Тепловизор на основе матричного фотоприемного устройства из 128×128 CdHgTe-фотодиодов

Тепловизор на основе матричного фотоприемного устройства из 128×128 CdHgTe-фотодиодов

Приемник может быть использован в системах с высокой разрешающей способностью по температуре. Среднее значение температуры излучения, эквивалентной шуму, составляет 20±4мК....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2010
Hauptverfasser: Рева, В.П., Голенков, А.Г., Забудский, В.В., Коринец, С.В., Цибрий, З.Ф., Гуменюк-Сычевская, Ж.В., Бунчук, С.Г., Апатская, М.В., Лысюк, И.А., Смолий М.И.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2010
Schriftenreihe:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Schlagworte:
Электронные средства: исследования, разработки
Online Zugang:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51963
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Тепловизор на основе матричного фотоприемного устройства из 128×128 CdHgTe-фотодиодов / В.П. Рева, А.Г. Голенков, В.В. Забудский, С.В. Коринец, З.Ф. Цибрий, Ж.В. Гуменюк-Сычевская, С.Г. Бунчук, М.В. Апатская, И.А. Лысюк, М.И. Смолий // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 4. — С. 24-28. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-51963
record_format dspace
spelling irk-123456789-519632013-12-21T03:15:41Z Тепловизор на основе матричного фотоприемного устройства из 128×128 CdHgTe-фотодиодов Рева, В.П. Голенков, А.Г. Забудский, В.В. Коринец, С.В. Цибрий, З.Ф. Гуменюк-Сычевская, Ж.В. Бунчук, С.Г. Апатская, М.В. Лысюк, И.А. Смолий М.И. Электронные средства: исследования, разработки Приемник может быть использован в системах с высокой разрешающей способностью по температуре. Среднее значение температуры излучения, эквивалентной шуму, составляет 20±4мК. Представлено результати досліджень розробленого тепловізійного приймача (ТП) для середнього інфрачервоного діапазону спектру (3—5 мкм), обговорено особливості його застосування. До складу ТП входить охолоджуваний до температури рідкого азоту матричний фотоприймальний пристрій формату 128x128 на основі CdHgTe-фотодіодів і криостат із системою контролю температури. Фотоприймальну матрицю з'єднано індієвими контактами зі схемою зчитування — кремнієвим фокальним процесором. Середнє значення температури випромінювання, еквівалентної шуму, складало 20±4мК (температура фонового випромінювання Т=300 К, кут зору 2θ=180°, холодна діафрагма не застосовувалась). The results of investigation of developed thermal imager for middle (3-5 µm) infrared region are presented and its applications features are discussed. The thermal imager consists of cooled to 80 K 128×128 diodes focal plane array on the base of cadmium-mercury-telluride compound and cryostat with temperature checking system. The photodiode array is bonded with readout device (silicon focal processor) via indium microcontacts. The measured average value of noise equivalent temperature difference was NETD= 20±4 mK (background radiation temperature T = 300 K, field of view 2θ = 180°, the cooled diaphragm was not used). 2010 Article Тепловизор на основе матричного фотоприемного устройства из 128×128 CdHgTe-фотодиодов / В.П. Рева, А.Г. Голенков, В.В. Забудский, С.В. Коринец, З.Ф. Цибрий, Ж.В. Гуменюк-Сычевская, С.Г. Бунчук, М.В. Апатская, И.А. Лысюк, М.И. Смолий // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 4. — С. 24-28. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51963 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Электронные средства: исследования, разработки
Электронные средства: исследования, разработки
spellingShingle Электронные средства: исследования, разработки
Электронные средства: исследования, разработки
Рева, В.П.
Голенков, А.Г.
Забудский, В.В.
Коринец, С.В.
Цибрий, З.Ф.
Гуменюк-Сычевская, Ж.В.
Бунчук, С.Г.
Апатская, М.В.
Лысюк, И.А.
Смолий М.И.
Тепловизор на основе матричного фотоприемного устройства из 128×128 CdHgTe-фотодиодов
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Приемник может быть использован в системах с высокой разрешающей способностью по температуре. Среднее значение температуры излучения, эквивалентной шуму, составляет 20±4мК.
format Article
author Рева, В.П.
Голенков, А.Г.
Забудский, В.В.
Коринец, С.В.
Цибрий, З.Ф.
Гуменюк-Сычевская, Ж.В.
Бунчук, С.Г.
Апатская, М.В.
Лысюк, И.А.
Смолий М.И.
author_facet Рева, В.П.
Голенков, А.Г.
Забудский, В.В.
Коринец, С.В.
Цибрий, З.Ф.
Гуменюк-Сычевская, Ж.В.
Бунчук, С.Г.
Апатская, М.В.
Лысюк, И.А.
Смолий М.И.
author_sort Рева, В.П.
