быть использована для азотирования металлов и диэлектриков с имплантационным эффектом. 2021 Article High voltage beam discharge in nitrogen with fast neutral atom reflection from tantalum cathode / V.S. Boldasov, A.I. Kuzmichev, M.S. Melnichenko, V.M. Shulaev // Problems of Atomic Science and Technology. — 2021. — № 4. — С. 207-211. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.80.Tn, 34.50.Dy DOI: https://doi.org/10.46813/2021-134-207 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/195419 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| topic |
Applications and technologies Applications and technologies |
| spellingShingle |
Applications and technologies Applications and technologies Boldasov, V.S. Kuzmichev, A.I. Melnichenko, M.S. Shulaev, V.M. High voltage beam discharge in nitrogen with fast neutral atom reflection from tantalum cathode Вопросы атомной науки и техники |
| description |
The kinetic simulation of high-voltage beam discharge at low pressure of nitrogen is fulfilled. The characteristics of particle flows to the tantalum cathode and back reflection of fast nitrogen atoms are calculated. The reflection coefficient equals tens of percents at voltages up to 100 kV. The generation of fast nitrogen atoms may be used for metals and dielectrics nitriding with implantation effect. |
| format |
Article |
| author |
Boldasov, V.S. Kuzmichev, A.I. Melnichenko, M.S. Shulaev, V.M. |
| author_facet |
Boldasov, V.S. Kuzmichev, A.I. Melnichenko, M.S. Shulaev, V.M. |
| author_sort |
Boldasov, V.S. |
| title |
High voltage beam discharge in nitrogen with fast neutral atom reflection from tantalum cathode |
| title_short |
High voltage beam discharge in nitrogen with fast neutral atom reflection from tantalum cathode |
| title_full |
High voltage beam discharge in nitrogen with fast neutral atom reflection from tantalum cathode |
| title_fullStr |
High voltage beam discharge in nitrogen with fast neutral atom reflection from tantalum cathode |
| title_full_unstemmed |
High voltage beam discharge in nitrogen with fast neutral atom reflection from tantalum cathode |
| title_sort |
high voltage beam discharge in nitrogen with fast neutral atom reflection from tantalum cathode |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2021 |
| topic_facet |
Applications and technologies |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/195419 |
| citation_txt |
High voltage beam discharge in nitrogen with fast neutral atom reflection from tantalum cathode / V.S. Boldasov, A.I. Kuzmichev, M.S. Melnichenko, V.M. Shulaev // Problems of Atomic Science and Technology. — 2021. — № 4. — С. 207-211. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT boldasovvs highvoltagebeamdischargeinnitrogenwithfastneutralatomreflectionfromtantalumcathode AT kuzmichevai highvoltagebeamdischargeinnitrogenwithfastneutralatomreflectionfromtantalumcathode AT melnichenkoms highvoltagebeamdischargeinnitrogenwithfastneutralatomreflectionfromtantalumcathode AT shulaevvm highvoltagebeamdischargeinnitrogenwithfastneutralatomreflectionfromtantalumcathode |
| first_indexed |
2024-03-31T09:15:43Z |
| last_indexed |
2024-03-31T09:15:43Z |
| _version_ |
1796158048820002816 |