Высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников
Исследованы пространственное распределение параметров плазмы и однородность потока ионов, направленного на обрабатываемую поверхность в плазмохимическом реакторе. Полученные результаты могут быть использованы в технологиях производства микроэлектронных приборов....
Gespeichert in:
| Datum: | 2011 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2011
|
| Schriftenreihe: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51764 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников / С.В. Дудин, В.А. Лисовский, А.Н. Дахов, В.М. Плетнёв // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2011. — № 1-2. — С. 42-48. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-51764 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-517642013-12-09T03:14:15Z Высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников Дудин, С.В. Лисовский, В.А. Дахов, А.Н. Плетнёв, В.М. Технологические процессы и оборудование Исследованы пространственное распределение параметров плазмы и однородность потока ионов, направленного на обрабатываемую поверхность в плазмохимическом реакторе. Полученные результаты могут быть использованы в технологиях производства микроэлектронных приборов. Представлено результати експериментальних і теоретичних досліджень реактора для плазмово-хімічного травлення напівпровідникових матеріалів на базі ВЧ ємнісного розряду з асиметричними електродами. Отримано криві запалювання та області існування розряду для різних робочих газів (аргон, фреон, кисень). Знайдено залежності постійної напруги автозсуѕу від ВЧ-напруги, що подається на електрод. Виміряно радіальні профілі щільності струму іонів на оброблювану поверхню та їх поводження при зміні параметрів розряду для різних газів. Проведено порівняння отриманих результатів з розрахунками, виконаними з використанням двовимірної математичної моделі OOPІC. Results of experimental and theoretical study of RF CCP reactor for reactive ion etching of semiconductors are presented. Breakdown curve and domain of the discharge existence are measured in various gases (argon, fluorocarbon, oxygen). The dependences of the DC selfbias potential on the RF voltage applied to the electrode have been found. The radial profiles of the ion current density to the processed surface and their behavior with the discharge parameters change are presented for various gases. The experimental data are compared to the numerical simulation results obtained using the OOPIC code. 2011 Article Высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников / С.В. Дудин, В.А. Лисовский, А.Н. Дахов, В.М. Плетнёв // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2011. — № 1-2. — С. 42-48. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51764 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование |
| spellingShingle |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование Дудин, С.В. Лисовский, В.А. Дахов, А.Н. Плетнёв, В.М. Высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Исследованы пространственное распределение параметров плазмы и однородность потока ионов, направленного на обрабатываемую поверхность в плазмохимическом реакторе. Полученные результаты могут быть использованы в технологиях производства микроэлектронных приборов. |
| format |
Article |
| author |
Дудин, С.В. Лисовский, В.А. Дахов, А.Н. Плетнёв, В.М. |
| author_facet |
Дудин, С.В. Лисовский, В.А. Дахов, А.Н. Плетнёв, В.М. |
| author_sort |
Дудин, С.В. |
| title |
Высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников |
| title_short |
Высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников |
| title_full |
Высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников |
| title_fullStr |
Высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников |
| title_full_unstemmed |
Высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников |
| title_sort |
высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2011 |
| topic_facet |
Технологические процессы и оборудование |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51764 |
| citation_txt |
Высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников / С.В. Дудин, В.А. Лисовский, А.Н. Дахов, В.М. Плетнёв // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2011. — № 1-2. — С. 42-48. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT dudinsv vysokočastotnyjreaktorsasimmetričnymiélektrodamidlâplazmohimičeskogotravleniâpoluprovodnikov AT lisovskijva vysokočastotnyjreaktorsasimmetričnymiélektrodamidlâplazmohimičeskogotravleniâpoluprovodnikov AT dahovan vysokočastotnyjreaktorsasimmetričnymiélektrodamidlâplazmohimičeskogotravleniâpoluprovodnikov AT pletnëvvm vysokočastotnyjreaktorsasimmetričnymiélektrodamidlâplazmohimičeskogotravleniâpoluprovodnikov |
| first_indexed |
2025-07-04T13:57:14Z |
| last_indexed |
2025-07-04T13:57:14Z |
| _version_ |
1836724989392322560 |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2011, ¹ 1�2
42
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
07.09 2010 ã.
Îïïîíåíò ê. ô.-ì. í. Î. À. ÔÅÄÎÐÎÂÈ×
(Èí-ò ÿäåðíûõ èññëåäîâàíèé, ã. Êèåâ)
Ñ. Â. ÄÓÄÈÍ, Â. À. ËÈÑÎÂÑÊÈÉ, À. Í. ÄÀÕÎÂ, Â. Ì. ÏËÅÒͨÂ
Óêðàèíà, Õàðüêîâñêèé íàöèîíàëüíûé óíèâåðñèòåò èì. Â. Í. Êàðàçèíà
E-mail: alex.dakhov@gmail.com
ÂÛÑÎÊÎ×ÀÑÒÎÒÍÛÉ ÐÅÀÊÒÎÐ
Ñ ÀÑÈÌÌÅÒÐÈ×ÍÛÌÈ ÝËÅÊÒÐÎÄÀÌÈ ÄËß
ÏËÀÇÌÎÕÈÌÈ×ÅÑÊÎÃÎ ÒÐÀÂËÅÍÈß ÏÎËÓÏÐÎÂÎÄÍÈÊÎÂ
Èññëåäîâàíû ïðîñòðàíñòâåííîå ðàñïðå-
äåëåíèå ïàðàìåòðîâ ïëàçìû è îäíîðîä-
íîñòü ïîòîêà èîíîâ, íàïðàâëåííîãî íà
îáðàáàòûâàåìóþ ïîâåðõíîñòü â ïëàç-
ìîõèìè÷åñêîì ðåàêòîðå. Ïîëó÷åííûå
ðåçóëüòàòû ìîãóò áûòü èñïîëüçîâàíû
â òåõíîëîãèÿõ ïðîèçâîäñòâà ìèêðîýëåê-
òðîííûõ ïðèáîðîâ.
Âûñîêî÷àñòîòíûé (Â×) åìêîñòíûé ãàçîâûé ðàçðÿä
â êàìåðàõ ñ àñèììåòðè÷íûìè ýëåêòðîäàìè øèðîêî
èñïîëüçóåòñÿ â ðàçëè÷íûõ òåõíîëîãè÷åñêèõ ïðîöåñ-
ñàõ äëÿ ïëàçìåííîãî òðàâëåíèÿ è ìîäèôèêàöèè ðàç-
ëè÷íûõ ìàòåðèàëîâ, îñàæäåíèÿ íèòðèäíûõ, îêñèäíûõ,
àëìàçîïîäîáíûõ è äðóãèõ òîíêèõ ïëåíîê, ñòåðèëè-
çàöèè ìåäèöèíñêèõ èíñòðóìåíòîâ è ò. ä. [1�3].
Ïðè êîíñòðóèðîâàíèè ïëàçìåííûõ òåõíîëîãè÷å-
ñêèõ óñòðîéñòâ íà îñíîâå Â× åìêîñòíîãî ðàçðÿäà îä-
íîé èç êëþ÷åâûõ çàäà÷ ÿâëÿåòñÿ ôîðìèðîâàíèå ïðî-
ñòðàíñòâåííîãî ðàñïðåäåëåíèÿ çàðÿæåííûõ è õèìè-
÷åñêè àêòèâíûõ ÷àñòèö â îáúåìå ãàçîðàçðÿäíîé êà-
ìåðû. Íàèáîëüøèé èíòåðåñ ïðåäñòàâëÿåò ðàñïðåäå-
ëåíèå ïîòîêîâ ÷àñòèö, íàïðàâëåííûõ íà îáðàáàòûâà-
åìóþ ïîâåðõíîñòü, à îñíîâíîé çàäà÷åé, êàê ïðàâèëî,
ÿâëÿåòñÿ äîñòèæåíèå âûñîêîé îäíîðîäíîñòè ýòèõ ïî-
òîêîâ. Ðåøåíèå ýòîé çàäà÷è îñëîæíÿåòñÿ òåì, ÷òî ðàç-
ðÿäíàÿ êàìåðà â òåõíîëîãè÷åñêèõ óñòðîéñòâàõ ìî-
æåò èìåòü äîñòàòî÷íî ñëîæíóþ ãåîìåòðèþ, ïðîöåñ-
ñû ïåðåäà÷è ýíåðãèè â ïëàçìå, çàðîæäåíèÿ è óõîäà
çàðÿæåííûõ ÷àñòèö ñëîæíû è íåëèíåéíû, à ðàâíî-
ìåðíûé ââîä ýíåðãèè â ïëàçìó ïðàêòè÷åñêè íåâîç-
ìîæåí. Ïîýòîìó òî÷íûé îòâåò íà âîïðîñ î ïðîñòðàí-
ñòâåííîì ðàñïðåäåëåíèè ïàðàìåòðîâ çàðÿæåííûõ ÷à-
ñòèö â êîíêðåòíîì óñòðîéñòâå ìîæåò äàòü òîëüêî ýê-
ñïåðèìåíòàëüíîå èõ èçìåðåíèå, êîòîðîå ëèøü êîí-
ñòàòèðóåò ñëîæèâøóþñÿ ñèòóàöèþ. Ðàçðàáîòêà æå íî-
âûõ ïëàçìåííûõ óñòðîéñòâ ïðåäïîëàãàåò ïîñëåäî-
âàòåëüíûå èçìåíåíèÿ êîíñòðóêöèè ñ ïîñòåïåííûì ïðè-
áëèæåíèåì ê æåëàåìîìó ðåçóëüòàòó. Òî åñòü ýìïèðè-
÷åñêèé ïóòü ðàçðàáîòêè êîíñòðóêöèè ïëàçìåííîãî ðå-
àêòîðà òðåáóåò èçãîòîâëåíèÿ ðàçëè÷íûõ âàðèàíòîâ ýëå-
ìåíòîâ ðåàêòîðà è ìîæåò îêàçàòüñÿ äîëãèì, òðóäîåì-
êèì è äîðîãîñòîÿùèì.
