Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску - Кравченко, Ю.С.; Савицький, А.Ю. (Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології, 2008)
Розглянуто вплив вологості на технологічний процес виготовлення інтегральних мікросхем, принципи побудови сенсорів вологості робочих плазмоутворюючих газів для мікроелектронної технології. Проаналізовано шляхи підвищення чутливості таких сенсорів і перспективу їх використання за технологічних умов.