title Тепловизор на основе матричного фотоприемного устройства из 128×128 CdHgTe-фотодиодов
title_short Тепловизор на основе матричного фотоприемного устройства из 128×128 CdHgTe-фотодиодов
title_full Тепловизор на основе матричного фотоприемного устройства из 128×128 CdHgTe-фотодиодов
title_fullStr Тепловизор на основе матричного фотоприемного устройства из 128×128 CdHgTe-фотодиодов
title_full_unstemmed Тепловизор на основе матричного фотоприемного устройства из 128×128 CdHgTe-фотодиодов
title_sort тепловизор на основе матричного фотоприемного устройства из 128×128 cdhgte-фотодиодов
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2010
topic_facet Электронные средства: исследования, разработки
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51963
citation_txt Тепловизор на основе матричного фотоприемного устройства из 128×128 CdHgTe-фотодиодов / В.П. Рева, А.Г. Голенков, В.В. Забудский, С.В. Коринец, З.Ф. Цибрий, Ж.В. Гуменюк-Сычевская, С.Г. Бунчук, М.В. Апатская, И.А. Лысюк, М.И. Смолий // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 4. — С. 24-28. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
series Технология и конструирование в электронной аппаратуре
work_keys_str_mv AT revavp teplovizornaosnovematričnogofotopriemnogoustrojstvaiz128128cdhgtefotodiodov
AT golenkovag teplovizornaosnovematričnogofotopriemnogoustrojstvaiz128128cdhgtefotodiodov
AT zabudskijvv teplovizornaosnovematričnogofotopriemnogoustrojstvaiz128128cdhgtefotodiodov
AT korinecsv teplovizornaosnovematričnogofotopriemnogoustrojstvaiz128128cdhgtefotodiodov
AT cibrijzf teplovizornaosnovematričnogofotopriemnogoustrojstvaiz128128cdhgtefotodiodov
AT gumenûksyčevskaâžv teplovizornaosnovematričnogofotopriemnogoustrojstvaiz128128cdhgtefotodiodov
AT bunčuksg teplovizornaosnovematričnogofotopriemnogoustrojstvaiz128128cdhgtefotodiodov
AT apatskaâmv teplovizornaosnovematričnogofotopriemnogoustrojstvaiz128128cdhgtefotodiodov
AT lysûkia teplovizornaosnovematričnogofotopriemnogoustrojstvaiz128128cdhgtefotodiodov
AT smolijmi teplovizornaosnovematričnogofotopriemnogoustrojstvaiz128128cdhgtefotodiodov
first_indexed 2025-07-04T14:16:51Z
last_indexed 2025-07-04T14:16:51Z
_version_ 1836726213121409024
fulltext Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2010, ¹ 4 24 ÝËÅÊÒÐÎÍÍÛÅ ÑÐÅÄÑÒÂÀ: ÈÑÑËÅÄÎÂÀÍÈß, ÐÀÇÐÀÁÎÒÊÈ Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ 30.04 2010 ã. Îïïîíåíò ê. ò. í. Â. Â. ÐÞÕÒÈÍ (ÖÊÁ «Ðèòì», ã. ×åðíîâöû) Ê. ò. í. Â. Ï. ÐÅÂÀ, ê. ô.-ì. í. À. Ã. ÃÎËÅÍÊÎÂ, ê. ô.-ì. í. Â. Â. ÇÀÁÓÄÑÊÈÉ, ê. ô.-ì. í. Ç. Ô. ÖÈÁÐÈÉ, Ñ. Â. ÊÎÐÈÍÅÖ, ê. ô.