Î÷åâèäíî, õîðîøèì èíñòðóìåíòîì äëÿ ðàçðàáîò-
êè ïëàçìåííûõ òåõíîëîãè÷åñêèõ óñòðîéñòâ ìîãóò áûòü
ìàòåìàòè÷åñêèå ìîäåëè ãàçîâîãî ðàçðÿäà, ïîçâîëÿ-
þùèå èçìåíÿòü ïàðàìåòðû è ãåîìåòðèþ ñèñòåìû.
Ñëîæíîñòü çàäà÷è íå ïîçâîëÿåò íàäåÿòüñÿ íà âîçìîæ-
íîñòü åå àíàëèòè÷åñêîãî ðåøåíèÿ ëèáî óñòàíîâëåíèå
òî÷íûõ ôóíêöèîíàëüíûõ çàêîíîìåðíîñòåé. Íàèáîëåå
àäåêâàòíûì ïîäõîäîì â äàííîì ñëó÷àå ÿâëÿåòñÿ ïî-
ñòðîåíèå ÷èñëåííîé äâóìåðíîé êîìïüþòåðíîé ìîäå-
ëè (òåõíîëîãè÷åñêèå óñòðîéñòâà, êàê ïðàâèëî, èìå-
þò ñèììåòðèþ âðàùåíèÿ). Â òî æå âðåìÿ, ñîâðåìåí-
íûé óðîâåíü ðàçâèòèÿ ôèçèêè ãàçîâîãî ðàçðÿäà íå
ïîçâîëÿåò ñîçäàâàòü ìàòåìàòè÷åñêèå ìîäåëè, àáñî-
ëþòíî òî÷íî îïèñûâàþùèå ðåàëüíûå óñòðîéñòâà.
Ïîýòîìó åäèíñòâåííî âîçìîæíûì ïîäõîäîì â äàí-
íîì ñëó÷àå ÿâëÿþòñÿ êîìïëåêñíûå òåîðåòè÷åñêèå è
ýêñïåðèìåíòàëüíûå èññëåäîâàíèÿ.
Íàñòîÿùàÿ ðàáîòà ïîñâÿùåíà èññëåäîâàíèÿì ïðî-
ñòðàíñòâåííîãî ðàñïðåäåëåíèÿ ïàðàìåòðîâ ïëàçìû è
îäíîðîäíîñòè ïîòîêà èîíîâ, íàïðàâëåííîãî íà îáðà-
áàòûâàåìóþ ïîâåðõíîñòü â ïëàçìîõèìè÷åñêîì ðåàê-
òîðå íà áàçå Â× åìêîñòíîãî ðàçðÿäà ñ àñèììåòðè÷íû-
ìè ýëåêòðîäàìè.
Êîíñòðóêöèÿ ðåàêòîðà è óñëîâèÿ ýêñïåðèìåíòîâ
Èñõîäÿ èç ðåçóëüòàòîâ äâóìåðíîãî êîìïüþòåðíî-
ãî ìîäåëèðîâàíèÿ ïëàçìû âíóòðåííÿÿ ãåîìåòðèÿ êà-
ìåðû áûëà âûáðàíà òàêîé, ÷òîáû îáåñïå÷èòü ìàêñè-
ìàëüíóþ îäíîðîäíîñòü ïàðàìåòðîâ ïëàçìû âáëèçè
îáðàáàòûâàåìîé ïîâåðõíîñòè â óñëîâèÿõ íèçêîãî äàâ-
ëåíèÿ ðàáî÷åãî ãàçà, ïðè êîòîðîì òðàåêòîðèè èîíîâ
áëèçêè ê ïðÿìîëèíåéíûì, ÷òî ïîçâîëÿåò ïðîâîäèòü
òðàâëåíèå ñ âûñîêîé àíèçîòðîïèåé.
Íà ðèñ. 1 ïîêàçàíà ñõåìà ãàçîðàçðÿäíîé êàìåðû
ðåàêòîðà. Ðàññòîÿíèå ìåæäó ýëåêòðîäàìè âûáðàíî
ðàâíûì 40 ìì, ÷òî ïðèìåðíî ðàâíî ðàäèóñó ïîäëîæ-
êîäåðæàòåëÿ. Ýòî îáåñïå÷èâàåò âîçìîæíîñòü ðàáîòû
ïðè äîñòàòî÷íî íèçêîì äàâëåíèè ðàáî÷åãî ãàçà. Ê
òîìó æå, ïðè òàêîì çàçîðå ìåæäó ýëåêòðîäàìè ìîæ-
íî îáåñïå÷èòü äîñòàòî÷íî îäíîðîäíóþ ïîäà÷ó òåõíî-
ëîãè÷åñêîãî ãàçà ê îáðàáàòûâàåìîé ïëàñòèíå è îòêà-
÷èâàíèå ïðîäóêòîâ òðàâëåíèÿ.
Îõëàæäåíèå ãàçîðàçðÿäíîé êàìåðû è ïîäëîæêî-
äåðæàòåëÿ � âîäÿíîå. Ïîäëîæêîäåðæàòåëü ñ äèàìåò-
ðîì ðàáî÷åé ïîâåðõíîñòè 100 ìì âûïîëíåí ñîñòàâ-
íûì. Åãî îáðàùåííàÿ â ïëàçìó âåðõíÿÿ ÷àñòü, êîòî-
ðàÿ äîëæíà áûòü óñòîé÷èâà ê ðàñïûëåíèþ è âîçäåé-
Ðàáîòà áûëà âûïîëíåíà ïðè ïîääåðæêå Ìèíèñòåðñòâà ïðîìûø-
ëåííîé ïîëèòèêè Óêðàèíû (ÍÈÎÊÐ ¹ ã.ð. 0108U009822)
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2011, ¹ 1�2
43
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
ñòâèþ õèìè÷åñêè àêòèâíûõ ðàäèêàëîâ, èçãîòîâëåíà
èç íåðæàâåþùåé ñòàëè. Íèæíÿÿ ÷àñòü âûïîëíåíà èç
àëþìèíèåâîãî ñïëàâà, ïîñêîëüêó åå îñíîâíîé çàäà-
÷åé ÿâëÿåòñÿ ðàâíîìåðíûé îòâîä òåïëà è ïåðåäà÷à åãî
òðóáêå âîäÿíîãî îõëàæäåíèÿ.
Íåîáõîäèìîñòü äîñòèæåíèÿ âûñîêîé îäíîðîäíî-
ñòè òðàâëåíèÿ ïëàñòèí òðåáóåò êàê ðàâíîìåðíîãî ðàñ-
ïðåäåëåíèÿ ïî ïîâåðõíîñòè ýëåêòðîäà ïàðàìåòðîâ
ïëàçìû, òàê è ðàâíîìåðíîãî íàïóñêà ðåàêòèâíîãî
ãàçà. Ýòà çàäà÷à ðåøàåòñÿ ñ ïîìîùüþ ñèñòåìû ðàñ-
ïðåäåëåííîãî ãàçîíàïóñêà � öèëèíäðè÷åñêîãî ðå-
çåðâóàðà, ðàñïîëîæåííîãî íåïîñðåäñòâåííî íàä îá-
ðàáàòûâàåìîé ïëàñòèíîé. Ðàáî÷èé ãàç â ðàçðÿäíóþ
êàìåðó ïîñòóïàåò ÷åðåç áîëüøîå êîëè÷åñòâî îòâåð-
ñòèé, ðàâíîìåðíî ðàñïðåäåëåííûõ ïî ïîâåðõíîñòè
ñèñòåìû.
 ýòîé êîíñòðóêöèè áûëà ðåàëèçîâàíà ñõåìà ñ
àñèììåòðè÷íûìè ýëåêòðîäàìè (ïëîùàäü ðàáî÷åé ïî-
âåðõíîñòè ïîäëîæêîäåðæàòåëÿ ïðèìåðíî íà ïîðÿäîê
ìåíüøå ïëîùàäè ïîâåðõíîñòè ãàçîðàçðÿäíîé êàìå-
ðû), êîòîðàÿ ïîçâîëÿåò ïîëó÷èòü ïîñòîÿííîå íàïðÿ-
æåíèå íà ýëåêòðîäå áåç ïîäêëþ÷åíèÿ äîïîëíèòåëüíî-
ãî èñòî÷íèêà ïèòàíèÿ, à òàêæå èçáåæàòü íåæåëàòåëü-
íîé áîìáàðäèðîâêè ñòåíîê ðåàêòîðà âûñîêîýíåðãå-
òè÷åñêèìè èîíàìè. Òàêèå ìåðû ñíèæàþò çàãðÿçíå-
íèå îáðàáàòûâàåìûõ ïëàñòèí è ïîâûøàþò ýíåðãåòè-
÷åñêóþ ýêîíîìè÷íîñòü ðåàêòîðà.
