Технологии изготовления фотонных кристаллов
Приведен обзор методов изготовления фотонных кристаллов для нанофотонных микросхем. Рассмотрены перспективы применения технологий в условиях промышленного производства таких устройств....
Збережено в:
| Дата: | 2007 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2007
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52649 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Технологии изготовления фотонных кристаллов / Б.М. Березянский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 1. — С. 45-51. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-52649 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-526492014-01-06T03:18:12Z Технологии изготовления фотонных кристаллов Березянский, Б.М. Технологические процессы и оборудование Приведен обзор методов изготовления фотонных кристаллов для нанофотонных микросхем. Рассмотрены перспективы применения технологий в условиях промышленного производства таких устройств. 2007 Article Технологии изготовления фотонных кристаллов / Б.М. Березянский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 1. — С. 45-51. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52649 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование |
| spellingShingle |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование Березянский, Б.М. Технологии изготовления фотонных кристаллов Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Приведен обзор методов изготовления фотонных кристаллов для нанофотонных микросхем. Рассмотрены перспективы применения технологий в условиях промышленного производства таких устройств. |
| format |
Article |
| author |
Березянский, Б.М. |
| author_facet |
Березянский, Б.М. |
| author_sort |
Березянский, Б.М. |
| title |
Технологии изготовления фотонных кристаллов |
| title_short |
Технологии изготовления фотонных кристаллов |
| title_full |
Технологии изготовления фотонных кристаллов |
| title_fullStr |
Технологии изготовления фотонных кристаллов |
| title_full_unstemmed |
Технологии изготовления фотонных кристаллов |
| title_sort |
технологии изготовления фотонных кристаллов |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2007 |
| topic_facet |
Технологические процессы и оборудование |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52649 |
| citation_txt |
Технологии изготовления фотонных кристаллов / Б.М. Березянский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 1. — С. 45-51. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT berezânskijbm tehnologiiizgotovleniâfotonnyhkristallov |
| first_indexed |
2023-10-18T18:19:00Z |
| last_indexed |
2023-10-18T18:19:00Z |
| _version_ |
1796143883448483840 |