-ì. í. Æ. Â. ÃÓÌÅÍÞÊ-ÑÛ×ÅÂÑÊÀß, Ñ. Ã. ÁÓÍ×ÓÊ, Ì. Â. ÀÏÀÒÑÊÀß, È. À. ËÛÑÞÊ, Ì. È. ÑÌÎËÈÉ Óêðàèíà, ã. Êèåâ, Èíñòèòóò ìèêðîïðèáîðîâ ÍÀÍÓ, Èíñòèòóò ôèçèêè ïîëóïðîâîäíèêîâ èì. Â. Å. Ëàøêàð¸âà ÍÀÍÓ E-mail: tsybrii@isp.kiev.ua ÒÅÏËÎÂÈÇÎÐ ÍÀ ÎÑÍÎÂÅ ÌÀÒÐÈ×ÍÎÃÎ ÔÎÒÎÏÐÈÅÌÍÎÃÎ ÓÑÒÐÎÉÑÒÂÀ ÈÇ 128×××××128 CdHgTe-ÔÎÒÎÄÈÎÄΠÏðèåìíèê ìîæåò áûòü èñïîëüçîâàí â ñèñòåìàõ ñ âûñîêîé ðàçðåøàþùåé ñïî- ñîáíîñòüþ ïî òåìïåðàòóðå. Ñðåäíåå çíà÷åíèå òåìïåðàòóðû èçëó÷åíèÿ, ýêâè- âàëåíòíîé øóìó, ñîñòàâëÿåò 20±4 ìÊ. Ñîçäàíèþ ôîòîïðèåìíûõ óñòðîéñòâ ñðåäíåâîëíî- âîé ÷àñòè (3�5 ìêì) èíôðàêðàñíîãî (ÈÊ) äèàïàçî- íà ñïåêòðà ïîñâÿùåíî çíà÷èòåëüíîå ÷èñëî ïóáëèêà- öèé (ñì., íàïðèìåð, [1, 2], à òàêæå èñïîëüçîâàííûå â íèõ èñòî÷íèêè). Ôàêòîðàìè, êîòîðûå áëàãîïðèÿòñòâó- þò èñïîëüçîâàíèþ òàêèõ ÈÊ-ïðèåìíèêîâ èçëó÷åíèÿ, ÿâëÿþòñÿ áîëüøèé êîíòðàñò, áîëåå áëàãîïðèÿòíûå ïî- ãîäíûå óñëîâèÿ (ïðè óâåëè÷åíèè ñîäåðæàíèÿ âîäÿ- íûõ ïàðîâ â àòìîñôåðå ïðîïóñêàíèå â îáëàñòè 3� 5 ìêì óìåíüøàåòñÿ ìåäëåííåå ïî ñðàâíåíèþ ñ îáëà- ñòüþ 8�14 ìêì), áîëüøàÿ ïðîçðà÷íîñòü â óñëîâèÿõ áîëüøåé âëàæíîñòè, áîëüøåå ðàçðåøåíèå áëàãîäàðÿ ìåíüøåé îïòè÷åñêîé äèôðàêöèè [2].  âûñîêî÷óâñòâèòåëüíûõ òåïëîâèçèîííûõ ñèñòå- ìàõ îáû÷íî èñïîëüçóþòñÿ ôîòîïðèåìíûå ìîäóëè íà îñíîâå îõëàæäàåìûõ ãèáðèäíûõ ëèíåé÷àòûõ èëè ìàò- ðè÷íûõ èíôðàêðàñíûõ ôîòîïðèåìíèêîâ (ÔÏ). Îäíè èç íàèáîëåå ïðèìåíÿåìûõ � ýòî ÔÏ íà îñíîâå ãèá- ðèäíûõ ñáîðîê èç äèîäíûõ ôîòî÷óâñòâèòåëüíûõ ýëå- ìåíòîâ, èçãîòîâëåííûõ èç ýïèòàêñèàëüíûõ ñòðóêòóð òåëëóðèäà êàäìèÿ è ðòóòè (ÊÐÒ), ñîåäèíåííûõ ÷åðåç èíäèåâûå ñòîëáèêè ñ êðåìíèåâûìè ïðèáîðàìè ñ çà- ðÿäîâîé ñâÿçüþ èëè ÊÌÎÏ-ìóëüòèïëåêñîðàìè. Òà- êèå ÈÊ ÔÏ äëÿ ñðåäíåâîëíîâîé ÷àñòè ñïåêòðàëüíîãî ÈÊ-äèàïàçîíà îáåñïå÷èâàþò ìàêñèìàëüíóþ òåìïåðà- òóðíóþ ÷óâñòâèòåëüíîñòü ïî ñðàâíåíèþ ñ äðóãèìè ÈÊ-ôîòîïðèåìíèêàìè [2, ñ. 239], ïîýòîìó ðàçðàáîò- êà òåïëîâèçèîííîãî ïðèåìíèêà íà èõ îñíîâå ÿâëÿåò- ñÿ ïðàêòè÷åñêè âàæíîé è àêòóàëüíîé çàäà÷åé. Àâòîðû âûðàæàþò áëàãîäàðíîñòü çà ñîòðóäíè÷åñòâî êîëëåãàì èç Èíñòèòóòà ôèçèêè ïîëóïðîâîäíèêîâ ÑÎ ÐÀÍ (ã. Íîâîñèáèðñê, Ðîññèÿ) Þ. Ã. Ñèäîðîâó, Ñ. A. Äâîðåöêîìó, Í. Í. Ìèõàéëîâó. Ðèñ. 1. Ñòðóêòóðà ñõåìû ñ÷èòûâàíèÿ ôîðìàòà 128×128 Ìóëüòèïëåêñîð 1/64 Ñõåìû âûáîðêè/õðàíåíèÿ Çàðÿäî÷óâñòâèòåëüíûå óñèëèòåëè Ñèãíàëû óïðàâëåíèÿ Ñõåìû âûáîðêè/õðàíåíèÿ Ìóëüòèïëåêñîð 1/64 Çàðÿäî÷óâñòâèòåëüíûå óñèëèòåëè Ê î í ò ð î ë ë å ð ó ï ð à â ë å í è ÿ 2 4 128 Ìàòðèöà âõîäíûõ ÿ÷ååê 128×128 1 3 127 Ó ð î â å í ü ÷ å ð í î ãî Ó ð î â å í ü ÷ å ð í î ãî 0 clear 0,1,..,127 acc 0,1,...,127 read 0,1,...,127 S c a n Ïîñëåäîâàòåëüíûé èíòåðôåéñ Ñèãíàëû óïðàâëåíèÿ Ñèãíàëû óïðàâëåíèÿ ðàçâåðòêîé Âûõîäíîé óñèëèòåëü Àíàëîãîâûé âûõîä Âûõîä âèäåîñèãíàëà Òàêòèðîâàíèå çàãðóçêè Äàííûå Òîêîâûé âõîä Ñèíõðîíèçàöèÿ Ñáðîñ Ñèíõðîíèçàöèÿ êàäðà Ñèíõðîíèçàöèÿ ñòðîêè Ñèíõðîíèçàöèÿ ÀÖÏ ×àñòîòà êàäðîâ Âðåìÿ èíòåãðèðîâàíèÿ Òåñò 129 set store set store Ìóëüòèïëåêñîð 1/64 Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2010, ¹ 4 25 ÝËÅÊÒÐÎÍÍÛÅ ÑÐÅÄÑÒÂÀ: ÈÑÑËÅÄÎÂÀÍÈß, ÐÀÇÐÀÁÎÒÊÈ Ìàòðè÷íàÿ ñõåìà ñ÷èòûâàíèÿ ôîðìàòà 128×××××128 Ïðåäâàðèòåëüíàÿ ðàçðàáîòêà òàêîé ñõåìû áûëà îñó- ùåñòâëåíà â [3]. Ìîäèôèêàöèÿ åå àðõèòåêòóðû ïðî- âîäèëàñü èñõîäÿ èç íåîáõîäèìîñòè ïîëó÷åíèÿ îïòè- ìàëüíûõ ýíåðãåòè÷åñêèõ õàðàêòåðèñòèê (ìèíèìàëü- íîãî òîêà ïîòðåáëåíèÿ è ìèíèìàëüíîãî êîëè÷åñòâà âûâîäîâ èç êðèîñòàòà) è óïðîùåíèÿ èíòåðôåéñà óïðà- âëåíèÿ ñõåìîé ñ÷èòûâàíèÿ. Äëÿ ýòîé öåëè èñïîëüçî- âàëèñü îäèí