Ê ïîäëîæêîäåðæàòåëþ ÷åðåç ðàçäåëèòåëüíûé êîí-
äåíñàòîð ïðèêëàäûâàåòñÿ Â×-íàïðÿæåíèå àìïëèòóäîé
0�500 Â, òîãäà êàê ñàìà ãàçîðàçðÿäíàÿ êàìåðà çà-
çåìëåíà. Áëàãîäàðÿ íàëè÷èþ ðàçäåëèòåëüíîãî êîíäåí-
ñàòîðà è àñèììåòðèè ýëåêòðîäîâ íà ïîäëîæêîäåðæà-
òåëå ïîÿâëÿåòñÿ îòðèöàòåëüíîå íàïðÿæåíèå àâòîñìå-
ùåíèÿ [3]. Èçìåðåíèå àìïëèòóäû Â×-íàïðÿæåíèÿ íà
ïîòåíöèàëüíîì ýëåêòðîäå ïðîâîäèòñÿ ñ èñïîëüçîâà-
íèåì àìïëèòóäíîãî äåòåêòîðà Â×-íàïðÿæåíèÿ ñ åì-
êîñòíûì äåëèòåëåì. Äëÿ áëîêèðîâàíèÿ ïåðåìåííîé
ñîñòàâëÿþùåé ïðè èçìåðåíèè ïîñòîÿííîãî íàïðÿæå-
íèÿ àâòîñìåùåíèÿ ïîòåíöèàëüíîãî ýëåêòðîäà ïðèìå-
íåí RC-ôèëüòð, êîòîðûé ïîçâîëÿåò ñíèçèòü àìïëèòó-
äó Â×-ñèãíàëà äî óðîâíÿ äåñÿòêîâ ìèëëèâîëüò.
Èçìåðåíèå ïëîòíîñòè ïîòîêà èîíîâ èç ïëàçìû ïðî-
âîäèòñÿ ñ ïîìîùüþ îäèíî÷íîãî ïëîñêîãî çîíäà ïëî-
ùàäüþ 1 ñì2, ðàñïîëîæåííîãî íà áîêîâîé ñòåíêå ãà-
çîðàçðÿäíîé êàìåðû. Íà çîíä ïîäàåòñÿ ïîñòîÿííîå
íàïðÿæåíèå �25 Â îòíîñèòåëüíî êàìåðû, ÷òî îáåñïå-
÷èâàåò ðàáîòó íà ó÷àñòêå èîííîãî íàñûùåíèÿ çîíäî-
âîé õàðàêòåðèñòèêè. Íåïîñðåäñòâåííîå èçìåðåíèå
ïëîòíîñòè ïîòîêà èîíîâ, íàïðàâëåííîãî íà îáðàáà-
òûâàåìóþ ïîâåðõíîñòü, îáû÷íî çàòðóäíåíî, ïîñêîëüêó
ïîäëîæêîäåðæàòåëü íàõîäèòñÿ ïîä âûñîêèì Â×- è ïî-
ñòîÿííûì íàïðÿæåíèåì. Îäíàêî âåëè÷èíà è ðàäèàëü-
íîå ðàñïðåäåëåíèå ïëîòíîñòè èîííîãî ïîòîêà ïðåä-
ñòàâëÿåò çíà÷èòåëüíûé èíòåðåñ ïðè îòðàáîòêå òåõíî-
ëîãè÷åñêèõ ïðîöåññîâ. Ïîýòîìó áûëà ïðîâåäåíà ñå-
ðèÿ ýêñïåðèìåíòîâ, â êîòîðûõ Â×-íàïðÿæåíèå ïîäà-
âàëîñü íà êîðïóñ ãàçîðàçðÿäíîé êàìåðû, à äëÿ èçìå-
ðåíèÿ ðàäèàëüíîãî ðàñïðåäåëåíèÿ ïëîòíîñòè èîííî-
ãî òîêà íà çàçåìëåííîì ïîäëîæêîäåðæàòåëå ïðèìå-
íÿëè ðÿä ðàäèàëüíî ðàñïîëîæåííûõ ïëîñêèõ çîíäîâ
ðàçìåðîì 5×5 ìì, èîííûé òîê íàñûùåíèÿ c êîòîðûõ
èçìåðÿëñÿ ïðè ïîìîùè ìíîãîêàíàëüíîãî àíàëîãî-
öèôðîâîãî ïðåîáðàçîâàòåëÿ PC-1710HG ïðîèçâîäñòâà
êîìïàíèè Advantech. Äëÿ ïðåäîòâðàùåíèÿ ñîáèðàíèÿ
ýëåêòðîíîâ è â ýòîì ñëó÷àå çîíäû íàõîäèëèñü ïîä
ïîòåíöèàëîì �25 Â îòíîñèòåëüíî ïîäëîæêîäåðæàòåëÿ.
Îòêà÷êà âîçäóõà èç ðåàêòîðà îñóùåñòâëÿëàñü ïðè
ïîìîùè òóðáîìîëåêóëÿðíîãî íàñîñà 01ÀÁ-1500. Ïî-
òîê ðàáî÷åãî ãàçà â ðåàêòîð ðåãóëèðîâàëñÿ ïðè ïî-
ìîùè êîíòðîëëåðà ïîòîêà ìàññû SEC-4400 ïðîèç-
âîäñòâà êîìïàíèè HORIBA STEC ñ ìàêñèìàëüíûì
ãàçîïîòîêîì 200 ñòàíä. ñì3/ìèí. Èçìåðåíèå äàâëå-
íèÿ ãàçà â äèàïàçîíå 10�4�100 Òîðð ïðîâîäèëîñü ïðè
ïîìîùè åìêîñòíîãî ìàíîìåòðè÷åñêîãî ïðåîáðàçîâà-
òåëÿ Tylan General CDL 0106, ïîäêëþ÷åííîãî íåïîñ-
ðåäñòâåííî ê ðåàêòîðó ÷åðåç äèàãíîñòè÷åñêîå îêíî.
Ðåçóëüòàòû ìàòåìàòè÷åñêîãî ìîäåëèðîâàíèÿ
ïëàçìû â ðåàêòîðå
Äîñòèæåíèå âûñîêîé îäíîðîäíîñòè êîíöåíòðàöèè
çàðÿæåííûõ è õèìè÷åñêè àêòèâíûõ ÷àñòèö â ïëàçìå
è èõ ïîòîêîâ, íàïðàâëåííûõ íà îáðàáàòûâàåìóþ ïî-
âåðõíîñòü, ÿâëÿåòñÿ îäíîé èç öåëåé ïðè ðàçðàáîòêå è
îïòèìèçàöèè ïëàçìåííûõ òåõíîëîãè÷åñêèõ óñòðîéñòâ.
Äëÿ ëó÷øåãî ïîíèìàíèÿ ïðîöåññîâ, ïðîèñõîäÿùèõ
â àñèììåòðè÷íîì Â×-ðàçðÿäå, áûëî âûïîëíåíî ìî-
äåëèðîâàíèå ñ ïîìîùüþ êîäà OOPIC Pro code (Tech-
X Corporation, http://www.txcorp.com/products/
OOPIC_Pro/) äëÿ çàçîðà ìåæäó ïëîñêèìè ýëåêòðî-
äàìè L = 4 ñì, ïðè ðàçëè÷íûõ çíà÷åíèÿõ ïðèëîæåí-
íîãî Â×-íàïðÿæåíèÿ è äàâëåíèÿ àðãîíà. OOPIC Pro
ÿâëÿåòñÿ äâóìåðíûì êîäîì, ðàáîòàþùèì íà îñíîâå
ìåòîäà «÷àñòèöà â ÿ÷åéêå» (particle-in-cell, PIC). Îí
ñîçäàí äëÿ ìîäåëèðîâàíèÿ ïðîöåññîâ â ïëàçìå, ïó÷-
êàõ çàðÿæåííûõ ÷àñòèö, ñ ðàçíîîáðàçíûìè ãðàíè÷-
íûìè óñëîâèÿìè. OOPIC Pro èñïîëüçóåò àëãîðèòì
Ìîíòå-Êàðëî äëÿ ìîäåëèðîâàíèÿ ñòîëêíîâåíèÿ çàðÿ-
æåííûõ ÷àñòèö ñ ìîëåêóëàìè ãàçà, âêëþ÷àÿ òàêèå
ýôôåêòû, êàê èîí-íåéòðàëüíàÿ ïåðåçàðÿäêà, óïðóãîå
ðàññåÿíèå ýëåêòðîíîâ, íåóïðóãèå ñòîëêíîâåíèÿ ýëåê-
òðîíîâ ñ ìîëåêóëàìè ãàçà, ïðèâîäÿùèå ê èõ âîçáóæ-
äåíèþ è èîíèçàöèè ãàçà. Âðåìåííîé øàã ïðè ìîäåëè-
ðîâàíèè áûë âûáðàí ðàâíûì 4·10�10, à òåìïåðàòóðà
íåéòðàëüíîãî ãàçà 0,04 ýÂ. Íà÷àëüíàÿ îäíîðîäíàÿ êîí-
öåíòðàöèÿ ýëåêòðîíîâ è ïîëîæèòåëüíûõ èîíîâ áûëà
Êðûøêà êàìåðû Ãàçîðàñïðåäåëèòåëü
Ïîäëîæêîäåðæàòåëü Îòêà÷êà
Îêíî
Ñåòêà
Ðèñ. 1. Ñõåìà ãàçîðàçðÿäíîé êàìåðû
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2011, ¹ 1�2
44
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
ðàâíà 108 ñì�3. Ó÷èòûâàëàñü òàêæå âòîðè÷íàÿ èîí-
ýëåêòðîííàÿ ýìèññèÿ ñ ïîâåðõíîñòè ýëåêòðîäîâ, ïðè
ýòîì êîýôôèöèåíò ýìèññèè ïðèíèìàëñÿ ðàâíûì 0,1.
