2025-02-23T15:45:20-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-52490%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T15:45:20-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-52490%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T15:45:20-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T15:45:20-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Испаритель для термического напыления материалов в вакууме

Испаритель для термического напыления материалов в вакууме

Разработан испаритель оригинальной конструкции, предназначенный для термического распыления материалов в технологических процессах изготовления СВЧ-транзисторов, диодов и монолитных схем....

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Босый, В.И., Кохан, В.П., Рахманов, Н.М.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2008
Series:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Subjects:
Технологические процессы и оборудование
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52490
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
id irk-123456789-52490
record_format dspace
spelling irk-123456789-524902014-01-04T03:10:45Z Испаритель для термического напыления материалов в вакууме Босый, В.И. Кохан, В.П. Рахманов, Н.М. Технологические процессы и оборудование Разработан испаритель оригинальной конструкции, предназначенный для термического распыления материалов в технологических процессах изготовления СВЧ-транзисторов, диодов и монолитных схем. 2008 Article Испаритель для термического напыления материалов в вакууме / В.И. Босый, В.П. Кохан, Н.М. Рахманов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 56-57. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52490 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Технологические процессы и оборудование
Технологические процессы и оборудование
spellingShingle Технологические процессы и оборудование
Технологические процессы и оборудование
Босый, В.И.
Кохан, В.П.
Рахманов, Н.М.
Испаритель для термического напыления материалов в вакууме
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Разработан испаритель оригинальной конструкции, предназначенный для термического распыления материалов в технологических процессах изготовления СВЧ-транзисторов, диодов и монолитных схем.
format Article
author Босый, В.И.
Кохан, В.П.
Рахманов, Н.М.
author_facet Босый, В.И.
Кохан, В.П.
Рахманов, Н.М.
author_sort Босый, В.И.
title Испаритель для термического напыления материалов в вакууме
title_short Испаритель для термического напыления материалов в вакууме
title_full Испаритель для термического напыления материалов в вакууме
title_fullStr Испаритель для термического напыления материалов в вакууме
title_full_unstemmed Испаритель для термического напыления материалов в вакууме
title_sort испаритель для термического напыления материалов в вакууме
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2008
topic_facet Технологические процессы и оборудование
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52490
citation_txt Испаритель для термического напыления материалов в вакууме / В.И. Босый, В.П. Кохан, Н.М. Рахманов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 56-57. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.
series Технология и конструирование в электронной аппаратуре
work_keys_str_mv AT bosyjvi isparitelʹdlâtermičeskogonapyleniâmaterialovvvakuume
AT kohanvp isparitelʹdlâtermičeskogonapyleniâmaterialovvvakuume
AT rahmanovnm isparitelʹdlâtermičeskogonapyleniâmaterialovvvakuume
first_indexed 2023-10-18T18:18:38Z
last_indexed 2023-10-18T18:18:38Z
_version_ 1796143867395833856

Similar Items