Прибор и методы измерения параметров и степени однородности пленочных структур
Разработана блок-схема, изготовлен макет прибора и создан пакет автоматизированных программ для измерения показателя преломления и контроля толщины пленок в процессе изготовления пленочных структур....
Збережено в:
| Дата: | 2009 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2009
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52063 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Прибор и методы измерения параметров и степени однородности пленочных структур / В.А. Макара, В.А. Одарич, Т.Ю. Кепич, Т.Д. Преображенская, О.В. Руденко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 3. — С. 40-46. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-52063 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-520632013-12-27T03:15:09Z Прибор и методы измерения параметров и степени однородности пленочных структур Макара, В.А. Одарич, В.А. Кепич, Т.Ю. Преображенская, Т.Д. Руденко, О.В. Технологические процессы и оборудование Разработана блок-схема, изготовлен макет прибора и создан пакет автоматизированных программ для измерения показателя преломления и контроля толщины пленок в процессе изготовления пленочных структур. У роботі проведено конструкторсько-технологічний аналіз схеми вимірювання еліпсометричних параметрів, розрахунку показника заломлення і товщини плівки, розроблено блок-схему і створено макет приладу для контролю однорідності плівкових структур в процесі їх виготовлення. Розроблено пакет автоматизованих програм обчислення показника заломлення і товщини плівок по зміряних еліпсометричних параметрах, які засновані на ітераційному методі вирішення рівняння еліпсометрії. Проведено апробацію приладу на прикладі визначення показника заломлення і товщини плівок CdTe і плівок HfO₂, яка показала можливість контролю однорідностіплівок як за площею, так і по товщині.· The designer-technological analysis of ellipsometric parameters measuring and calculation of the film refraction index and thickness scheme is conducted in this article. The flow-chart is developed and the model of apparatus for the film refraction index and thickness measuring and control of the film structures technology making is created. Package of automated programs of the film refraction index and thicknes calculating on the measured ellipsometric parameters, based on the iteration method of decision of ellipsometry equation was developed. The approbation of device, which showed the checking feature of films homogeneity both on an area and on a thickness on the example of determination of CdTe and HfO₂ films refraction index and thickness is conducted. 2009 Article Прибор и методы измерения параметров и степени однородности пленочных структур / В.А. Макара, В.А. Одарич, Т.Ю. Кепич, Т.Д. Преображенская, О.В. Руденко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 3. — С. 40-46. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52063 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование |
| spellingShingle |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование Макара, В.А. Одарич, В.А. Кепич, Т.Ю. Преображенская, Т.Д. Руденко, О.В. Прибор и методы измерения параметров и степени однородности пленочных структур Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Разработана блок-схема, изготовлен макет прибора и создан пакет автоматизированных программ для измерения показателя преломления и контроля толщины пленок в процессе изготовления пленочных структур. |
| format |
Article |
| author |
Макара, В.А. Одарич, В.А. Кепич, Т.Ю. Преображенская, Т.Д. Руденко, О.В. |
| author_facet |
Макара, В.А. Одарич, В.А. Кепич, Т.Ю. Преображенская, Т.Д. Руденко, О.В. |
| author_sort |
Макара, В.А. |
| title |
Прибор и методы измерения параметров и степени однородности пленочных структур |
| title_short |
Прибор и методы измерения параметров и степени однородности пленочных структур |
| title_full |
Прибор и методы измерения параметров и степени однородности пленочных структур |
| title_fullStr |
Прибор и методы измерения параметров и степени однородности пленочных структур |
| title_full_unstemmed |
Прибор и методы измерения параметров и степени однородности пленочных структур |
| title_sort |
прибор и методы измерения параметров и степени однородности пленочных структур |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2009 |
| topic_facet |
Технологические процессы и оборудование |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52063 |
| citation_txt |
Прибор и методы измерения параметров и степени однородности пленочных структур / В.А. Макара, В.А. Одарич, Т.Ю. Кепич, Т.Д. Преображенская, О.В. Руденко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 3. — С. 40-46. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT makarava priborimetodyizmereniâparametrovistepeniodnorodnostiplenočnyhstruktur AT odaričva priborimetodyizmereniâparametrovistepeniodnorodnostiplenočnyhstruktur AT kepičtû priborimetodyizmereniâparametrovistepeniodnorodnostiplenočnyhstruktur AT preobraženskaâtd priborimetodyizmereniâparametrovistepeniodnorodnostiplenočnyhstruktur AT rudenkoov priborimetodyizmereniâparametrovistepeniodnorodnostiplenočnyhstruktur |
| first_indexed |
2023-10-18T18:17:39Z |
| last_indexed |
2023-10-18T18:17:39Z |
| _version_ |
1796143823073574912 |