Íà ðèñ. 2, ãäå ïðåäñòàâëåíû ðåçóëüòàòû ÷èñëåííî-
ãî ìîäåëèðîâàíèÿ, âèäíî, ÷òî ïðè âûñîêîì äàâëåíèè
ìàêñèìóì ïëîòíîñòè ïëàçìû ëåæèò íà îñè ðàçðÿäà,
òîãäà êàê ïðè íèçêîì � ñìåùàåòñÿ íà ïåðèôåðèþ.
Äëÿ ïëàçìåííûõ òåõíîëîãè÷åñêèõ ïðîöåññîâ, òðåáó-
þùèõ ïîâûøåííîé îäíîðîäíîñòè ðàñïðåäåëåíèÿ ïà-
ðàìåòðîâ ïëàçìû ïî ïëîùàäè ýëåêòðîäîâ, îïòèìàëü-
íîå äàâëåíèå p àðãîíà ñîñòàâëÿåò îêîëî 10 ìÒîðð.
Ýêñïåðèìåíòàëüíîå èññëåäîâàíèå óñëîâèé çàæè-
ãàíèÿ è ïîääåðæàíèÿ àñèììåòðè÷íîãî Â×-ðàçðÿäà
Äëÿ îïòèìèçàöèè ïëàçìåííûõ òåõíîëîãè÷åñêèõ
ïðîöåññîâ íåîáõîäèìî çíàòü óñëîâèÿ ïðîáîÿ ãàçà â
ðàçðÿäíîì óñòðîéñòâå (êðèâóþ çàæèãàíèÿ), îáëàñòü
ñóùåñòâîâàíèÿ ðàçðÿäà, îãðàíè÷åííóþ êðèâîé ïîãà-
ñàíèÿ, à òàêæå ðåæèìû ãîðåíèÿ ðàçðÿäà. Ïîýòîìó
èññëåäîâàíèå õàðàêòåðèñòèê àñèììåòðè÷íîãî âûñî-
êî÷àñòîòíîãî åìêîñòíîãî ðàçðÿäà ïðåäñòàâëÿåò çíà-
÷èòåëüíûé èíòåðåñ.
Íà ðèñ. 3 ïðåäñòàâëåíû êðèâûå çàæèãàíèÿ Ubr è
ïîãàñàíèÿ Uext, èçìåðåííûå â èññëåäóåìîé êàìåðå äëÿ
àðãîíà, ôðåîíà è êèñëîðîäà. Êðèâàÿ çàæèãàíèÿ ñèì-
ìåòðè÷íîãî Â×-ðàçðÿäà íà ëåâîé âåòâè îáû÷íî èìååò
îáëàñòü íåîäíîçíà÷íîé çàâèñèìîñòè Â× ïðîáîéíîãî
íàïðÿæåíèÿ îò äàâëåíèÿ ãàçà. Òàêàÿ íåîäíîçíà÷íîñòü
ïîçâîëÿåò ïîäæå÷ü Â×-ðàçðÿä íå òîëüêî ïðè ïîâûøå-
íèè, íî è ïðè ïîíèæåíèè Â×-íàïðÿæåíèÿ ïðè ôèêñè-
ðîâàííîì äàâëåíèè ãàçà ñëåâà îò ìèíèìóìà Â×-êðè-
âîé çàæèãàíèÿ [4�7]. Äëÿ ñëó÷àÿ êîãäà çàçîð ìåæäó
ïëîñêèìè ýëåêòðîäàìè äîñòàòî÷íî áîëüøîé êðèâàÿ
Ðèñ. 3. Êðèâûå çàæèãàíèÿ Ubr è ïîãàñàíèÿ Uext ðàçðÿäà â
èññëåäóåìîé êàìåðå â ðàçëè÷íûõ ãàçàõ
10�3 10�2 10�1 100
p, Òîðð
U, Â
300
250
200
150
100
50
0
10�3 10�2 10�1 100
p, Òîðð
U, Â
400
300
200
100
0
10�3 10�2 10�1 100
p, Òîðð
U, Â
500
400
300
200
100
0
Ar
CF4
O2
Ubr
Uext
Ubr
Uext
Ubr
Uext
10 8 6 4 2 0R, ñì 0 2
4
6
Z
, ñì
5
4
3
2
1
0
p = 5 ìÒîðð
n i,
10
8
ñì
�3
0 2
4
6
Z
, ñì
6
5
4
3
2
1
0
p = 10 ìÒîðð
n i,
10
8
ñì
�3
0 2
4
6
Z
, ñì
20
15
10
5
0
p = 20 ìÒîðð
n i,
10
8
ñì
�3
10 8 6 4 2 0
R, ñì
6 4 2 0R, ñì
Ðèñ. 2. Ïðîñòðàíñòâåííîå ðàñïðåäåëåíèå ïëîòíîñòè
ïëàçìû â îáúåìå ðåàêòîðà, ïîëó÷åííîå äëÿ ðàçëè÷-
íûõ çíà÷åíèé äàâëåíèÿ àðãîíà ïðè Â×-íàïðÿæåíèè íà
ýëåêòðîäå 200 Â
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2011, ¹ 1�2
45
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
çàæèãàíèÿ Â×-ðàçðÿäà ïðåäñòàâëÿåò ñîáîé ïîâåðíó-
òóþ íà 45° îòíîñèòåëüíî îñè ïàðàáîëó, ó êîòîðîé íà
âåðõíåé è íèæíåé âåòâÿõ Â× ïðîáîéíîå íàïðÿæåíèå
âîçðàñòàåò ñ ïîâûøåíèåì äàâëåíèÿ ãàçà. Ýòè âåòâè
ñõîäÿòñÿ â òî÷êå ïîâîðîòà, â êîòîðîé àìïëèòóäà ñìå-
ùåíèÿ ýëåêòðîíîâ â Â× ýëåêòðè÷åñêîì ïîëå ðàâíà ïî-
ëîâèíå ðàññòîÿíèÿ ìåæäó ýëåêòðîäàìè [8, 9]. Òàêîå
ïîâåäåíèå êðèâîé çàæèãàíèÿ äëÿ ïëîñêèõ ïàðàëëåëü-
íûõ ýëåêòðîäîâ, ïîëíîñòüþ ïåðåêðûâàþùèõ ïîïåðå÷-
íîå ñå÷åíèå ðàçðÿäíîé òðóáêè, ñâÿçàíî ñ ïîâûøåí-
íûìè ïîòåðÿìè ýëåêòðîíîâ â óñëîâèÿõ, ñîîòâåòñòâó-
þùèõ âåðõíåé âåòâè êðèâîé çàæèãàíèÿ, èç-çà óõîäà
ýëåêòðîíîâ íà ýëåêòðîäû è ñòåíêè òðóáêè âñëåäñòâèå
äðåéôà è äèôôóçèè.
 àñèììåòðè÷íîé êàìåðå, êàê âèäíî èç ðèñ. 3, âåð-
õíÿÿ âåòâü è, ñîîòâåòñòâåííî, îáëàñòü íåîäíîçíà÷íî-
ñòè îòñóòñòâóþò. Ëåâàÿ âåòâü êðèâîé çàæèãàíèÿ ïðåä-
ñòàâëÿåò ñîáîé ïðàêòè÷åñêè âåðòèêàëüíóþ ëèíèþ, ò.
å. çàæèãàíèå ðàçðÿäà âîçìîæíî òîëüêî ïðè äîñòàòî÷-
íî âûñîêîì äàâëåíèè (íàïðèìåð, äëÿ àðãîíà ïðè
p > 0,02 Topp). Îòñóòñòâèå ñòåíêè òðóáêè, îãðàíè÷è-
âàþùåé çàçîð ìåæäó ïëîñêèìè ýëåêòðîäàìè, à òàê-
æå íàëè÷èå çàçåìëåííûõ ñòåíîê ðàçðÿäíîé êàìåðû
áîëüøåãî äèàìåòðà ïðèâîäèò ê ñíèæåíèþ ïîòåðü çà-
ðÿæåííûõ ÷àñòèö, à òàêæå ê âîçìîæíîñòè çàæèãàíèÿ
Â×-ðàçðÿäà íå òîëüêî ìåæäó ïëîñêèìè ýëåêòðîäàìè,
íî è â îáëàñòè âíå ýòîãî çàçîðà.
Èç òðåõ èññëåäîâàííûõ ãàçîâ íàèáîëåå âûñîêîå
ïîðîãîâîå äàâëåíèå ãàçà, íåîáõîäèìîå äëÿ çàæèãà-
íèÿ Â×-ðàçðÿäà â àñèììåòðè÷íîé êàìåðå, íàáëþäàåò-
ñÿ äëÿ êèñëîðîäà. Ýòî ñâÿçàíî, ïî-âèäèìîìó, ñ ïðî-
öåññîì «ïðèëèïàíèÿ» ñâîáîäíûõ ýëåêòðîíîâ ê ìî-
ëåêóëàì êèñëîðîäà, ÷òî çàòðóäíÿåò ïðîáîé ãàçà.
Èññëåäóåìàÿ ðàçðÿäíàÿ êàìåðà ïîäîáíà øèðîêî
èñïîëüçóåìîé çàðóáåæíîé êàìåðå �GEC cell� (Gaseous
Electronics Conference reference cell) [10]. Â ñâÿçè ñ
ýòèì ïîëó÷åííûå ðåçóëüòàòû ìîãóò áûòü ïîëåçíû ïðè
ðàçðàáîòêå è îïòèìèçàöèè øèðîêîãî êëàññà ïëàçìåí-
íûõ òåõíîëîãè÷åñêèõ ïðîöåññîâ äëÿ ýòîãî òèïà ðàç-
ðÿäíûõ êàìåð.
Èç ðèñ. 3 ñëåäóåò òàêæå, ÷òî â èññëåäóåìîé êàìå-
ðå âîçìîæíî ïîääåðæàíèå ãîðÿùåãî ðàçðÿäà ïðè ãî-
ðàçäî áîëåå íèçêîì äàâëåíèè (p ≥1 ìTopp), ïðè êî-
òîðîì ïîëîæèòåëüíûå èîíû, îáðàçîâàâøèåñÿ â îáúå-
ìå ïëàçìû, ðåäêî ñòàëêèâàþòñÿ ñ ìîëåêóëàìè ãàçà è
áîìáàðäèðóþò ýëåêòðîäû è ïîëóïðîâîäíèêîâûå ïëàñ-
òèíû ïðàêòè÷åñêè ïî íîðìàëè ê èõ ïîâåðõíîñòè. Ýòî
ïîçâîëÿåò ïðîâîäèòü â äàííîé êàìåðå ïðîöåññû àíè-
çîòðîïíîãî òðàâëåíèÿ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ìàòåðèàëîâ.
 ñëó÷àå ñèììåòðè÷íîãî ðàçðÿäà îí ìîæåò ãîðåòü
òîëüêî â çàçîðå ìåæäó ïëîñêèìè ýëåêòðîäàìè, ïðè
ýòîì çíà÷èòåëüíàÿ ÷àñòü çàðÿæåííûõ ÷àñòèö òåðÿåòñÿ
íå òîëüêî íà ïîâåðõíîñòè ýëåêòðîäîâ, íî è íà ñòåí-
êàõ äèýëåêòðè÷åñêîé òðóáêè, îãðàíè÷èâàþùåé ðàç-
ðÿä. È ÷åì íèæå äàâëåíèå ãàçà, òåì âûøå ýòè ïîòåðè.
 ñëó÷àå àñèììåòðè÷íîãî íåçàìêíóòîãî ðàçðÿäà
âîçìîæíî åãî ïîääåðæàíèå íå òîëüêî â çàçîðå ìåæ-
äó ïëîñêèìè ýëåêòðîäàìè, íî è âíå ýòîãî çàçîðà, íà
ïåðèôåðèè êàìåðû. Â äàííîé îáëàñòè ðàçðÿäà ïîòåðè
ýëåêòðîíîâ âñëåäñòâèå äðåéôà è äèôôóçèè íà ñòåíêè
êàìåðû ìåíüøå, ÷åì â çàçîðå ìåæäó ýëåêòðîäàìè,
÷òî ïîçâîëÿåò ïîääåðæèâàòü ãîðåíèå ðàçðÿäà ïðè áî-
ëåå íèçêîì äàâëåíèè ãàçà è ñóùåñòâåííî âëèÿåò íà
îäíîðîäíîñòü ïëàçìû.
Ðåæèìû ãîðåíèÿ àñèììåòðè÷íîãî Â×-ðàçðÿäà
Äëÿ èññëåäîâàíèÿ ðåæèìîâ ãîðåíèÿ àñèììåòðè÷-
íîãî Â×-ðàçðÿäà áûëà èçìåðåíà ïëîòíîñòü òîêà ïîëî-
æèòåëüíûõ èîíîâ, íàïðàâëåííîãî íà çîíä, ðàñïîëî-
æåííûé íà çàçåìëåííîé ñòåíêå êàìåðû, äëÿ ðàçëè÷-
íîãî äàâëåíèÿ ãàçà. Èç ðèñ. 4 âèäíî, ÷òî ïðè íèçêîì
äàâëåíèè ãàçà ãîðåíèå ðàçðÿäà âîçìîæíî òîëüêî ïðè
äîñòàòî÷íî âûñîêîì Â×-íàïðÿæåíèè (Urf >150 B), â
òî âðåìÿ êàê ïðè áîëåå âûñîêîì äàâëåíèè âîçìîæíî
ïîääåðæàíèå ðàçðÿäà ïðè Urf =15 Â (÷òî ñîãëàñóåòñÿ
ñ ðåçóëüòàòàìè íà ðèñ. 3). Êðèâàÿ äëÿ äàâëåíèÿ
4 ìÒîðð îïèñûâàåò ïîâåäåíèå ïëîòíîñòè jp òîêà íà
ïðèñòåíî÷íûé çîíä ñ ðîñòîì Â×-íàïðÿæåíèÿ. Êàê
ïîêàçûâàþò íàáëþäåíèÿ, ïðè íèçêîì äàâëåíèè àðãî-
íà ñíà÷àëà ðàçðÿä èìååò ôîðìó êîëüöà, ðàñïîëî-
æåííîãî âíå çàçîðà ìåæäó ïëîñêèìè ýëåêòðîäà-
ìè. Ïðè çíà÷åíèÿõ Urf <120 B ïëîòíîñòü òîêà âîç-
ðàñòàåò ñ ïîâûøåíèåì Â×-íàïðÿæåíèÿ. Çàòåì íà-
áëþäàåòñÿ íåáîëüøîå óìåíüøåíèå ïëîòíîñòè òîêà,
êîãäà ðàçðÿä çàïîëíÿåò è çàçîð ìåæäó ýëåêòðîäàìè.
Äàëüíåéøèé ðîñò Â×-íàïðÿæåíèÿ ñîïðîâîæäàåòñÿ ìî-
íîòîííûì ïîâûøåíèåì ïëîòíîñòè òîêà íà ïðèñòåíî÷-
íûé çîíä. Ïðè áîëåå âûñîêîì äàâëåíèè ãàçà ðàçðÿä
âî âñåì äèàïàçîíå Â×-íàïðÿæåíèé çàïîëíÿåò âñþ êà-
10�1
10�2
10�3
10�4
0,10
0,08
0,06
0,04
0,02
0 100 200 300 400
Urf, Â
0 100 200 300 400 500 600
Urf, Â
à)
á)
Ar
Ar
300
400
500
700
1000
p, ìÒîðð
1,6
2,4
4,0
20
80
250
500
p,
ìÒîðð
j p,
ì
À
/ñ
ì
2
j p,
ì
À
/ñ
ì
2
Ðèñ. 4. Çàâèñèìîñòü ïëîòíîñòè òîêà èîíîâ íà ïðèñòåíî÷-
íûé çîíä îò Â×-íàïðÿæåíèÿ ïðè íèçêèõ (à) è âûñîêèõ
(á) çíà÷åíèÿõ äàâëåíèÿ àðãîíà
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2011, ¹ 1�2
46
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
ìåðó, íàáëþäàåòñÿ ìîíîòîííîå ïîâûøåíèå ïëîòíî-
ñòè èîííîãî òîêà ñ ðîñòîì Â×-íàïðÿæåíèÿ.
Íà êðèâûõ, ïðåäñòàâëåííûõ íà ðèñ. 4, á, ïðè áîëü-
øèõ çíà÷åíèÿõ Â×-íàïðÿæåíèÿ ïîÿâëÿåòñÿ õàðàêòåð-
íûé èçëîì, ñîîòâåòñòâóþùèé ïåðåõîäó Â×-ðàçðÿäà
èç α-ðåæèìà (ñëàáîòî÷íîãî) â γ-ðåæèì (ñèëüíîòî÷-
íûé). Â α-ðåæèìå ýëåêòðîíû ïðèîáðåòàþò ýíåðãèþ,
äîñòàòî÷íóþ äëÿ èîíèçàöèè àòîìîâ ãàçà â Â×-ïîëå â
êâàçèíåéòðàëüíîé ïëàçìå, ïðè ýòîì ýìèññèÿ ýëåêò-
ðîíîâ ñ ïîâåðõíîñòåé ýëåêòðîäîâ â ïîääåðæàíèè ðàç-
ðÿäà áîëüøîé ðîëè íå èãðàåò. Ïðîâîäèìîñòü ïðèýëåê-
òðîäíûõ ñëîåâ ìàëà, à òîê ìåæäó ïëàçìîé è ýëåêòðî-
äàìè çàìûêàåòñÿ, â îñíîâíîì, òîêîì ñìåùåíèÿ. Êðîìå
òîãî, â α-ðåæèìå ýëåêòðîíû çàïîëíÿþò ïðèýëåêòðîä-
íûé ñëîé â òå÷åíèå àíîäíîé ôàçû.  êàòîäíîé ôàçå
äâèæóùàÿñÿ ãðàíèöà ðàñøèðÿþùåãîñÿ ñëîÿ âûòàë-
êèâàåò ýòè ýëåêòðîíû îáðàòíî â ïëàçìó, ïðè ýòîì îíè
ìîãóò ïðèîáðåòàòü ýíåðãèþ áëàãîäàðÿ ïîâûøåííîìó
ýëåêòðè÷åñêîìó ïîëþ â ñëîå. Ñêîðîñòü èîíèçàöèè
ãàçà ýëåêòðîíàìè, âûòåñíåííûìè ðàñøèðÿþùåéñÿ
ãðàíèöåé ñëîÿ, ìîæåò çíà÷èòåëüíî ïðåâûøàòü ñêî-
ðîñòü èîíèçàöèè ýëåêòðîíàìè, ïîëó÷èâøèìè ýíåðãèþ
îò Â× ýëåêòðè÷åñêîãî ïîëÿ â ïëàçìåííîì îáúåìå.
