High resolution probe-forming system with spherical aberration correction for nuclear microprobe
A probe-forming system based on a separate orthomorphic quadruplet of magnetic quadrupole lenses with a short working distance is considered, allowing the system demagnification to be significantly increased. Three magnetic octupole lenses are used to correct spherical aberrations. The parameters of...
Збережено в:
| Дата: | 2023 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2023
|
| Назва видання: | Problems of Atomic Science and Technology |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/196159 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | High resolution probe-forming system with spherical aberration correction for nuclear microprobe / A.G. Ponomarev, S.V. Kolinko, H.E. Polozhii, V.A. Rebrov // Problems of Atomic Science and Technology. — 2023. — № 3. — С. 153-157. — Бібліогр.: 25 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-196159 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1961592023-12-10T20:08:15Z High resolution probe-forming system with spherical aberration correction for nuclear microprobe Ponomarev, A.G. Kolinko, S.V. Polozhii, H.E. Rebrov, V.A. Applications and technologies A probe-forming system based on a separate orthomorphic quadruplet of magnetic quadrupole lenses with a short working distance is considered, allowing the system demagnification to be significantly increased. Three magnetic octupole lenses are used to correct spherical aberrations. The parameters of the octupole corrector are calculated using the matricant method. The focusing properties of the system are determined by means of a probe formation optimization process based on the value of the maximum reduced collimated acceptance. The calculations performed showed the feasibility of such a probe forming system for microanalysis and proton beam writing technique. Розглянуто зондоформуючу систему на базі розподіленого ортоморфного квадруплету магнітних квадрупольних лінз з малою робочою відстанню, що дозволило значно збільшити коефіцієнти зменшення. Для корекції сферичних аберацій застосовуються три магнітні октупольні лінзи. Розрахунок параметрів октупольного коректора виконується методом матрицантів. Фокусуючі властивості системи визначаються за рахунок оптимізації процесу формування зонда на основі величини максимального приведеного колімованого аксептансу. Проведені розрахунки показали, що така система може бути реалізована для застосування в методиках мікроаналізу та протонно-променевої літографії. 2023 Article High resolution probe-forming system with spherical aberration correction for nuclear microprobe / A.G. Ponomarev, S.V. Kolinko, H.E. Polozhii, V.A. Rebrov // Problems of Atomic Science and Technology. — 2023. — № 3. — С. 153-157. — Бібліогр.: 25 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 41.85.p; 41.85.Gy; 41.85.Lc DOI: https://doi.org/10.46813/2023-145-153 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/196159 en Problems of Atomic Science and Technology Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| topic |
Applications and technologies Applications and technologies |
| spellingShingle |
Applications and technologies Applications and technologies Ponomarev, A.G. Kolinko, S.V. Polozhii, H.E. Rebrov, V.A. High resolution probe-forming system with spherical aberration correction for nuclear microprobe Problems of Atomic Science and Technology |
| description |
A probe-forming system based on a separate orthomorphic quadruplet of magnetic quadrupole lenses with a short working distance is considered, allowing the system demagnification to be significantly increased. Three magnetic octupole lenses are used to correct spherical aberrations. The parameters of the octupole corrector are calculated using the matricant method. The focusing properties of the system are determined by means of a probe formation optimization process based on the value of the maximum reduced collimated acceptance. The calculations performed showed the feasibility of such a probe forming system for microanalysis and proton beam writing technique. |
| format |
Article |
| author |
Ponomarev, A.G. Kolinko, S.V. Polozhii, H.E. Rebrov, V.A. |
| author_facet |
Ponomarev, A.G. Kolinko, S.V. Polozhii, H.E. Rebrov, V.A. |
| author_sort |
Ponomarev, A.G. |
| title |
High resolution probe-forming system with spherical aberration correction for nuclear microprobe |
| title_short |
High resolution probe-forming system with spherical aberration correction for nuclear microprobe |
| title_full |
High resolution probe-forming system with spherical aberration correction for nuclear microprobe |
| title_fullStr |
High resolution probe-forming system with spherical aberration correction for nuclear microprobe |
| title_full_unstemmed |
High resolution probe-forming system with spherical aberration correction for nuclear microprobe |
| title_sort |
high resolution probe-forming system with spherical aberration correction for nuclear microprobe |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2023 |
| topic_facet |
Applications and technologies |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/196159 |
| citation_txt |
High resolution probe-forming system with spherical aberration correction for nuclear microprobe / A.G. Ponomarev, S.V. Kolinko, H.E. Polozhii, V.A. Rebrov // Problems of Atomic Science and Technology. — 2023. — № 3. — С. 153-157. — Бібліогр.: 25 назв. — англ. |
| series |
Problems of Atomic Science and Technology |
| work_keys_str_mv |
AT ponomarevag highresolutionprobeformingsystemwithsphericalaberrationcorrectionfornuclearmicroprobe AT kolinkosv highresolutionprobeformingsystemwithsphericalaberrationcorrectionfornuclearmicroprobe AT polozhiihe highresolutionprobeformingsystemwithsphericalaberrationcorrectionfornuclearmicroprobe AT rebrovva highresolutionprobeformingsystemwithsphericalaberrationcorrectionfornuclearmicroprobe |
| first_indexed |
2024-03-31T09:18:59Z |
| last_indexed |
2024-03-31T09:18:59Z |
| _version_ |
1796158131349225472 |