Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок
Установлено, что оценка качества пленки после различных технологических операций изготовления ИС может проводиться по изменению спектра пропускания пленки. Это позволяет исключить брак ИС, обусловленный обрывом слоя металла....
Збережено в:
| Дата: | 2009 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2009
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52046 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 2. — С. 46-50. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-52046 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-520462013-12-26T03:17:25Z Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок Иванчиков, А.Э. Кисель, А.М. Медведева, А.Б. Плебанович, В.И. Материалы электроники Установлено, что оценка качества пленки после различных технологических операций изготовления ИС может проводиться по изменению спектра пропускания пленки. Это позволяет исключить брак ИС, обусловленный обрывом слоя металла. Встановлено, що оцінка якості плівки після різних технологічних операцій виготовлення ІС може проводитися по зміні спектру пропускання плівки. Це дозволяє виключити брак ІС, обумовлений обривом шару металу. It is established, that the estimation of quality of a film after various technological operations of IC manufacturing can be realized by means of changing the transmission spectrum of the film. It allows to exclude rejects of ICs caused by breakage of a metal layer. 2009 Article Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 2. — С. 46-50. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52046 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Материалы электроники Материалы электроники |
| spellingShingle |
Материалы электроники Материалы электроники Иванчиков, А.Э. Кисель, А.М. Медведева, А.Б. Плебанович, В.И. Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Установлено, что оценка качества пленки после различных технологических операций изготовления ИС может проводиться по изменению спектра пропускания пленки. Это позволяет исключить брак ИС, обусловленный обрывом слоя металла. |
| format |
Article |
| author |
Иванчиков, А.Э. Кисель, А.М. Медведева, А.Б. Плебанович, В.И. |
| author_facet |
Иванчиков, А.Э. Кисель, А.М. Медведева, А.Б. Плебанович, В.И. |
| author_sort |
Иванчиков, А.Э. |
| title |
Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок |
| title_short |
Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок |
| title_full |
Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок |
| title_fullStr |
Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок |
| title_full_unstemmed |
Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок |
| title_sort |
изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2009 |
| topic_facet |
Материалы электроники |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52046 |
| citation_txt |
Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 2. — С. 46-50. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT ivančikovaé izmeneniesvojstvplenokkremnijorganičeskihstekolposletermičeskojiplazmohimičeskojobrabotok AT kiselʹam izmeneniesvojstvplenokkremnijorganičeskihstekolposletermičeskojiplazmohimičeskojobrabotok AT medvedevaab izmeneniesvojstvplenokkremnijorganičeskihstekolposletermičeskojiplazmohimičeskojobrabotok AT plebanovičvi izmeneniesvojstvplenokkremnijorganičeskihstekolposletermičeskojiplazmohimičeskojobrabotok |
| first_indexed |
2023-10-18T18:17:36Z |
| last_indexed |
2023-10-18T18:17:36Z |
| _version_ |
1796143821276315648 |