2025-02-21T07:20:15-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-52063%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-21T07:20:15-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-52063%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-21T07:20:15-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-21T07:20:15-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Прибор и методы измерения параметров и степени однородности пленочных структур

Прибор и методы измерения параметров и степени однородности пленочных структур

Разработана блок-схема, изготовлен макет прибора и создан пакет автоматизированных программ для измерения показателя преломления и контроля толщины пленок в процессе изготовления пленочных структур....

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Макара, В.А., Одарич, В.А., Кепич, Т.Ю., Преображенская, Т.Д., Руденко, О.В.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2009
Series:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Subjects:
Технологические процессы и оборудование
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52063
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Description
Summary:Разработана блок-схема, изготовлен макет прибора и создан пакет автоматизированных программ для измерения показателя преломления и контроля толщины пленок в процессе изготовления пленочных структур.

Similar Items