Morphology and sputtering of tungsten nitrides coatings exposed to deuterium plasma
Processes of sputtering, surface modification and change in the stoichiometric composition of W and WN coatings deposited on stainless steel by cathodic arc evaporation were studied under the influence of low-energy (500 eV/D) deuterium plasma with fluence of (1…4.5)·10²⁴ D₂⁺/m² at room temperature....
Збережено в:
| Дата: | 2023 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2023
|
| Назва видання: | Problems of Atomic Science and Technology |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/196049 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Morphology and sputtering of tungsten nitrides coatings exposed to deuterium plasma / G.D. Tolstolutskaya, A.S. Kuprin, A.V. Nikitin, R.L. Vasilenko // Problems of Atomic Science and Technology. — 2023. — № 1. — С. 57-62. — Бібліогр.: 25 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-196049 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1960492023-12-09T12:11:15Z Morphology and sputtering of tungsten nitrides coatings exposed to deuterium plasma Tolstolutskaya, G.D. Kuprin, A.S. Nikitin, A.V. Vasilenko, R.L. Plasma dynamics and plasma-wall interaction Processes of sputtering, surface modification and change in the stoichiometric composition of W and WN coatings deposited on stainless steel by cathodic arc evaporation were studied under the influence of low-energy (500 eV/D) deuterium plasma with fluence of (1…4.5)·10²⁴ D₂⁺/m² at room temperature. The composition of the WN coating changes under the influence of deuterium plasma, its enrichment with tungsten up to 100% is observed. Results of erosion studies indicated that the sputtering yields for coatings WN and W are ∼2.4·10⁻² at./ion and to be systematically higher than the published data which were measured for bulk materials. Досліджено вплив низькоенергетичної (500 еВ/D) дейтерієвої плазми з флюенсом (1…4,5)·10²⁴ D₂⁺/m² за кімнатної температури на процеси розпилення, модифікацію поверхні та зміну стехіометричного складу покриттів W і WN, осаджених на нержавіючу сталь катодним дуговим випаровуванням. Опромінення дейтерієвою плазмою змінює склад покриття WN, спостерігається його збагачення вольфрамом до 100%. Результати досліджень ерозії показали, що коефіцієнти розпилення для покриттів WN і W становлять ∼2.4·10⁻² ат./іон і систематично перевищують опубліковані дані для об’ємних матеріалів. 2023 Article Morphology and sputtering of tungsten nitrides coatings exposed to deuterium plasma / G.D. Tolstolutskaya, A.S. Kuprin, A.V. Nikitin, R.L. Vasilenko // Problems of Atomic Science and Technology. — 2023. — № 1. — С. 57-62. — Бібліогр.: 25 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.40Hf, 28.52Fa, 68.49Sf, 79.20Rf DOI: https://doi.org/10.46813/2023-143-057 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/196049 en Problems of Atomic Science and Technology Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| topic |
Plasma dynamics and plasma-wall interaction Plasma dynamics and plasma-wall interaction |
| spellingShingle |
Plasma dynamics and plasma-wall interaction Plasma dynamics and plasma-wall interaction Tolstolutskaya, G.D. Kuprin, A.S. Nikitin, A.V. Vasilenko, R.L. Morphology and sputtering of tungsten nitrides coatings exposed to deuterium plasma Problems of Atomic Science and Technology |
| description |
Processes of sputtering, surface modification and change in the stoichiometric composition of W and WN coatings deposited on stainless steel by cathodic arc evaporation were studied under the influence of low-energy (500 eV/D) deuterium plasma with fluence of (1…4.5)·10²⁴ D₂⁺/m² at room temperature. The composition of the WN coating changes under the influence of deuterium plasma, its enrichment with tungsten up to 100% is observed. Results of erosion studies indicated that the sputtering yields for coatings WN and W are ∼2.4·10⁻² at./ion and to be systematically higher than the published data which were measured for bulk materials. |
| format |
Article |
| author |
Tolstolutskaya, G.D. Kuprin, A.S. Nikitin, A.V. Vasilenko, R.L. |
| author_facet |
Tolstolutskaya, G.D. Kuprin, A.S. Nikitin, A.V. Vasilenko, R.L. |
| author_sort |
Tolstolutskaya, G.D. |
| title |
Morphology and sputtering of tungsten nitrides coatings exposed to deuterium plasma |
| title_short |
Morphology and sputtering of tungsten nitrides coatings exposed to deuterium plasma |
| title_full |
Morphology and sputtering of tungsten nitrides coatings exposed to deuterium plasma |
| title_fullStr |
Morphology and sputtering of tungsten nitrides coatings exposed to deuterium plasma |
| title_full_unstemmed |
Morphology and sputtering of tungsten nitrides coatings exposed to deuterium plasma |
| title_sort |
morphology and sputtering of tungsten nitrides coatings exposed to deuterium plasma |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2023 |
| topic_facet |
Plasma dynamics and plasma-wall interaction |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/196049 |
| citation_txt |
Morphology and sputtering of tungsten nitrides coatings exposed to deuterium plasma / G.D. Tolstolutskaya, A.S. Kuprin, A.V. Nikitin, R.L. Vasilenko // Problems of Atomic Science and Technology. — 2023. — № 1. — С. 57-62. — Бібліогр.: 25 назв. — англ. |
| series |
Problems of Atomic Science and Technology |
| work_keys_str_mv |
AT tolstolutskayagd morphologyandsputteringoftungstennitridescoatingsexposedtodeuteriumplasma AT kuprinas morphologyandsputteringoftungstennitridescoatingsexposedtodeuteriumplasma AT nikitinav morphologyandsputteringoftungstennitridescoatingsexposedtodeuteriumplasma AT vasilenkorl morphologyandsputteringoftungstennitridescoatingsexposedtodeuteriumplasma |
| first_indexed |
2024-03-31T09:18:29Z |
| last_indexed |
2024-03-31T09:18:29Z |
| _version_ |
1796158119210909696 |