2025-02-23T15:27:30-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-51758%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T15:27:30-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-51758%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T15:27:30-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T15:27:30-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Роль пластической деформации в получении нанокремния

Роль пластической деформации в получении нанокремния

В результате высокотемпературного окисления Si в приповерхностных слоях образуется сложная дефектная область. Стравливание SiO₂ и обработка поверхности избирательными травителями позволяет получать наноструктурированный Si с заданной топологией....

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Смынтына, В.А., Кулинич, О.А., Яцунский, И.Р., Марчук, И.А.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2011
Series:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Subjects:
Функциональная микро- и наноэлектроника
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51758
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

Similar Items

2025-02-23T15:27:30-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&rows=40&rows=5&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-51758%22&qt=morelikethis
2025-02-23T15:27:30-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&rows=40&rows=5&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-51758%22&qt=morelikethis
2025-02-23T15:27:30-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T15:27:30-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response

Similar Items