àíàëîãîâûé âûõîä, äâóõïðîâîäíîé àñèí- õðîííûé ïîñëåäîâàòåëüíûé èíòåðôåéñ óïðàâëåíèÿ ÈÑ, à âñå ñèãíàëû ñèíõðîíèçàöèè ôîðìèðîâàëèñü íà êðèñòàëëå. Ñòðóêòóðà ñõåìû ñ÷èòûâàíèÿ ïðåäñòàâ- ëåíà íà ðèñ. 1, îñíîâíûå ïàðàìåòðû � â òàáëèöå. Ñ ïîìîùüþ ïîñëåäîâàòåëüíîãî èíòåðôåéñà ìîæ- íî çàäàâàòü ÷àñòîòó êàäðîâ 200, 100, 50 èëè 25 Ãö, âðåìÿ íàêîïëåíèÿ (èíòåãðèðîâàíèÿ) ñîñòàâëÿåò îò 11 äî 1035 ìêñ, òèï ðåæèìà � ðàáî÷èé/òåñòîâûé. Äëÿ òåñòèðîâàíèÿ ìèêðîñõåìû áåç ïîäêëþ÷åíèÿ ìàòðèöû ôîòîäèîäîâ ïðåäóñìîòðåí òîêîâûé âõîä. Äëÿ çàäà- íèÿ óðîâíÿ «÷åðíîãî» ïðåäóñìîòðåíû äâà ñòîëáöà òåì- íîâûõ ÿ÷ååê, ê êîòîðûì ôîòîäèîäû íå ïîäêëþ÷àþò- ñÿ. Ýòîò óðîâåíü ìîæåò çàäàâàòüñÿ âíåøíèì ïîòåíöè- àëüíûì ñèãíàëîì.  òåñòîâîì ðåæèìå ïðåäóñìîòðåí ðåæèì îïðîñà îäíîé ñòðîêè.  êà÷åñòâå âõîäíîé ÿ÷åé- êè èñïîëüçîâàíà ñõåìà ïðÿìîé èíæåêöèè (ðèñ. 2). Äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ìàòðè÷íîé ñõåìû ñ÷èòûâàíèÿ áûëà èñïîëüçîâàíà 1,0 ìêì ÊÌÎÏ-òåõíîëîãèÿ ñ äâó- ìÿ óðîâíÿìè ìåòàëëà è äâóìÿ óðîâíÿìè ïîëèêðåì- íèÿ.  ïðîöåññå ïðîèçâîäñòâà èñïîëüçîâàëèñü ïëàñ- òèíû êðåìíèÿ òîëùèíîé 150 ìì îðèåíòàöèè <100> ñ óäåëüíûì ñîïðîòèâëåíèåì 12 Îì⋅ñì. Òîëùèíà ïîäçàòâîðíîãî è ìåæñëîéíîãî îêñèäà ñîñòàâëÿëà ñîîòâåòñòâåííî 400 è 900 Å ïðè óäåëüíîé åìêîñòè 8,65·10�4 è 3,8·10�4 ïÔ/ìêì2.  êà÷åñòâå òðàíçèñòî- ðà ïðÿìîé èíæåêöèè èñïîëüçîâàëñÿ n-êàíàëüíûé òðàíçèñòîð ñ ïîäëåãèðîâàíèåì ñ ïîðîãîâûì íàïðÿ- æåíèåì ïîðÿäêà 0,7  è óâåëè÷åííîé äî 2,4 ìêì äëè- íîé êàíàëà. Ýòî ïîçâîëÿåò ïîëó÷àòü ðàçáðîñ çíà÷å- íèé íàïðÿæåíèÿ ñìåùåíèÿ íà äèîäàõ íå áîëåå 10 ìÂ. Ýëåìåíòíàÿ áàçà ñõåìû � ÊÌÎÏ-òðàíçèñòîðû è êîí- äåíñàòîðû ñ îáêëàäêàìè èç ïîëèêðèñòàëëè÷åñêîãî êðåìíèÿ â äâóõ óðîâíÿõ. Ñïåöèàëüíî ïðîâåäåííûå ðàáîòû ïî îïòèìèçà- öèè ñõåìîòåõíè÷åñêèõ ðåøåíèé ïîçâîëèëè óâåëè÷èòü âåëè÷èíó íàêîïèòåëüíîé åìêîñòè. Íà ðèñ. 3 ïðåäñòàâ- ëåíà ïåðåäàòî÷íàÿ õàðàêòåðèñòèêà ñõåìû ñ÷èòûâàíèÿ (çàâèñèìîñòü âûõîäíîãî Uâûõ íàïðÿæåíèÿ îò âõîä- íîãî çàðÿäà Q), èçìåðåííàÿ â òåñòîâîì ðåæèìå áåç ïîäêëþ÷åíèÿ ÈÊ-ôîòîäèîäîâ. Èçãîòîâëåíèå ìàòðèöû ôîòîäèîäîâ Äëÿ ðàçðàáîòêè è èçãîòîâëåíèÿ ìàòðèö ôîòîäèî- äîâ ñðåäíåãî ÈÊ-äèàïàçîíà èñïîëüçóþòñÿ, â îñíîâ- íîì, ãåòåðîýïèòàêñèàëüíûå ñòðóêòóðû òåëëóðèäîâ êàäìèÿ è ðòóòè, êîòîðûå âûðàùèâàþòñÿ ìåòîäàìè æèä- êîôàçíîé è ìîëåêóëÿðíî-ëó÷åâîé ýïèòàêñèè [1, 2, 4]. Ìàòðèöû ôîòîïðèåìíèêîâ èçãîòîâëÿëèñü ñ ïîìî- ùüþ ìèêðîýëåêòðîííîé òåõíîëîãèè ïî ïÿòè ôîòîøàá- ëîíàì. Ðàçðàáîòêà òîïîëîãèè ôîòîøàáëîíîâ ïðîâî- äèëàñü ïîñòåïåííî, ñ ó÷åòîì îãðàíè÷åíèé ïðèáîðîâ äëÿ ñîçäàíèÿ øàáëîíîâ è îãðàíè÷åíèé, êîòîðûå íà- êëàäûâàþòñÿ îñîáåííîñòÿìè èñõîäíîãî ìàòåðèàëà. Ñôîðìèðîâàííàÿ ìàòðèöà ôîòî÷óâñòâèòåëüíûõ ýëå- ìåíòîâ ïðåäñòàâëÿåò ñîáîé ýïèòàêñèàëüíóþ ïëåíêó CdHgTe ðàçìåðîì 7,4×7,5 ìì è ñîñòîèò èç 128×128 Ðèñ. 2. Âõîäíàÿ ÿ÷åéêà ñõåìû ñ÷èòûâàíèÿ: Ò1 � n-êàíàëüíûé òðàíçèñòîð ïðÿìîé èíæåêöèè; Ò2 � ð-êà- íàëüíûé òðàíçèñòîð ñáðîñà; Ò3 � ð-êàíàëüíûé òðàíçèñòîð âû- áîðêè; Ò4 � n-êàíàëüíûé òåñòèðóþùèé òðàíçèñòîð; 1 � íàïðÿ- æåíèå ïðÿìîé èíæåêöèè; 2 � ïëîùàäêà ïîäêëþ÷åíèÿ ÈÊ-ôîòî- äèîäà; 3 � èìïóëüñ ñáðîñà; 4 � èìïóëüñ âûáîðêè ñòðîêè; 5 � òåñòèðóþùèé òîêîâûé âõîä; 6 � èìïóëüñ âûáîðêè ñòðîêè â òåñòîâîì ðåæèìå 4 Ucc Ucc T3 Ñ òî ëá öî âà ÿ ø èí à GND GND T1 T4 GND 5 3 T2 C1 C2 1 2 6 GND Ucc Íàêîïèòåëüíàÿ åìêîñòü, ïÊë 1,78 Äèíàìè÷åñêèé äèàïàçîí, äÁ ≥ 76 Ìàêñèìàëüíûé âûõîäíîé ñèãíàë,  ≥ 3,0 Øóì, ìê ≤300 Íàïðÿæåíèå ïèòàíèÿ,  +5 ×àñòîòà âûâîäà èíôîðìàöèè, ÌÃö 5 Íåëèíåéíîñòü âûõîäíîé õàðàêòåðèñòèêè, % ≤1 Ïîòðåáëÿåìàÿ ìîùíîñòü, ìÂò ≤70 300 Ê 77 Ê 4 3 2 1 0 0,4 0,8 1,2 1,6 Q, ïÊë Uâûõ,  Ðèñ. 3. Ïåðåäàòî÷íàÿ õàðàêòåðèñòèêà ñõåìû ñ÷èòûâàíèÿ ïðè ðàçëè÷íîé òåìïåðàòóðå Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2010, ¹ 4 26 ÝËÅÊÒÐÎÍÍÛÅ ÑÐÅÄÑÒÂÀ: ÈÑÑËÅÄÎÂÀÍÈß, ÐÀÇÐÀÁÎÒÊÈ ôîòîäèîäîâ. Ðàñïîëîæåíèå äèîäîâ è ðàññòîÿíèå ìåæ- äó íèìè ñîãëàñîâàíî ñ ðàñïîëîæåíèåì ñîîòâåòñòâó- þùèõ êîíòàêòíûõ ïëîùàäîê äëÿ In-ñòîëáèêîâ íà ñõå- ìå ñ÷èòûâàíèÿ, íà êîòîðîé ìîíòèðóåòñÿ êðèñòàëë ôîòîïðèåìíèêà. Äëÿ ñîçäàíèÿ p-n-ïåðåõîäîâ â óçêîùåëåâîì ïî- ëóïðîâîäíèêå CdHgTe èñïîëüçîâàëîñü ëåãèðîâàíèå èîíàìè Â+ íà èìïëàíòîðå �Âåçóâèé-5�. Èñïîëüçîâàë- ñÿ èîííûé èñòî÷íèê ñ ðàçðÿäîì Ïåííèíãà ñ õîëîä- íûì êàòîäîì è îñåâîé ýêñòðàêöèåé ïó÷êà, êîòîðûé ÷àñòî ïðèìåíÿåòñÿ â óñòàíîâêàõ èìïëàíòàöèè ìàëûõ äîç. Êàê ïðàâèëî, ðàáî÷åå âåùåñòâî ïîäàåòñÿ ê òàêî- ìó èñòî÷íèêó â âèäå ãàçà èëè ïàðà. Èñòî÷íèê ïîçâî- ëÿåò áûñòðî çàìåíÿòü ìèøåíè, êîòîðûå ðàñïûëÿþò- ñÿ; èçìåíåíèå èíòåíñèâíîñòè èîííîãî ïó÷êà îñóùå- ñòâëÿåòñÿ çà ñ÷åò ìîùíîñòè ãàçîâîãî ðàçðÿäà è íà- ïóñêà ãàçà. Äëÿ ôîðìèðîâàíèÿ ìíîãîýëåìåíòíîé ñèñòåìû êîí- òàêòîâ áûëà èñïîëüçîâàíà òðåõñëîéíàÿ ìåòàëëèçàöèÿ íà îñíîâå ìåòàëëîâ èíäèÿ è íèêåëÿ ñ ðàçëè÷íîé òîë- ùèíîé ñëîåâ. Ïðîìåæóòî÷íûé ñëîé íèêåëÿ ïðèäàåò êîíòàêòàì íåîáõîäèìóþ ìåõàíè÷åñêóþ ïðî÷íîñòü è ñòàáèëüíîñòü, à ñëîé èíäèÿ îáåñïå÷èâàþò ïëàñòè÷- íîñòü è óïðóãîñòü. Ñëîè íàíîñèëèñü ìåòîäîì òåðìè- ÷åñêîãî íàïûëåíèÿ â âàêóóìå è ìåòîäîì ìàãíåòðîí- íîãî ðàñïûëåíèÿ. Ïîñëåäíèé ñëîé èíäèÿ òîëùèíîé 3�4 ìêì îáðàáàòûâàëñÿ òåðìè÷åñêè áåç äîñòóïà âîçäóõà.  ðåçóëüòàòå áûëè ïîëó÷åíû êîíòàêòû â âèäå øàðèêîâ âûñîòîé 8�10 ìêì (ðèñ. 4, 5), ïîñêîëüêó èíäèåâûå êîíòàêòû äîëæíû âûñòóïàòü íàä ïîâåðõíîñ- òüþ êðèñòàëëà èç-çà ðàçâèòîãî ðåëüåôà ìèêðîñõåìû. Ñ öåëüþ ôîðìèðîâàíèÿ ÔÏ-óñòðîéñòâ ñ ó÷åòîì òðå- áîâàíèé ê ïîëó÷åíèþ íàäåæíîé ãèáðèäíîé ñáîðêè áûëî ïðîâåäåíî ïðåöèçèîííîå ñîâìåùåíèå ôîòîäè- îäíîé ìàòðèöû íà îñíîâå CdHgTe ñ êðåìíèåâîé ñõå- ìîé ñ÷èòûâàíèÿ íà óñòàíîâêå �Ãèáðèä�. Ìèêðîñáîð- êà äâóõ êðèñòàëëîâ ÿâëÿåòñÿ ïðîöåññîì õîëîäíîé ñâàðêè (áåç íàãðåâà îáåèõ ÷èïîâ). Óñòàíîâêà ïîçâî- ëÿåò ðàçìåñòèòü äâà êðèñòàëëà ïàðàëëåëüíî îäèí íàä äðóãèì, ñîðèåíòèðîâàòü êðèñòàëëû â ñîîòâåòñòâèè ñ òîïîëîãèåé ñõåìû è ïðîâåñòè õîëîäíóþ ñâàðêó èí- äèåâûõ øàðèêîâ, ñôîðìèðîâàííûõ íà îáîèõ êðèñ- òàëëàõ, ñ ïîìîùüþ ñïåöèàëüíî ïîäîáðàííîé âåëè÷è- íû ìåõàíè÷åñêîé íàãðóçêè. Íà ðèñ. 6 ïîêàçàíà ôîòîãðàôèÿ ìàòðèöû ÊÐÒ ôîð- ìàòà 128×128, ñãèáðèäèçèðîâàííîé ñ êðåìíèåâîé ñõå- ìîé ñ÷èòûâàíèÿ â êîðïóñ, êîòîðûé óñòàíàâëèâàåòñÿ â êðèîñòàò. Îïòèìèçàöèÿ òîêîâûõ õàðàêòåðèñòèê ÈÊ-ôîòîäèîäîâ Ýëåêòðè÷åñêèå