Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем
Полученные оптимальные технологические режимы процесса диффузии фосфора с применением твердого планарного источника позволяют получать транзисторы с улучшенными электрофизическими характеристиками....
Збережено в:
| Дата: | 2008 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2008
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52394 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем / Б.А. Шангереева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 1. — С. 54-56. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
Репозиторії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-52394 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-523942013-12-31T03:22:38Z Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем Шангереева, Б.А. Технологические процессы и оборудование Полученные оптимальные технологические режимы процесса диффузии фосфора с применением твердого планарного источника позволяют получать транзисторы с улучшенными электрофизическими характеристиками. 2008 Article Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем / Б.А. Шангереева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 1. — С. 54-56. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52394 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование |
| spellingShingle |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование Шангереева, Б.А. Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Полученные оптимальные технологические режимы процесса диффузии фосфора с применением твердого планарного источника позволяют получать транзисторы с улучшенными электрофизическими характеристиками. |
| format |
Article |
| author |
Шангереева, Б.А. |
| author_facet |
Шангереева, Б.А. |
| author_sort |
Шангереева, Б.А. |
| title |
Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем |
| title_short |
Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем |
| title_full |
Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем |
| title_fullStr |
Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем |
| title_full_unstemmed |
Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем |
| title_sort |
диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2008 |
| topic_facet |
Технологические процессы и оборудование |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52394 |
| citation_txt |
Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем / Б.А. Шангереева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 1. — С. 54-56. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT šangereevaba diffuziâfosforasprimeneniemtverdogoplanarnogoistočnikavproizvodstveintegralʹnyhshem |
| first_indexed |
2023-10-18T18:18:25Z |
| last_indexed |
2023-10-18T18:18:25Z |
| _version_ |
1796143857377738752 |