Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума

Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума

Показано влияние развития полупроводниковой промышленности на основные современные тенденции развития вакуумной техники и рынка вакуумного оборудования.

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2010
Автори: Васильев, Ю.К., Нестеров, С.Б., Васильева, Т.С.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2010
Назва видання:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Теми:
Обеспечение тепловых режимов
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51910
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума / Ю.К. Васильев, С.Б. Нестеров, Т.С. Васильева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 2. — С. 47-51. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-51910
record_format dspace
spelling irk-123456789-519102013-12-16T03:11:14Z Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума Васильев, Ю.К. Нестеров, С.Б. Васильева, Т.С. Обеспечение тепловых режимов Показано влияние развития полупроводниковой промышленности на основные современные тенденции развития вакуумной техники и рынка вакуумного оборудования. 2010 Article Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума / Ю.К. Васильев, С.Б. Нестеров, Т.С. Васильева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 2. — С. 47-51. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51910 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Обеспечение тепловых режимов
Обеспечение тепловых режимов
spellingShingle Обеспечение тепловых режимов
Обеспечение тепловых режимов
Васильев, Ю.К.
Нестеров, С.Б.
Васильева, Т.С.
Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Показано влияние развития полупроводниковой промышленности на основные современные тенденции развития вакуумной техники и рынка вакуумного оборудования.
format Article
author Васильев, Ю.К.
Нестеров, С.Б.
Васильева, Т.С.
author_facet Васильев, Ю.К.
Нестеров, С.Б.
Васильева, Т.С.
author_sort Васильев, Ю.К.
title Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума
title_short Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума
title_full Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума
title_fullStr Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума
title_full_unstemmed Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума
title_sort тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2010
topic_facet Обеспечение тепловых режимов
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51910
citation_txt Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума / Ю.К. Васильев, С.Б. Нестеров, Т.С. Васильева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 2. — С. 47-51. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.
series Технология и конструирование в электронной аппаратуре
work_keys_str_mv AT vasilʹevûk tendenciirazvitiâsredstvsozdaniâianalizabezmaslânogovakuuma
AT nesterovsb tendenciirazvitiâsredstvsozdaniâianalizabezmaslânogovakuuma
AT vasilʹevats tendenciirazvitiâsredstvsozdaniâianalizabezmaslânogovakuuma
first_indexed 2023-10-18T18:17:18Z
last_indexed 2023-10-18T18:17:18Z
_version_ 1796143807945768960

Схожі ресурси