Свойства металлических контактов на пленках TiO₂, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления

Свойства металлических контактов на пленках TiO₂, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления

Исследованы вольт-амперные характеристики металлических контактов на тонких пленках диоксида титана, а также влияние отжига структур в вакууме на их электрические свойства....

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Видавець:Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Дата:2010
Автори: Брус, В.В., Ковалюк, З.Д., Марьянчук, П.Д., Орлецкий, И.Г., Майструк, Э.В.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2010
Назва видання:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Теми:
Материалы электроники
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51988
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Цитувати:Свойства металлических контактов на пленках TiO₂, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления / В.В. Брус, З.Д. Ковалюк, П.Д. Марьянчук, И.Г. Орлецкий, Э.В. Майструк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 5-6. — С. 60-62. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.

Репозиторії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-51988
record_format dspace
spelling irk-123456789-519882013-12-23T03:12:16Z Свойства металлических контактов на пленках TiO₂, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления Брус, В.В. Ковалюк, З.Д. Марьянчук, П.Д. Орлецкий, И.Г. Майструк, Э.В. Материалы электроники Исследованы вольт-амперные характеристики металлических контактов на тонких пленках диоксида титана, а также влияние отжига структур в вакууме на их электрические свойства. Досліджено вольт-амперні характеристики металевих кон тактів (Al, Cr, In, Mo, Ti) на тонких плівках діоксиду титану, а також вплив відпалу структур у вакуумі на їх електричні ластивості. Вимірювання ВАХ металевих контактів проодилися за допомогою трьохзондового методу. Встановлено, що контакт індію на тонких плівках TiO₂ відзначається чітко вираженими омічними властивостями. The article deals with research on volt-ampere characteristics of metal contacts (Al, Cr, In, Mo, Ti) on titanium dioxide thin films and influence of annealing in vacuum on their electric properties. Volt-ampere characteristics measurements were taken by three-probe method. There was established that indium contact on TiO₂ thin films possessed sharply defined ohmic properties. 2010 Article Свойства металлических контактов на пленках TiO₂, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления / В.В. Брус, З.Д. Ковалюк, П.Д. Марьянчук, И.Г. Орлецкий, Э.В. Майструк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 5-6. — С. 60-62. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51988 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Материалы электроники
Материалы электроники
spellingShingle Материалы электроники
Материалы электроники
Брус, В.В.
Ковалюк, З.Д.
Марьянчук, П.Д.
Орлецкий, И.Г.
Майструк, Э.В.
Свойства металлических контактов на пленках TiO₂, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Исследованы вольт-амперные характеристики металлических контактов на тонких пленках диоксида титана, а также влияние отжига структур в вакууме на их электрические свойства.
format Article
author Брус, В.В.
Ковалюк, З.Д.
Марьянчук, П.Д.
Орлецкий, И.Г.
Майструк, Э.В.
author_facet Брус, В.В.
Ковалюк, З.Д.
Марьянчук, П.Д.
Орлецкий, И.Г.
Майструк, Э.В.
author_sort Брус, В.В.
title Свойства металлических контактов на пленках TiO₂, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
title_short Свойства металлических контактов на пленках TiO₂, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
title_full Свойства металлических контактов на пленках TiO₂, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
title_fullStr Свойства металлических контактов на пленках TiO₂, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
title_full_unstemmed Свойства металлических контактов на пленках TiO₂, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
title_sort свойства металлических контактов на пленках tio₂, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2010
topic_facet Материалы электроники
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51988
citation_txt Свойства металлических контактов на пленках TiO₂, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления / В.В. Брус, З.Д. Ковалюк, П.Д. Марьянчук, И.Г. Орлецкий, Э.В. Майструк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 5-6. — С. 60-62. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.
series Технология и конструирование в электронной аппаратуре
work_keys_str_mv AT brusvv svojstvametalličeskihkontaktovnaplenkahtio2izgotovlennyhmetodomreaktivnogomagnetronnogoraspyleniâ
AT kovalûkzd svojstvametalličeskihkontaktovnaplenkahtio2izgotovlennyhmetodomreaktivnogomagnetronnogoraspyleniâ
AT marʹânčukpd svojstvametalličeskihkontaktovnaplenkahtio2izgotovlennyhmetodomreaktivnogomagnetronnogoraspyleniâ
AT orleckijig svojstvametalličeskihkontaktovnaplenkahtio2izgotovlennyhmetodomreaktivnogomagnetronnogoraspyleniâ
AT majstrukév svojstvametalličeskihkontaktovnaplenkahtio2izgotovlennyhmetodomreaktivnogomagnetronnogoraspyleniâ
first_indexed 2023-10-18T18:17:29Z
last_indexed 2023-10-18T18:17:29Z
_version_ 1796143815986249728

Схожі ресурси