Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия
Установлены основные закономерности формирования наноструктурных пленок CeOx с управляемыми физическими свойствами, что расширяет область их применения для создания сенсоров различного назначения....
Збережено в:
| Дата: | 2010 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2010
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51987 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия / Н.В. Максимчук, А.Н. Шмырева, А.В. Борисов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 5-6. — С. 54-59. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-51987 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-519872013-12-23T03:11:54Z Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия Максимчук, Н.В. Шмырева, А.Н. Борисов, А.В. Материалы электроники Установлены основные закономерности формирования наноструктурных пленок CeOx с управляемыми физическими свойствами, что расширяет область их применения для создания сенсоров различного назначения. Проведено дослідження властивостей плівок CeOx, виготовлених різними методами. Порівняльний аналіз показав, що метод «окислення металічного дзеркала» даєплівки зі значно кращими характеристиками, ніж метод«вибухового випаровування», хоча останній дає більш високу фоточутливість плівок CeOx та структур на їх осѕнові. При цьому було визначено оптимальну температуру підкладки. Отримані дані розширюють область застосування CeOx-плівок для мікроелектронних сенсорів. The properties of CeOx films produced by various methods have been investigated. According to the comparative analisys "metallic mirror oxidation" method allows to produce films with significantly better characteristics than the «explosive evaporation» method. Though the latter method yields higher photosensitivity of CeOx films and structures on their base. In the process the optimal value of the substrate temperature was determined. Obtained data expand the CeOx application potential in microelectronic sensor sphere. 2010 Article Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия / Н.В. Максимчук, А.Н. Шмырева, А.В. Борисов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 5-6. — С. 54-59. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51987 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Материалы электроники Материалы электроники |
| spellingShingle |
Материалы электроники Материалы электроники Максимчук, Н.В. Шмырева, А.Н. Борисов, А.В. Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Установлены основные закономерности формирования наноструктурных пленок CeOx с управляемыми физическими свойствами, что расширяет область их применения для создания сенсоров различного назначения. |
| format |
Article |
| author |
Максимчук, Н.В. Шмырева, А.Н. Борисов, А.В. |
| author_facet |
Максимчук, Н.В. Шмырева, А.Н. Борисов, А.В. |
| author_sort |
Максимчук, Н.В. |
| title |
Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия |
| title_short |
Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия |
| title_full |
Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия |
| title_fullStr |
Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия |
| title_full_unstemmed |
Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия |
| title_sort |
свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2010 |
| topic_facet |
Материалы электроники |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51987 |
| citation_txt |
Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия / Н.В. Максимчук, А.Н. Шмырева, А.В. Борисов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 5-6. — С. 54-59. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT maksimčuknv svojstvaipraktičeskoeprimenenienanokristalličeskihplenokoksidaceriâ AT šmyrevaan svojstvaipraktičeskoeprimenenienanokristalličeskihplenokoksidaceriâ AT borisovav svojstvaipraktičeskoeprimenenienanokristalličeskihplenokoksidaceriâ |
| first_indexed |
2023-10-18T18:17:29Z |
| last_indexed |
2023-10-18T18:17:29Z |
| _version_ |
1796143815879294976 |