Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники
Исследовано влияние типа металлизации и микроволнового облучения на свойства омических контактов к гетеро-структурам, содержащим фуллерены. Выявлено преимущество титановой металлизации перед золотой....
Збережено в:
| Дата: | 2010 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2010
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51983 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники / Р.В. Конакова, Е.Ю. Колядина, Л.А, Матвеева П.Л. Нелюба, В.В. Шинкаренко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 5-6. — С. 40-42. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-51983 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-519832013-12-22T03:15:12Z Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники Конакова, Р.В. Колядина, Е.Ю. Матвеева, Л.А Нелюба, П.Л. Шинкаренко, В.В. Технологические процессы и оборудование Исследовано влияние типа металлизации и микроволнового облучения на свойства омических контактов к гетеро-структурам, содержащим фуллерены. Выявлено преимущество титановой металлизации перед золотой. Розглянуто два види металізації (Au, Ti) до матеріалу, що містить фулерен. Досліджено ефективність мікрохвильоого відпалу полімер-фулеренового шару з обома металізаціями, та показано, що НВЧ-обробка знижує сумарний опір структури в обох випадках. Показано перспективність використання титанової металізації у порівнянні з золотою, та проаналізовано механізми, що обумовлюють якість титанової металізації.ѕ Two types of metallization (Au, Ti) to a fullerene-bearing material are investigated. The advantages of microwave annealing are noted. Microwave annealing of polymer-fullerene layers with both metallizations is studied; the resistance decreases in both cases. The titanium metallization seems to be more promising than the gold one. The mechanisms responsible for titanium metallization quality are presented. 2010 Article Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники / Р.В. Конакова, Е.Ю. Колядина, Л.А, Матвеева П.Л. Нелюба, В.В. Шинкаренко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 5-6. — С. 40-42. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51983 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование |
| spellingShingle |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование Конакова, Р.В. Колядина, Е.Ю. Матвеева, Л.А Нелюба, П.Л. Шинкаренко, В.В. Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Исследовано влияние типа металлизации и микроволнового облучения на свойства омических контактов к гетеро-структурам, содержащим фуллерены. Выявлено преимущество титановой металлизации перед золотой. |
| format |
Article |
| author |
Конакова, Р.В. Колядина, Е.Ю. Матвеева, Л.А Нелюба, П.Л. Шинкаренко, В.В. |
| author_facet |
Конакова, Р.В. Колядина, Е.Ю. Матвеева, Л.А Нелюба, П.Л. Шинкаренко, В.В. |
| author_sort |
Конакова, Р.В. |
| title |
Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники |
| title_short |
Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники |
| title_full |
Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники |
| title_fullStr |
Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники |
| title_full_unstemmed |
Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники |
| title_sort |
радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2010 |
| topic_facet |
Технологические процессы и оборудование |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51983 |
| citation_txt |
Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники / Р.В. Конакова, Е.Ю. Колядина, Л.А, Матвеева П.Л. Нелюба, В.В. Шинкаренко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 5-6. — С. 40-42. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT konakovarv radiacionnaâtehnologiâulučšeniâomičeskihkontaktovkélementamélektronnojtehniki AT kolâdinaeû radiacionnaâtehnologiâulučšeniâomičeskihkontaktovkélementamélektronnojtehniki AT matveevala radiacionnaâtehnologiâulučšeniâomičeskihkontaktovkélementamélektronnojtehniki AT nelûbapl radiacionnaâtehnologiâulučšeniâomičeskihkontaktovkélementamélektronnojtehniki AT šinkarenkovv radiacionnaâtehnologiâulučšeniâomičeskihkontaktovkélementamélektronnojtehniki |
| first_indexed |
2023-10-18T18:17:28Z |
| last_indexed |
2023-10-18T18:17:28Z |
| _version_ |
1796143815451475968 |