 γ-ðåæèìå â ïðèýëåêòðîäíûõ ñëîÿõ ðàçâèâàþòñÿ
ýëåêòðîííûå ëàâèíû, èîíèçàöèÿ ãàçà ýëåêòðîííûì
óäàðîì ïðîèñõîäèò, â îñíîâíîì, âáëèçè ãðàíèöû
«ïðèýëåêòðîäíûé ñëîé � êâàçèíåéòðàëüíàÿ ïëàçìà»,
ïðè ýòîì ýìèññèÿ ýëåêòðîíîâ ñ ïîâåðõíîñòè ýëåêò-
ðîäîâ ñóùåñòâåííî óâåëè÷èâàåò êîëè÷åñòâî ýëåêò-
ðîíîâ è âëèÿåò íà ïîääåðæàíèå ðàçðÿäà. Ïðèýëåêò-
ðîäíûå ñëîè â γ-ðåæèìå îáëàäàþò çíà÷èòåëüíîé ïðî-
âîäèìîñòüþ è ïî õàðàêòåðèñòèêàì ïîäîáíû êàòîäíî-
ìó ñëîþ òëåþùåãî ðàçðÿäà ïîñòîÿííîãî òîêà. Èçâåñò-
íî [11�20], ÷òî Â×-ðàçðÿä ïðè ñðåäíåì äàâëåíèè ãàçà
ïåðåõîäèò èç α- â γ-ðåæèì ñêà÷êîîáðàçíî (÷òî âèäíî
íà ðèñ. 4, á íà êðèâîé äëÿ 1000 ìÒîðð), ïðè ýòîì
çíà÷èòåëüíî âîçðàñòàþò ïëîòíîñòü ïëàçìû â ðàçðÿä-
íîì îáúåìå è àìïëèòóäà Â×-òîêà. Ïðè áîëåå íèçêîì
äàâëåíèè Â×-ðàçðÿä ïåðåõîäèò èç îäíîãî ðåæèìà â
äðóãîé ïëàâíî, áåç ñêà÷êîâ.
Èç ðèñ. 4 ñëåäóåò òàêæå, ÷òî ïëîòíîñòü òîêà íà
ïðèñòåíî÷íûé çîíä îñòàåòñÿ ïðàêòè÷åñêè íåèçìåííîé
ïðè èçìåíåíèè äàâëåíèÿ ãàçà â äèàïàçîíå îò åäèíèö
äî ïðèìåðíî 100 ìÒîðð. Áîëåå ïîäðîáíî ýòîò ýôôåêò
âèäåí íà ðèñ. 5. Ïî-âèäèìîìó, â ýòîì äèàïàçîíå
äàâëåíèÿ ãàçà áîëåå ïëîòíàÿ ïëàçìà êîíöåíòðèðóåòñÿ
â çàçîðå ìåæäó ïëîñêèìè ýëåêòðîäàìè, à âíå ýòîãî
çàçîðà ñêîðîñòü èîíèçàöèè ãàçà ýëåêòðîíàìè ñíèæàåò-
ñÿ. Íî ñ ðîñòîì äàâëåíèÿ ãàçà ñíèæàåòñÿ ñêîðîñòü äèô-
ôóçèîííîãî óõîäà çàðÿæåííûõ ÷àñòèö íà ñòåíêè êàìå-
ðû âñëåäñòâèå àìáèïîëÿðíîé äèôôóçèè. Ïî-âèäèìî-
ìó, â îïðåäåëåííîì äèàïàçîíå äàâëåíèÿ ãàçà ñêîðîñòü
èîíèçàöèè áëèçêà ê ñêîðîñòè äèôôóçèîííîãî óõîäà,
÷òî è ïðèâîäèò ê ïîñòîÿíñòâó ïëîòíîñòè òîêà èîíîâ íà
ïðèñòåíî÷íûé çîíä ñ èçìåíåíèåì äàâëåíèÿ. Ñ ïîâû-
øåíèåì äàâëåíèÿ ãàçà âûøå 100 ìÒîðð â çàçîðå ìåæ-
äó ýëåêòðîäàìè ðîæäàåòñÿ âñå áîëüøå çàðÿæåííûõ
÷àñòèö, ïëîòíîñòü ïëàçìû âîçðàñòàåò âî âñåì îáúåìå
ðàçðÿäíîé êàìåðû, óâåëè÷èâàåòñÿ è ïîòîê èîíîâ íà
ñòåíêè êàìåðû. Îñîáåííî ÿðêî ýòîò ýôôåêò âûðàæåí
ïðè äîñòàòî÷íî âûñîêîì Â×-íàïðÿæåíèè, êîãäà ðàç-
ðÿä ãîðèò â ñèëüíîòî÷íîì ðåæèìå.
Âàæíîé õàðàêòåðèñòèêîé àñèììåòðè÷íîé ðàçðÿä-
íîé êàìåðû ÿâëÿåòñÿ ïîñòîÿííîå íàïðÿæåíèå àâòî-
ñìåùåíèÿ, êîòîðîå âîçíèêàåò èç-çà ðàçëè÷èÿ ïîòîêîâ
ýëåêòðîíîâ è èîíîâ íà ýëåêòðîäû ðàçëè÷íîé ïëîùà-
äè.  ñëó÷àå êîãäà Â×-ýëåêòðîä èìååò ìåíüøóþ ïëî-
ùàäü, ÷åì âñå çàçåìëåííûå ïîâåðõíîñòè êàìåðû (êàê
â íàøåì ñëó÷àå), ìåæäó ýëåêòðîäàìè âîçíèêàåò ïî-
ñòîÿííîå íàïðÿæåíèå, ïðè ýòîì ìåíüøèé ïî ïëîùàäè
ýëåêòðîä ïðèîáðåòàåò îòðèöàòåëüíûé ïîòåíöèàë [12].
Ýòà îñîáåííîñòü àñèììåòðè÷íîãî Â× åìêîñòíîãî ðàç-
ðÿäà ïîçâîëÿåò çíà÷èòåëüíî óâåëè÷èòü ïîòîê ïîëîæè-
òåëüíûõ èîíîâ íà Â×-ýëåêòðîä è ðàñïîëîæåííûå íà
íåì îáðàáàòûâàåìûå ïëàñòèíû, ÷òî ïîâûøàåò ñêî-
ðîñòü èîííî-ïëàçìåííîãî òðàâëåíèÿ. Èç ðèñ. 6 âèä-
íî, ÷òî íàïðÿæåíèå àâòîñìåùåíèÿ óâåëè÷èâàåòñÿ
ïðàêòè÷åñêè ëèíåéíî ñ ðîñòîì Â×-íàïðÿæåíèÿ. Íå-
êîòîðûå îñîáåííîñòè ïðîöåññîâ, íàáëþäàåìûå íà
ýòèõ êðèâûõ (íàïðèìåð, äëÿ äàâëåíèÿ 500 ìÒîðð è
Ar
Urf, Â100
200
300
400
10�1
10�2
10�3
10�3 10�2 10�1 100
p, Òîðð
Ðèñ. 5. Çàâèñèìîñòü ïëîòíîñòè òîêà èîíîâ íà ïðèñòåíî÷-
íûé çîíä îò äàâëåíèÿ àðãîíà ïðè ðàçëè÷íûõ çíà÷åíèÿõ
ïðèëîæåííîãî Â×-íàïðÿæåíèÿ
j p,
ì
À
/ñ
ì
2
Ðèñ. 6. Çàâèñèìîñòü ïîñòîÿííîãî íàïðÿæåíèÿ àâòîñìå-
ùåíèÿ Udñ îò Â×-íàïðÿæåíèÿ ïðè ðàçëè÷íîì äàâëåíèè
àðãîíà
400
300
200
100
0 100 200 300 400 500
Urf, Â
Ar
1,6
20
500
p, ìÒîðð
U
dc
, Â
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2011, ¹ 1�2
47
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
Â×-íàïðÿæåíèÿ 240 Â) ìîæíî îáúÿñíèòü ïåðåõîäîì
Â×-ðàçðÿäà èç ñëàáîòî÷íîãî â ñèëüíîòî÷íûé ðåæèì
è ñîïðîâîæäàþùåé åãî ïåðåñòðîéêîé ðàçðÿäíîé
ñòðóêòóðû.
