Интегральные двухсторонние кремниевые микростриповые детекторы
Разработаны технология и конструкция прототипа датчика высокоэнергетических частиц для эксперимента ALICE. Детекторы удовлетворяют требованиям по основным электрофизическим параметрам и по радиационной стойкости....
Збережено в:
Дата: | 2011 |
---|---|
Автор: | |
Формат: | Стаття |
Мова: | Russian |
Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2011
|
Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
Теми: | |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51846 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Интегральные двухсторонние кремниевые микростриповые детекторы / В.Л. Перевертайло // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2011. — № 5. — С. 17-24. — Бібліогр.: 31 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraineid |
irk-123456789-51846 |
---|---|
record_format |
dspace |
spelling |
irk-123456789-518462013-12-13T03:09:10Z Интегральные двухсторонние кремниевые микростриповые детекторы Перевертайло, В.Л. Функциональная микро- и наноэлектроника Разработаны технология и конструкция прототипа датчика высокоэнергетических частиц для эксперимента ALICE. Детекторы удовлетворяют требованиям по основным электрофизическим параметрам и по радиационной стойкости. Розглянуто питання проектування, технології та виготовлення двосторонніх кремнієвих мікростріпових детекторів на стандартному обладнанні технологічної лінії в умовах серійного виробництва кремнієвих інтегральних схем. Представлено розробку прототипу детектора високоенергетичних часток для експерименту ALICE (CERN). . Виготовлені детектори порівнянні за параметрами з аналогічними зарубіжними детекторами, проте відрізняються меншою вартістю. The problems of design, technology and manufacturing double-sided silicon microstrip detectors using standard equipment production line in mass production of silicon integrated circuits are considered. The design of prototype high-energy particles detector for experiment ALICE (CERN) is presented. The parameters of fabricated detectors are comparable with those of similar foreign detectors, but they are distinguished by lesser cost. 2011 Article Интегральные двухсторонние кремниевые микростриповые детекторы / В.Л. Перевертайло // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2011. — № 5. — С. 17-24. — Бібліогр.: 31 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51846 539.1.074.5;621.382;621.039.7 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
collection |
DSpace DC |
language |
Russian |
topic |
Функциональная микро- и наноэлектроника Функциональная микро- и наноэлектроника |
spellingShingle |
Функциональная микро- и наноэлектроника Функциональная микро- и наноэлектроника Перевертайло, В.Л. Интегральные двухсторонние кремниевые микростриповые детекторы Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
description |
Разработаны технология и конструкция прототипа датчика высокоэнергетических частиц для эксперимента ALICE. Детекторы удовлетворяют требованиям по основным электрофизическим параметрам и по радиационной стойкости. |
format |
Article |
author |
Перевертайло, В.Л. |
author_facet |
Перевертайло, В.Л. |
author_sort |
Перевертайло, В.Л. |
title |
Интегральные двухсторонние кремниевые микростриповые детекторы |
title_short |
Интегральные двухсторонние кремниевые микростриповые детекторы |
title_full |
Интегральные двухсторонние кремниевые микростриповые детекторы |
title_fullStr |
Интегральные двухсторонние кремниевые микростриповые детекторы |
title_full_unstemmed |
Интегральные двухсторонние кремниевые микростриповые детекторы |
title_sort |
интегральные двухсторонние кремниевые микростриповые детекторы |
publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
publishDate |
2011 |
topic_facet |
Функциональная микро- и наноэлектроника |
url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51846 |
citation_txt |
Интегральные двухсторонние кремниевые микростриповые детекторы / В.Л. Перевертайло // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2011. — № 5. — С. 17-24. — Бібліогр.: 31 назв. — рос. |
series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
work_keys_str_mv |
AT perevertajlovl integralʹnyedvuhstoronniekremnievyemikrostripovyedetektory |
first_indexed |
2023-10-18T18:17:10Z |
last_indexed |
2023-10-18T18:17:10Z |
_version_ |
1796143801926942720 |