Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску
Розглянуто вплив вологості на технологічний процес виготовлення інтегральних мікросхем, принципи побудови сенсорів вологості робочих плазмоутворюючих газів для мікроелектронної технології. Проаналізовано шляхи підвищення чутливості таких сенсорів і перспективу їх використання за технологічних умов....
Збережено в:
| Дата: | 2008 |
|---|---|
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2008
|
| Назва видання: | Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/32200 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску / Ю.С. Кравченко, А.Ю. Савицький // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. — 2008. — № 2 (16). — С. 175-181. — Бібліогр.: 18 назв. — укp. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-32200 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-322002012-04-14T12:21:00Z Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску Кравченко, Ю.С. Савицький, А.Ю. Оптичні та оптико-електронні сенсори і перетворювачі в системах керування та екологічного моніторингу Розглянуто вплив вологості на технологічний процес виготовлення інтегральних мікросхем, принципи побудови сенсорів вологості робочих плазмоутворюючих газів для мікроелектронної технології. Проаналізовано шляхи підвищення чутливості таких сенсорів і перспективу їх використання за технологічних умов. This paper is devoted to the influence of moisture on technological process of the integrated circuits manufacturing, principles of construction of moisture sensors, that could be using for analyses of the plasma-formative gases for microelectronic technology and the ways of rising their sensitiveness and the perspectives of their applications at the technologic conditions were analyzed. 2008 Article Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску / Ю.С. Кравченко, А.Ю. Савицький // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. — 2008. — № 2 (16). — С. 175-181. — Бібліогр.: 18 назв. — укp. 1681-7893 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/32200 621.38 uk Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Ukrainian |
| topic |
Оптичні та оптико-електронні сенсори і перетворювачі в системах керування та екологічного моніторингу Оптичні та оптико-електронні сенсори і перетворювачі в системах керування та екологічного моніторингу |
| spellingShingle |
Оптичні та оптико-електронні сенсори і перетворювачі в системах керування та екологічного моніторингу Оптичні та оптико-електронні сенсори і перетворювачі в системах керування та екологічного моніторингу Кравченко, Ю.С. Савицький, А.Ю. Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології |
| description |
Розглянуто вплив вологості на технологічний процес виготовлення інтегральних мікросхем, принципи побудови сенсорів вологості робочих плазмоутворюючих газів для мікроелектронної технології. Проаналізовано шляхи підвищення чутливості таких сенсорів і перспективу їх використання за технологічних умов. |
| format |
Article |
| author |
Кравченко, Ю.С. Савицький, А.Ю. |
| author_facet |
Кравченко, Ю.С. Савицький, А.Ю. |
| author_sort |
Кравченко, Ю.С. |
| title |
Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску |
| title_short |
Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску |
| title_full |
Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску |
| title_fullStr |
Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску |
| title_full_unstemmed |
Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску |
| title_sort |
оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2008 |
| topic_facet |
Оптичні та оптико-електронні сенсори і перетворювачі в системах керування та екологічного моніторингу |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/32200 |
| citation_txt |
Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску / Ю.С. Кравченко, А.Ю. Савицький // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. — 2008. — № 2 (16). — С. 175-181. — Бібліогр.: 18 назв. — укp. |
| series |
Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології |
| work_keys_str_mv |
AT kravčenkoûs optičnísensorivologostírobočihgazívpídviŝenogoíatmosfernogotisku AT savicʹkijaû optičnísensorivologostírobočihgazívpídviŝenogoíatmosfernogotisku |
| first_indexed |
2023-10-18T17:34:12Z |
| last_indexed |
2023-10-18T17:34:12Z |
| _version_ |
1796141893513379840 |