ïàðàìåòðû èçãîòîâëåííûõ ôîòîäè- îäîâ êîíòðîëèðîâàëèñü ñ ïîìîùüþ âîëüò-àìïåðíûõ õàðàêòåðèñòèê (ÂÀÕ), ïîëó÷åííûõ íà ñòåíäå, ïðåä- íàçíà÷åííîì äëÿ àâòîìàòèçèðîâàííîãî èçìåðåíèÿ ÂÀÕ ìíîãîýëåìåíòíûõ ôîòîäåòåêòîðîâ ìèêðîçîíäî- âûì ìåòîäîì ïðè òåìïåðàòóðå T=78�300 Ê [5]. Íà ðèñ. 7 ïðèâåäåíà òèïè÷íàÿ âîëüò-àìïåðíàÿ õà- ðàêòåðèñòèêà ôîòîäèîäà èç ìàòðèöû ôîðìàòà 128×128, ñôîðìèðîâàííîé èîííîé èìïëàíòàöèåé áîðà â ýïèòàêñèàëüíûå ñëîè CdxHg1�xTe (õ≈0,3). Íàìè èñ- ïîëüçîâàëèñü ñëîè, âûðàùåííûå ìåòîäîì ìîëåêóëÿð- Ðèñ. 5. Ôîòîãðàôèÿ ôðàãìåíòà ìàòðèöû ôîòîäèîäîâ ñ èíäèåâûìè êîíòàêòàìè Ðèñ. 6. Ìàòðèöà, ñãèáðèäèçèðîâàííàÿ ñî ñõåìîé ñ÷èòûâàíèÿ è âìîíòèðîâàííàÿ â êîðïóñ 25 ìêì 25 ìêìCdHgTe Ni In In In Ðèñ. 4. Ñõåìà òåõíîëîãè÷åñêîãî ïðîöåññà ôîðìèðîâàíèÿ èíäèåâîãî êîíòàêòà â âèäå øàðèêà Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2010, ¹ 4 27 ÝËÅÊÒÐÎÍÍÛÅ ÑÐÅÄÑÒÂÀ: ÈÑÑËÅÄÎÂÀÍÈß, ÐÀÇÐÀÁÎÒÊÈ íî-ëó÷åâîé ýïèòàêñèè èëè æèäêîôàçíîé ýïèòàêñèè íà ìîíîêðèñòàëëè÷åñêèõ ïîäëîæêàõ GaAs ñ èñïîëüçî- âàíèåì CdZnTe-áóôåðà èëè íà ìîíîêðèñòàëëè÷åñêèõ ïîäëîæêàõ CdZnTe. Òîëùèíà ýïèòàêñèàëüíûõ ñëîåâ ñîñòàâëÿëà 8�18 ìêì, èñõîäíàÿ êîíöåíòðàöèÿ äû- ðîê Np=(0,7�1,5)⋅1016 cì�3, ïîäâèæíîñòü µ=400� 500 ñì2/(Â⋅ñ). Ôîòîäèîäû n+�p-òèïà ðàçìåðàìè 25×25 ìêì ôîðìèðîâàëèñü ìåòîäîì èîííîé èìïëàí- òàöèè àòîìîâ áîðà ñ ýíåðãèåé 50�100 êý è äîçîé îêîëî 3⋅1013 ñì�3. Ðàçðàáîòàííûé òåîðåòè÷åñêèé ìåòîä ìîäåëèðîâà- íèÿ ýëåêòðè÷åñêèõ ïàðàìåòðîâ ôîòîäèîäîâ [6] ïîçâî- ëÿåò ïðîàíàëèçèðîâàòü ÂÀÕ è çàâèñèìîñòè äèíàìè- ÷åñêîãî ñîïðîòèâëåíèÿ îò íàïðÿæåíèÿ íà äèîäå ñ öå- ëüþ îïðåäåëåíèÿ ïàðàìåòðîâ ñòðóêòóðû è äàëüíåé- øåé èõ îïòèìèçàöèè. Ìîäåëü òîêà äëÿ CdõHg1�õTe� ôîòîäèîäà ó÷èòûâàåò ñëåäóþùèå òðàíñïîðòíûå ìå- õàíèçìû: äèôôóçèîííûé òîê Idiff, òåðìè÷åñêèé ãåíå- ðàöèîííî-ðåêîìáèíàöèîííûé òîê Øîêëè�Ðèäà�Õîë- ëà ISRH è òóííåëèðîâàíèå ITAT ÷åðåç ëîêàëèçîâàííûå ëîâóøå÷íûå óðîâíè â çàïðåùåííîé çîíå â p�n-ïåðå- õîäå, òóííåëüíûé ìåæçîííûé òîê IBTB, à òàêæå òåð- ìè÷åñêèé òîê â êâàçè-íåéòðàëüíûõ îáëàñòÿõ ISRHn,p, òîê Îæå IAu, èçëó÷àòåëüíûé ðåêîìáèíàöèîííûé òîê Irad â p�n-ïåðåõîäå è â êâàçèíåéòðàëüíûõ îáëàñòÿõ. Âñå ýòè òîêè ÿâëÿþòñÿ íåçàâèñèìûìè è ñóììèðóþò- ñÿ, çà èñêëþ÷åíèåì ISRH, ISRHn,p, ITAT, ïîñêîëüêó èõ èíòåíñèâíîñòü çàâèñèò îò çàïîëíåíèÿ ëîêàëèçîâàí- íûõ ëîâóøå÷íûõ ñîñòîÿíèé. Òîêè ISRH, ITAT ìîäåëè- ðóþòñÿ â ïðèáëèæåíèè áàëàíñà íîñèòåëåé íà ëîâóø- êàõ [6, 7]. Ïðåäïîëàãàëîñü íàëè÷èå ëîêàëèçîâàííûõ ëîâóøå÷íûõ öåíòðîâ äîíîðíîãî òèïà â çàïðåùåííîé çîíå øèðèíîé Eg ñ ýíåðãèåé Et=(0,6�0,75)Eg íàä êðà- åì âàëåíòíîé çîíû [8, 9]. Êîðîòêî ñóòü ìåòîäà óðàâíåíèé áàëàíñà ìîæíî âû- ðàçèòü ñëåäóþùèì îáðàçîì. Ñâîáîäíûé íîñèòåëü ìî- æåò áûòü çàõâà÷åí ëîêàëèçîâàííîé ëîâóøêîé èëè ýìèò- òèðîâàòü ñ íåå òåðìè÷åñêèì çàáðîñîì èëè òóííåëèðîâà- íèåì. Âåðîÿòíîñòü ýòèõ ïðîöåññîâ îïðåäåëÿåòñÿ çàñå- ëåííîñòüþ ëîâóøêè, åå ïîëîæåíèåì â p�n-ïåðåõîäå è ïðèëîæåííûì íàïðÿæåíèåì. Ïëîòíîñòü òàêîãî ãåíåðà- öèîííî-ðåêîìáèíàöèîííîãî òîêà ïîëó÷àåòñÿ ïóòåì èí- òåãðèðîâàíèÿ òåìïîâ ðåêîìáèíàöèè ïî êîîðäèíàòå