Ðàäèàëüíîå ðàñïðåäåëåíèå ïëîòíîñòè ïîòîêà
èîíîâ èç ïëàçìû Â×-ðàçðÿäà íà îáðàáàòûâàåìóþ
ïîâåðõíîñòü
Ñëåäóåò îòìåòèòü, ÷òî ïëîòíîñòü j òîêà èîíîâ èç
ïëàçìû íà îáðàáàòûâàåìóþ ïîâåðõíîñòü è åå ðàäè-
àëüíîå ðàñïðåäåëåíèå îòíîñÿòñÿ ê âàæíåéøèì õàðàê-
òåðèñòèêàì ïëàçìîõèìè÷åñêîãî ðåàêòîðà ñ ïðèêëàä-
íîé òî÷êè çðåíèÿ, à äîñòèæåíèå âûñîêîé ïëîòíîñòè
òîêà ïðè óñëîâèè ìàêñèìàëüíîé îäíîðîäíîñòè ÿâëÿ-
åòñÿ îäíîé èç îñíîâíûõ çàäà÷ ïðè êîíñòðóèðîâàíèè
ïëàçìåííûõ òåõíîëîãè÷åñêèõ óñòðîéñòâ.  ñâÿçè ñ
ýòèì, ïðè èçó÷åíèè ôèçè÷åñêèõ è òåõíîëîãè÷åñêèõ
ïàðàìåòðîâ îïèñàííîãî ðåàêòîðà îñîáîå âíèìàíèå
áûëî óäåëåíî èìåííî èçó÷åíèþ çàêîíîìåðíîñòåé ôîð-
ìèðîâàíèÿ ðàäèàëüíûõ ïðîôèëåé ðàñïðåäåëåíèÿ j. Ïðè
ýòîì èçìåðåíèÿ ïðîâîäèëèñü ñ èñïîëüçîâàíèåì â êà-
÷åñòâå ðàáî÷åãî ãàçà êàê àðãîíà, íàèáîëåå óäîáíîãî
äëÿ ýêñïåðèìåíòàëüíûõ èññëåäîâàíèé è ìîäåëèðî-
âàíèÿ, òàê è ìîëåêóëÿðíûõ õèìè÷åñêè àêòèâíûõ ãà-
çîâ, øèðîêî èñïîëüçóåìûõ â òåõíîëîãèè.
Êàê âèäíî èç ðèñ. 7, à, ïðè äàâëåíèè àðãîíà
55 ìÒîðð è Â×-íàïðÿæåíèè íà ýëåêòðîäå â äèàïàçîíå
25�225 Â õàðàêòåð ðàäèàëüíîãî ðàñïðåäåëåíèÿ ïëîò-
íîñòè òîêà èîíîâ ïðàêòè÷åñêè íå ìåíÿåòñÿ, íåîäíî-
ðîäíîñòü ïëîòíîñòè òîêà ïî ðàäèóñó ñîñòàâëÿåò ïî-
ðÿäêà ±5%, à àáñîëþòíàÿ âåëè÷èíà j ìîíîòîííî ðàñ-
òåò ñ ðîñòîì Â×-íàïðÿæåíèÿ. Íà ýòîì æå ðèñóíêå
ïóíêòèðíîé ëèíèåé ïîêàçàíû òàêæå ðåçóëüòàòû ðàñ-
÷åòà, ïîëó÷åííûå äëÿ çíà÷åíèÿ Â×-íàïðÿæåíèÿ 200 Â
ñ ïîìîùüþ êîäà OOPIC, êîòîðûå, êàê âèäíî, õîðî-
øî ñîãëàñóþòñÿ ñ ýêñïåðèìåíòàëüíûìè äàííûìè. Íà-
áëþäàåìûé íåáîëüøîé ìàêñèìóì âáëèçè öåíòðà ýëåê-
òðîäà ìîæíî îáúÿñíèòü íåáîëüøèì ãðàäèåíòîì äàâ-
ëåíèÿ ãàçà, âîçíèêàþùèì âñëåäñòâèå ðàäèàëüíîãî
õàðàêòåðà äâèæåíèÿ ïîòîêà ãàçà ïðè îòêà÷êå.
Ïîäîáíûé õàðàêòåð ïîâåäåíèÿ ðàäèàëüíîãî ïðî-
ôèëÿ ðàñïðåäåëåíèÿ j ïðè èçìåíåíèè äàâëåíèÿ âèäåí
íà ðèñ. 7, á. Â äèàïàçîíå äàâëåíèé 50�500 ìÒîðð
ôîðìà ïðîôèëÿ îñòàåòñÿ êà÷åñòâåííî íåèçìåííîé, à
âåëè÷èíà j ìîíîòîííî ðàñòåò ñ ðîñòîì äàâëåíèÿ àð-
ãîíà. Åñëè æå â êà÷åñòâå ðàáî÷åãî ãàçà èñïîëüçóåòñÿ
ôðåîí (ðèñ. 7, â, ã), ðàäèàëüíûé ïðîôèëü j ïðè èçìå-
íåíèè äàâëåíèÿ èçìåíÿåòñÿ èíà÷å. Ïðè íèçêîì äàâëå-
íèè, êàê è äëÿ àðãîíà, ïëîòíîñòü òîêà ïðàêòè÷åñêè
ïîñòîÿííà ïî ðàäèóñó. Ïðè áîëåå âûñîêîì äàâëåíèè
ðàçðÿä ñòàíîâèòñÿ òîðîîáðàçíûì, â ñâÿçè ñ ÷åì ïðî-
ôèëü ðàñïðåäåëåíèÿ ïëîòíîñòè òîêà ñòàíîâèòñÿ ñèëü-
íî íåîäíîðîäíûì. Àáñîëþòíàÿ âåëè÷èíà ïëîòíîñòè
òîêà íà îñè ðàçðÿäà èçìåíÿåòñÿ íåìîíîòîííî ñ ðîñ-
òîì äàâëåíèÿ ôðåîíà.
Ïîÿâëåíèå íåîäíîðîäíîñòè èîííîãî ïîòîêà íà îá-
ðàáàòûâàåìóþ ïîâåðõíîñòü ïðè âûñîêîì äàâëåíèè
ãàçà ìîæíî îáúÿñíèòü òåì, ÷òî ñ ðîñòîì äàâëåíèÿ
îáëàñòü èíòåíñèâíîãî ñâå÷åíèÿ ïëàçìû è èíòåíñèâ-
íîé èîíèçàöèè ñìåùàåòñÿ ê êðàþ ïîäëîæêîäåðæàòå-
ëÿ, ãäå ïðèñóòñòâóåò ñèëüíîå Â× ýëåêòðè÷åñêîå ïîëå
â çàçîðå ìåæäó ïîäëîæêîäåðæàòåëåì è çàçåìëåííûì
ýêðàíîì. Íåîäíîðîäíîñòü èîíèçàöèè îïðåäåëÿåòñÿ
äëèíîé ðåëàêñàöèè ýíåðãèè, ïîãëîùåííîé ýëåêòðî-
j,
ì
êÀ
/ñ
ì
2
j,
ì
êÀ
/ñ
ì
2
j,
ì
êÀ
/ñ
ì
2
j,
ì
êÀ
/ñ
ì
2
120
90
60
30
0
�45 �30 �15 0 15 30 45
R, ìì
120
90
60
30
0
�45 �30 �15 0 15 30 45
R, ìì
120
90
60
30
0
�45 �30 �15 0 15 30 45
R, ìì
120
90
60
30
0
�45 �30 �15 0 15 30 45
R, ìì
Ðèñ. 7. Òèïè÷íûå ðàäèàëüíûå ïðîôèëè ïëîòíîñòè j èîííîãî òîêà íà ïîâåðõíîñòü ïîäëîæêîäåðæàòåëÿ, ïîëó÷åííûå
ïðè ðàçëè÷íûõ çíà÷åíèÿõ Â×-íàïðÿæåíèÿ íà ýëåêòðîäå (à, â) è ðàçíîì äàâëåíèè (á, ã) ðàáî÷åãî ãàçà â êàìåðå:
à, á � àðãîíà; â, ã � ôðåîíà
Ar Arð = 55 ìÒîðð
Urf= 225 Â
200
150
100
25
CF4
ð = 56 ìÒîðð
Urf= 300 Â
300
250
200
25
100
CF4
ð = 535 ìÒîðð
Urf= 200 Â
110
56
170
ð = 550 ìÒîðð
Urf= 200 Â
113
55
285
à) á)
â) ã)
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2011, ¹ 1�2
48
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
íàìè â îáëàñòè ñèëüíîãî Â×-ïîëÿ. Èçâåñòíî, ÷òî äëè-
íà ðåëàêñàöèè ýíåðãèè ðàçëè÷íà äëÿ ìîëåêóëÿðíûõ è
àòîìàðíûõ ãàçîâ [20]. Òàê, íàïðèìåð, ïðè èñïîëüçî-
âàíèè ÑF4 ýíåðãèÿ, ïîãëîùàåìàÿ ïëàçìîé îò ýëåêò-
ðè÷åñêîãî ïîëÿ, ðàñõîäóåòñÿ, â îñíîâíîì, íà âîçáóæ-
äåíèå ìîëåêóëÿðíûõ êîëåáàíèé [3] âáëèçè îáëàñòè
ñèëüíîãî ïîëÿ, à â öåíòðå ðàçðÿäà êîëè÷åñòâî ýëåêò-
ðîíîâ ñ ýíåðãèåé, äîñòàòî÷íîé äëÿ èîíèçàöèè, ñî-
êðàùàåòñÿ. Ïðè èñïîëüçîâàíèè àðãîíà ýëåêòðîíû ñ
ýíåðãèåé äî 11,5 ýÂ èñïûòûâàþò òîëüêî óïðóãèå ñòîë-
êíîâåíèÿ ñ àòîìàìè, â êîòîðûõ ïîòåðè ýíåðãèè ýëåê-
òðîíîâ î÷åíü ìàëû. Ñëåäîâàòåëüíî, äëèíà ðåëàêñà-
öèè ýíåðãèè ýëåêòðîíîâ â àðãîíå áîëüøå, ÷åì â ìî-
ëåêóëÿðíîì ãàçå ÑF4, ÷òî ïðèâîäèò ê óìåíüøåíèþ
íåîäíîðîäíîñòè ïëàçìû.
Âûâîäû
Òàêèì îáðàçîì, â ðåçóëüòàòå ìàòåìàòè÷åñêîãî ìî-
äåëèðîâàíèÿ ãàçîâîãî ðàçðÿäà è èññëåäîâàíèÿ ïðî-
ñòðàíñòâåííîãî ðàñïðåäåëåíèÿ ïàðàìåòðîâ ïëàçìû
ïðåäëîæåíà êîíñòðóêöèÿ ãàçîðàçðÿäíîé êàìåðû ïëàç-
ìîõèìè÷åñêîãî ðåàêòîðà, ïîçâîëÿþùàÿ ïðè äîñòàòî÷-
íî íèçêîì äàâëåíèè ðàáî÷åãî ãàçà ïðîâîäèòü àíèçîò-
ðîïíîå òðàâëåíèå îáðàáàòûâàåìîé ïîâåðõíîñòè ñ ïî-
âûøåííîé ñêîðîñòüþ.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Roth J. R., Industrial plasma engineering. Vol. 2. Applications
to Nonthermal Plasma Processing.� Bristol, Philadelfia: Institute
of phisics, 2001.
2. Sugawara M. Plasma etching: fundamentals and applications.�
Oxford: Oxford University Press, 1998.
3. Lieberman M. A., Lichtenberg A. J. Principles of plasma
discharges and materials processing.� Hoboken, New Jersey: John
Wiley & Sons, 2005.
4. Ëåâèòñêèé Ñ. Ì. Èññëåäîâàíèå ïîòåíöèàëà çàæèãàíèÿ âû-
ñîêî÷àñòîòíîãî ðàçðÿäà â ãàçå â ïåðåõîäíîé îáëàñòè ÷àñòîò è
äàâëåíèé // Æóðíàë òåõíè÷åñêîé ôèçèêè.� 1957.� Ò. 2, ¹ 5.�
Ñ. 970�977.
5. Êðîïîòîâ Í. Þ., Ëèñîâñêèé Â. À., Åãîðåíêîâ Â. Ä. è äð.
Îñîáåííîñòè ïðîáîÿ ãàçà íèçêîãî äàâëåíèÿ â âûñîêî÷àñòîòíîì
îäíîðîäíîì ïîëå // Ïèñüìà â ÆÒÔ.� 1988.� Ò. 14, ¹ 4.�
Ñ. 359�363.
6. Lisovskiy V. A., Yegorenkov V. D. RF breakdown of low-
pressure gas and a novel method for electron drift velocity
determination in gases // J. Phys. D: Appl. Phys.� 1998.� Vol. 31,
N 23.� Ð. 3349�3357.
7. Lisovskiy V. A., Booth J.-P., Landry Ê. et al. Similarity law for
RF breakdown // Europhysics Letters.� 2008.� Vol. 82, N 1.�
Ð. 15001 (1�5).
8. Lisovskiy V. A., Booth J.-P., Landry Ê. et al. Electron drift
velocity in argon, nitrogen, hydrogen, oxygen and ammonia in strong
electric fields determined from RF breakdown curves // J. Phys. D:
Appl. Phys.� 2006.� Vol. 39, N 4.� Ð. 660��665.
9. Lisovskiy V. A., Booth J.-P., Landry Ê. et al. The effect of
discharge chamber geometry on the ignition of low-pressure RF
capacitive discharges // Physics of Plasmas.� 2005.� Vol. 12,
N 9.� Ð. 093505 (1�8).
10. Olthoff J. K., Greenberg K. E. The Gaseous Electronics
Conference RF Reference cell � an introduction // J. Res. Natl. Inst.
Stand. Technol.� 1995.� Vol. 100, N 4.� P. 327�340.
11. Êðîïîòîâ Í. Þ., Ëèñîâñêèé Â. À., Åãîðåíêîâ Â. Ä. è äð.
Îñîáåííîñòè âîëüò-àìïåðíûõ õàðàêòåðèñòèê ñëàáîòî÷íîé ôîð-
ìû âûñîêî÷àñòîòíîãî ðàçðÿäà Å-òèïà // Ïèñüìà â ÆÒÔ.� 1989.�
Ò. 15, ¹ 21.� Ñ. 17�21.
12. Ðàéçåð Þ. Ï., Øíåéäåð Ì. Í., ßöåíêî Í. À. Âûñîêî÷àñ-
òîòíûé åìêîñòíûé ðàçðÿä: Ôèçèêà. Òåõíèêà ýêñïåðèìåíòà. Ïðè-
ëîæåíèÿ.� Ì.: Èçä-âî ÌÔÒÈ «Íàóêà-Ôèçìàòëèò», 1995.
13. ßöåíêî Í. À. Ñâÿçü âûñîêîãî ïîñòîÿííîãî ïîòåíöèàëà
ïëàçìû ñ ðåæèìîì ãîðåíèÿ âûñîêî÷àñòîòíîãî åìêîñòíîãî ðàçðÿ-
äà ñðåäíåãî äàâëåíèÿ // Æóðíàë òåõíè÷åñêîé ôèçèêè.� 1981.�
Ò. 51, ¹ 6.� Ñ. 1195�1204.
14. Belenguer Ph., Boeuf J. P. Transition between different regimes
of RF glow discharges // Phys. Rev. A.� 1990.� Vol. 41, N 8.�
P. 4447�4459.
15. Godyak V. A., Khanneh A. S. Ion bombardment secondary
electron maintenance of steady RF discharge // IEEE Trans. Plasma
Sci.� 1986.� Vol. PS-14, N 2.� P. 112�123.
16. Ðàéçåð Þ. Ï., Øíåéäåð Ì. Í. Ñòðóêòóðà ïðèýëåêòðîäíûõ
ñëîåâ âûñîêî÷àñòîòíîãî ðàçðÿäà è ïåðåõîä ìåæäó äâóìÿ åãî ôîð-
ìàìè // Ôèçèêà ïëàçìû.� 1987.� Ò. 13, ¹ 4.� Ñ. 471�479.
17. Godyak V. A., Piejak R. B., Alexandrovich B. M. Electrical
characteristics of parallel-plate RF discharges in argon // IEEE Trans.
Plasma Sci.� 1991.� Vol.19, N 4.� P. 660�676.
18. Vidaud P., Durrani S. M. A., Hall D. K. Alpha and gamma RF
capacitative discharges in N2 at intermediate pressures // J. Phys. D:
Appl. Phys.� 1988.� Vol. 21, N 1.� P. 57�66.
19. Lisovskiy V. A., Booth J.-P., Yegorenkov V. D. et al. Modes
and the alpha-gamma transition in RF capacitive discharges in N2O
at different RF frequencies // Physics of Plasmas.� 2006.� Vol. 13,
N 10.� Ð. 103505.
20. Ðàéçåð Þ. Ï. Ôèçèêà ãàçîâîãî ðàçðÿäà.� Ì.: Íàóêà, 1987.
ÂÛÑÒÀÂÊÈ. ÊÎÍÔÅÐÅÍÖÈÈ
8-é Áåëàðóññêî-Ðîññèéñêèé Ñåìèíàð
ÏÎËÓÏÐÎÂÎÄÍÈÊÎÂÛÅ ËÀÇÅÐÛ È ÑÈÑÒÅÌÛ ÍÀ ÈÕ ÎÑÍÎÂÅ
ã. Ìèíñê, 17�20 ìàÿ 2011
Èíñòèòóò ôèçèêè èì. Á. È. Ñòåïàíîâà ÍÀÍ Áåëàðóñè
Íàïðàâëåíèÿ ðàáîòû ñåìèíàðà:
Ø Ëàçåðíûå äèîäû
Ø Ëàçåðû ñ ýëåêòðîííûì è îïòè÷åñêèì âîçáóæäåíèåì
Ø Èñòî÷íèêè è ïðèåìíèêè èçëó÷åíèÿ
Ø Ïîëóïðîâîäíèêîâûå ìàòåðèàëû è ãåòåðîñòðóêòóðû
Ø Îïòîýëåêòðîííûå óñòðîéñòâà
http://www.semiconductor-lasers-and-systems.by/ru
|