Новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники
Представлены новые разработки - комплекты вакуумно-плазменного и физико-термического технологического оборудования микро-, нано-, радиоэлектроники для технического обучения, научных исследований, отработки технологических процессов, а также для обеспечения мелкосерийного производства на предприятиях...
Збережено в:
| Дата: | 2011 |
|---|---|
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2011
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51823 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники / В.В. Одиноков, Г.Я. Павлов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2011. — № 3. — С. 41-43. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-51823 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-518232013-12-12T03:11:31Z Новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники Одиноков, В.В. Павлов, Г.Я. Технологические процессы и оборудование Представлены новые разработки - комплекты вакуумно-плазменного и физико-термического технологического оборудования микро-, нано-, радиоэлектроники для технического обучения, научных исследований, отработки технологических процессов, а также для обеспечения мелкосерийного производства на предприятиях малого и среднего бизнеса. Представлено нові розробки - комплекти вакуумно-плазмового і фізико-термічного технологічного обладнання мікро-, нано-, радіоелектроніки для технічного навчання, наукових досліджень, відпрацювання технологічних процесів, а також для забезпечення дрібносерійного виробництва на підприємствах малого та середнього бізнесу. Some new developments are presented - vacuum-plasma and physics-thermal processing equipment kits for micro, nano- and radio electronics for technical training, research, technological process development, as well as for smallscale production in small and medium-sized businesses. 2011 Article Новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники / В.В. Одиноков, Г.Я. Павлов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2011. — № 3. — С. 41-43. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51823 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование |
| spellingShingle |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование Одиноков, В.В. Павлов, Г.Я. Новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Представлены новые разработки - комплекты вакуумно-плазменного и физико-термического технологического оборудования микро-, нано-, радиоэлектроники для технического обучения, научных исследований, отработки технологических процессов, а также для обеспечения мелкосерийного производства на предприятиях малого и среднего бизнеса. |
| format |
Article |
| author |
Одиноков, В.В. Павлов, Г.Я. |
| author_facet |
Одиноков, В.В. Павлов, Г.Я. |
| author_sort |
Одиноков, В.В. |
| title |
Новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники |
| title_short |
Новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники |
| title_full |
Новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники |
| title_fullStr |
Новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники |
| title_full_unstemmed |
Новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники |
| title_sort |
новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2011 |
| topic_facet |
Технологические процессы и оборудование |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51823 |
| citation_txt |
Новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники / В.В. Одиноков, Г.Я. Павлов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2011. — № 3. — С. 41-43. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT odinokovvv novoetehnologičeskoeoborudovaniedlâinnovacionnyhtehnologijmikronanoiradioélektroniki AT pavlovgâ novoetehnologičeskoeoborudovaniedlâinnovacionnyhtehnologijmikronanoiradioélektroniki |
| first_indexed |
2023-10-18T18:17:06Z |
| last_indexed |
2023-10-18T18:17:06Z |
| _version_ |
1796143799490052096 |