Non-destructive control of PVD coating surface defects
Nanostructured ZrN coatings were deposited by the vacuum arc method with partial separation of the plasma flow from macroparticles using a curvilinear magnetic filter. With the proposed deposition parameters, a ZrN coating with an fcc lattice and (111) texture is formed. Theoretical studies are carr...
Збережено в:
| Дата: | 2022 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2022
|
| Назва видання: | Problems of Atomic Science and Technology |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/195907 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Non-destructive control of PVD coating surface defects / S.P. Romaniuk, M.S. Bilinska, A.V. Taran, O.Yu. Klochko, K. Nowakowska-Langier, A.K. Marchenko, E.S. Deryabkina, G.P. Nikolaychuk // Problems of Atomic Science and Technology. — 2022. — № 6. — С.139-142. — Бібліогр.: 15 назв. — англ. |