âíó- òðè p�n-ïåðåõîäà. Âîçíèêàþùèå èíòåãðàëû àíàëèòè÷å- ñêè íå âû÷èñëÿþòñÿ, ïîýòîìó äåëàåòñÿ ýòî ÷èñëåííî. Òà- êèì îáðàçîì, ó÷èòûâàÿ èçâåñòíûå ýëåêòðîôèçè÷åñêèå ïàðàìåòðû ïîäëîæêè è ñëîåâ è ïîäáèðàÿ íåèçâåñòíûå, ìîæíî âû÷èñëèòü âîëüò-àìïåðíûå õàðàêòåðèñòèêè ôî- òîäèîäîâ äëÿ ðàçëè÷íîé òåìïåðàòóðû è ñòåõèîìåòðè÷å- ñêîãî ñîñòàâà. Îñíîâíûå ýëåêòðîôèçè÷åñêèå ïàðàìåò- ðû ôîòîäèîäà CdxHg1�xTe (õ=0,282), ïðè êîòîðûõ ðàññ÷è- òûâàëèñü ïðèâåäåííûå íà ðèñ. 7 çàâèñèìîñòè, ñëåäóþ- ùèå: ýíåðãèÿ óðîâíÿ ëîâóøåê Et = 0,73Eg, êîíöåíòðàöèÿ äîíîðîâ â n-ñëîå Nd= 1⋅1015 cì�3, êîíöåíòðàöèÿ àêöåïòî- ðîâ â p-ñëîå Na= 1·1016 cì�3, êîíöåíòðàöèÿ ëîâóøåê â îáëàñòè p�n-ïåðåõîäà Nt = 5⋅1015 cì�3, âðåìÿ æèçíè íî- ñèòåëåé τn,p = 1⋅10�8 c. Äëÿ ïîëó÷åííûõ ôîòîäèîäîâ äîìèíèðóþùèìè ñî- ñòàâëÿþùèìè òîêà ÿâëÿþòñÿ òóííåëèðîâàíèå ÷åðåç ëîâóøêè ITAT è òåðìè÷åñêàÿ ãåíåðàöèÿ-ðåêîìáèíàöèÿ òèïà Øîêëè�Ðèäà. Ïðè ðàáî÷èõ íàïðÿæåíèÿõ ñìåùå- íèÿ ñóììàðíàÿ èõ âåëè÷èíà ñîñòàâëÿåò (1�2)⋅10�12 À. Äèôôóçèîííûé òîê âìåñòå ñ îñòàëüíûìè (Îæå, ðàäè- àöèîííûé, ìåæçîííîãî òóííåëèðîâàíèÿ è äð.) ïðè òà- êèõ ñìåùåíèÿõ çíà÷èòåëüíî ìåíüøå � (1�1,5)⋅10�13 À. Ïðè óâåëè÷åíèè íàïðÿæåíèÿ ñìåùåíèÿ ñóììà ITAT+ISRH âîçðàñòàåò ñíà÷àëà ìåäëåííî, ïî÷òè ëèíåé- íî, à ïðè îáðàòíûõ ñìåùåíèÿõ, áîëüøèõ 2  � ýêñ- ïîíåíöèàëüíî çà ñ÷åò áûñòðîãî îïóñòîøåíèÿ ëîâó- øåê ïóòåì òóííåëèðîâàíèÿ ýëåêòðîíîâ ñ íèõ. Ïðè åùå áîëüøèõ îáðàòíûõ ñìåùåíèÿõ (2,5 Â) òîê ìåæçîííî- ãî òóííåëèðîâàíèÿ ñòàíîâèòñÿ äîìèíèðóþùèì è ïðî- èñõîäèò ýëåêòðè÷åñêèé ïðîáîé äèîäîâ. Èçìåðåííûå òåìíîâûå òîêè ïðè ðàáî÷èõ îáðàò- íûõ ñìåùåíèÿõ èìåþò çíà÷åíèÿ ïîðÿäêà 10 ïÀ, à R0A ≈1⋅105 Oì⋅ñì2 (R0 � ñîïðîòèâëåíèå ôîòîäèîäà ïðè íóëåâîì ñìåùåíèè, À � ïëîùàäü ôîòîäèîäà), ÷òî ñâèäåòåëüñòâóåò î âûñîêîì êà÷åñòâå èññëåäóå- ìûõ ñòðóêòóð. Ìîäåëèðîâàíèå òîêîâ ïîçâîëèëî îï- ðåäåëèòü ìèêðîïàðàìåòðû ñòðóêòóðû è óêàçàòü ïóòè ê äàëüíåéøåìó óëó÷øåíèþ òåõíîëîãèè èçãîòîâëå- íèÿ êðóïíîôîðìàòíûõ ìàññèâîâ ôîòîäèîäîâ ñðåä- íåâîëíîâîãî èíôðàêðàñíîãî ñïåêòðàëüíîãî äèàïà- çîíà (3�5 ìêì). �2,0 �1,5 �1,0 �0,5 U,  lgR 12 10 8 �8 �2 �1 U,  I, À 0 �1⋅10�11 �2⋅10�11 Ðèñ. 7. Òèïè÷íàÿ òåìíîâàÿ âîëüò-àìïåðíàÿ õàðàêòåðèñòèêà (à) è çàâèñèìîñòü äèôôåðåíöèàëüíîãî ñîïðîòèâëåíèÿ R îò íàïðÿæåíèÿ ñìåùåíèÿ (á) äëÿ ôîòîäèîäîâ CdxHg1�xTe ñ x = 0,282, λco = 5,78 ìêì ïðè Ò=78 Ê Ýêñïåðèìåíò Ðàñ÷åò Ýêñïåðèìåíò Ðàñ÷åò Ýêñïåðèìåíò ïðè çàñâåòêå äèîäà Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2010, ¹ 4 28 ÝËÅÊÒÐÎÍÍÛÅ ÑÐÅÄÑÒÂÀ: ÈÑÑËÅÄÎÂÀÍÈß, ÐÀÇÐÀÁÎÒÊÈ Õàðàêòåðèñòèêè òåïëîâèçèîííîãî ïðèåìíèêà Ôîòîýëåêòðè÷åñêèå ñâîéñòâà îïûòíîãî îáðàçöà ôîòîïðèåìíîãî óñòðîéñòâà èçìåðÿëèñü ñ ïîìîùüþ ðåãèñòðàöèè øóìîâ êàæäîãî èç ïèêñåëîâ ìàòðèöû 128×128 è èçìåðåíèÿ ôîòîîòâåòà îò ðàçíûõ ïîòîêîâ ýòàëîííîãî èçëó÷àòåëÿ � àáñîëþòíî ÷åðíîãî òåëà HGH DCN1000 ñ ðàçìåðîì âûõîäíîãî îòâåðñòèÿ 180 ìì è òî÷íîñòüþ óñòàíîâëåíèÿ òåìïåðàòóðû 0,005 K. Ýòî ïîçâîëÿåò îïðåäåëèòü ïàðàìåòð NEDT � òåìïåðàòóð- íóþ ðàçíèöó, ýêâèâàëåíòíóþ øóìó. Äëÿ èññëåäîâàí- íîãî îáðàçöà ýòà âåëè÷èíà ñîñòàâëÿëà 20±10 ìÊ, ÷òî ÿâëÿåòñÿ äîñòàòî÷íî âûñîêèì ðåçóëüòàòîì. Ãèñòîãðàì- ìà ðàñïðåäåëåíèÿ èçìåðåííîé âåëè÷èíû NEDT ïî ýëåìåíòàì ìàòðèöû ïðèâåäåíà íà ðèñ. 8. Íà ðèñ. 9 ïðåäñòàâëåíî èçîáðàæåíèå ôðàãìåíòà ìèêðîñõåìû â ñïåêòðàëüíîì äèàïàçîíå 3 � 5 ìêì, ïîëó÷åííîå ñ ïîìîùüþ ðàçðàáîòàííîãî ìàêåòà òåï- ëîâèçèîííîé êàìåðû. Îòëè÷èòåëüíûìè îñîáåííîñòÿìè äàííîãî òåïëîâè- çèîííîãî ïðèåìíèêà ÿâëÿþòñÿ: íèçêàÿ ïîòðåáëÿåìàÿ ìîùíîñòü (ìåíåå 50 ìÂò), íåáîëüøîå êîëè÷åñòâî óïðàâëÿþùèõ (5, âêëþ÷àÿ ïèòàíèå è çåìëþ) è èí- ôîðìàöèîííûõ ñèãíàëîâ (îäèí âèäåîâûõîä è 3 âû- õîäíûõ èìïóëüñà ñèíõðîíèçàöèè), âûñîêàÿ ÷àñòîòà êàäðîâ (äî 200 Ãö), óïðàâëåíèå ðåæèìàìè ðàáîòû ôîòîïðèåìíèêà èíòåãðèðîâàííûì â ñõåìó ñ÷èòûâà- íèÿ ïîñëåäîâàòåëüíûì ïîðòîì, äèíàìè÷åñêèé äèàïà- çîí áîëåå 80 äÁ ïðè ìàêñèìàëüíîì óðîâíå âûõîäíî- ãî ñèãíàëà 3 Â. Òàêèì îáðàçîì, ðàçðàáîòàííîå òåïëîâèçèîííîå óñòðîéñòâî äëÿ ñðåäíåé ÷àñòè (3�5 ìêì) ñïåêòðàëü- íîãî ÈÊ-äèàïàçîíà íà îñíîâå ôîòîïðèåìíîãî ìîäó- ëÿ, ñîñòîÿùåãî èç 128×128 CdHgTe-ýëåìåíòîâ, ìî- æåò áûòü èñïîëüçîâàíî â ñèñòåìàõ ñ âûñîêîé ðàçðå- øàþùåé ñïîñîáíîñòüþ ïî òåìïåðàòóðå. ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ 1. Kinch. M. A. Fundamentals of infrared detector materials.� SPIE Press, Bellingham, 2007. 2. Ñèçîâ. Ô. Ô. Ôîòîýëåêòðîíèêà äëÿ ñèñòåì âèäåíèÿ â íåâè- äèìûõ ó÷àñòêàõ ñïåêòðà.� Êèåâ: Àêàäåìïåðèîäèêà, 2008. 3. Ðåâà Â. Â., Ñèçîâ Ô. Ô. Ïðîåêòèðîâàíèå ñõåìû ñ÷èòûâàíèÿ äëÿ ìàòðèö ÈÊ-ôîòîäèîäîâ ñðåäíåãî äèàïàçîíà äëèí âîëí // Òåõ- íîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå.� 2004.� ¹ 6.� Ñ. 56�60. 4. Ñòàôååâ Â. È., Áîëòàðü Ê. Î., Áóðëàêîâ È. Ä. è äð. Ìàòðè÷- íûå ôîòîïðèåìíûå óñòðîéñòâà ñðåäíåãî è äàëüíåãî äèàïàçîíîâ ñïåêòðà íà îñíîâå ôîòîäèîäîâ èç CdõHg1-õTe // ÔÒÏ.� 2005.� Ò.39, âûï. 10.� Ñ. 1257�1265. 5. Ñèçîâ Ô.Ô., Çàáóäñêèé Â.Â., Ãîëåíêîâ À.Ã. è äð. Ìåòîäèêà èçìåðåíèÿ òåìíîâûõ òîêîâ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ìíîãîýëåìåíò- íûõ ñòðóêòóð ïðè êðèîãåííûõ òåìïåðàòóðàõ // Êîíòðîëüíî-èç- ìåðèòåëüíûå ïðèáîðû è àâòîìàòèêà.� 2007.� ¹ 1.� Ñ. 4�7. 6. Anderson W. W., Hoffman H. J. Field ionization of deep levels in semiconductors with applications to Hg1-xCdxTe p-n junctions // J. Appl. Physics.� 1982.� V. 53, N.12.� Ð. 9130�9145. 7. Gumenjuk-Sichevska J. V., Sizov F. F. Currents in narrow-gap photodiodes // Semicond. Sci. Techn.� 1999.� V. 14.� P. 1124� 1133. 8. Yoshino J., Morimoto J., Wada H. et al. Studies of relationship between deep levels and RA product in mesa type HgCdTe devices // Opto-Electronics Review.� 1999.� V. 7.� P. 361�367. 9. Krishnamurthy S., Berding M.A., Robinson H., Sher A. Tunneling in long-wavelength infrared HgCdTe photodiodes // Journal of Electronic Materials.� 2006.� V. 35(6).� P. 1399�1402. 50 40 30 20 10 0 10 15 20 25 30 35 NETD, ìÊ Ðèñ. 8. Ðàñïðåäåëåíèå âåëè÷èíû NEDT ïî ýëåìåíòàì ìàòðèöû 128×128 Ê îë è÷ åñ òâ î ýë åì åí òî â, % Ðèñ. 9. Èçîáðàæåíèå ôðàãìåí- òà ìèêðîñõåìû â ÈÊ-äèàïàçî- íå (ïðîñòðàíñòâåííîå ðàçðå- øåíèå ñèñòåìû � 50 ìêì)

Ähnliche Einträge