Фотоелектричні властивості приймачів випромінювання, виготовлених на іонно травлених поверхнях кремнію
Досліджено вплив іонного травлення поверхонь пластин кремнію на основні параметри фотодіодів, виготовлених на цих поверхнях.
Збережено в:
| Дата: | 2009 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2009
|
| Назва видання: | Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/32230 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Фотоелектричні властивості приймачів випромінювання, виготовлених на іонно травлених поверхнях кремнію / В.Г. Житарюк, В.М. Годованюк, І.В. Докторович // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. — 2009. — № 1 (17). — С. 137-140. — Бібліогр.: 4 назв. — укp. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-32230 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-322302012-04-15T12:28:53Z Фотоелектричні властивості приймачів випромінювання, виготовлених на іонно травлених поверхнях кремнію Житарюк, В.Г. Годованюк, В.М. Докторович, І.В. Оптична і квантова електроніка в комп’ютерних та інтелектуальних технологіях Досліджено вплив іонного травлення поверхонь пластин кремнію на основні параметри фотодіодів, виготовлених на цих поверхнях. Influence of ion etching of surfaces of silicon plates on the principal parameters of photodiodes made on these surfaces is investigated. 2009 Article Фотоелектричні властивості приймачів випромінювання, виготовлених на іонно травлених поверхнях кремнію / В.Г. Житарюк, В.М. Годованюк, І.В. Докторович // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. — 2009. — № 1 (17). — С. 137-140. — Бібліогр.: 4 назв. — укp. 1681-7893 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/32230 537.611 uk Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Ukrainian |
| topic |
Оптична і квантова електроніка в комп’ютерних та інтелектуальних технологіях Оптична і квантова електроніка в комп’ютерних та інтелектуальних технологіях |
| spellingShingle |
Оптична і квантова електроніка в комп’ютерних та інтелектуальних технологіях Оптична і квантова електроніка в комп’ютерних та інтелектуальних технологіях Житарюк, В.Г. Годованюк, В.М. Докторович, І.В. Фотоелектричні властивості приймачів випромінювання, виготовлених на іонно травлених поверхнях кремнію Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології |
| description |
Досліджено вплив іонного травлення поверхонь пластин кремнію на основні параметри фотодіодів, виготовлених на цих поверхнях. |
| format |
Article |
| author |
Житарюк, В.Г. Годованюк, В.М. Докторович, І.В. |
| author_facet |
Житарюк, В.Г. Годованюк, В.М. Докторович, І.В. |
| author_sort |
Житарюк, В.Г. |
| title |
Фотоелектричні властивості приймачів випромінювання, виготовлених на іонно травлених поверхнях кремнію |
| title_short |
Фотоелектричні властивості приймачів випромінювання, виготовлених на іонно травлених поверхнях кремнію |
| title_full |
Фотоелектричні властивості приймачів випромінювання, виготовлених на іонно травлених поверхнях кремнію |
| title_fullStr |
Фотоелектричні властивості приймачів випромінювання, виготовлених на іонно травлених поверхнях кремнію |
| title_full_unstemmed |
Фотоелектричні властивості приймачів випромінювання, виготовлених на іонно травлених поверхнях кремнію |
| title_sort |
фотоелектричні властивості приймачів випромінювання, виготовлених на іонно травлених поверхнях кремнію |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2009 |
| topic_facet |
Оптична і квантова електроніка в комп’ютерних та інтелектуальних технологіях |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/32230 |
| citation_txt |
Фотоелектричні властивості приймачів випромінювання, виготовлених на іонно травлених поверхнях кремнію / В.Г. Житарюк, В.М. Годованюк, І.В. Докторович // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. — 2009. — № 1 (17). — С. 137-140. — Бібліогр.: 4 назв. — укp. |
| series |
Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології |
| work_keys_str_mv |
AT žitarûkvg fotoelektričnívlastivostíprijmačívvipromínûvannâvigotovlenihnaíonnotravlenihpoverhnâhkremníû AT godovanûkvm fotoelektričnívlastivostíprijmačívvipromínûvannâvigotovlenihnaíonnotravlenihpoverhnâhkremníû AT doktorovičív fotoelektričnívlastivostíprijmačívvipromínûvannâvigotovlenihnaíonnotravlenihpoverhnâhkremníû |
| first_indexed |
2023-10-18T17:34:16Z |
| last_indexed |
2023-10-18T17:34:16Z |
| _version_ |
1796141896690565120 |