Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем

Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем

На основании проведенных исследований был спроектирован фотошаблон для отработки режимов фотолитографии и дальнейшего изучения влияния эффектов оптической близости....

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Видавець:Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Дата:2007
Автори: Родионов И.А., И.А., Макарчук, В.В.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2007
Назва видання:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Теми:
Электронные средства: исследования, разработки
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52809
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Цитувати:Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем / И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 30-32. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.

Репозиторії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-52809
record_format dspace
spelling irk-123456789-528092014-01-08T03:11:34Z Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем Родионов И.А., И.А. Макарчук, В.В. Электронные средства: исследования, разработки На основании проведенных исследований был спроектирован фотошаблон для отработки режимов фотолитографии и дальнейшего изучения влияния эффектов оптической близости. 2007 Article Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем / И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 30-32. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52809 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Электронные средства: исследования, разработки
Электронные средства: исследования, разработки
spellingShingle Электронные средства: исследования, разработки
Электронные средства: исследования, разработки
Родионов И.А., И.А.
Макарчук, В.В.
Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description На основании проведенных исследований был спроектирован фотошаблон для отработки режимов фотолитографии и дальнейшего изучения влияния эффектов оптической близости.
format Article
author Родионов И.А., И.А.
Макарчук, В.В.
author_facet Родионов И.А., И.А.
Макарчук, В.В.
author_sort Родионов И.А., И.А.
title Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
title_short Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
title_full Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
title_fullStr Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
title_full_unstemmed Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
title_sort коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2007
topic_facet Электронные средства: исследования, разработки
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52809
citation_txt Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем / И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 30-32. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.
series Технология и конструирование в электронной аппаратуре
work_keys_str_mv AT rodionoviaia korrekciâoptičeskihéffektovblizostipriproektirovaniimikroshem
AT makarčukvv korrekciâoptičeskihéffektovblizostipriproektirovaniimikroshem
first_indexed 2023-10-18T18:19:23Z
last_indexed 2023-10-18T18:19:23Z
_version_ 1796143900372500480

Схожі ресурси