2025-02-23T15:29:10-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-51758%22&qt=morelikethis&rows=5

2025-02-23T15:29:10-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-51758%22&qt=morelikethis&rows=5

2025-02-23T15:29:10-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK

2025-02-23T15:29:10-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response

Роль пластической деформации в получении нанокремния

В результате высокотемпературного окисления Si в приповерхностных слоях образуется сложная дефектная область. Стравливание SiO₂ и обработка поверхности избирательными травителями позволяет получать наноструктурированный Si с заданной топологией....

Full description

Saved in:

Bibliographic Details
Main Authors:	Смынтына, В.А., Кулинич, О.А., Яцунский, И.Р., Марчук, И.А.
Format:	Article
Language:	Russian
Published:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2011
Series:	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Subjects:	Функциональная микро- и наноэлектроника
Online Access:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51758
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!

Be the first to leave a comment!

Роль пластической деформации в получении нанокремния

Similar Items