Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа
Предложена и исследована конструкция пьезокерамического сканера для наномикроскопов на основе диморфных пьезоэлементов. Построена и исследована модель сканера при помощи программы MicroCap 7.0....
Збережено в:
| Дата: | 2007 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2007
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52825 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа / В.М. Шарапов, А.Н. Гуржий, С.А. Филимонов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 13-15. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
Репозиторії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-52825 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-528252014-01-08T03:12:00Z Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа Шарапов, В.М. Гуржий, А.Н. Филимонов, С.А. Электронные средства: исследования, разработки Предложена и исследована конструкция пьезокерамического сканера для наномикроскопов на основе диморфных пьезоэлементов. Построена и исследована модель сканера при помощи программы MicroCap 7.0. 2007 Article Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа / В.М. Шарапов, А.Н. Гуржий, С.А. Филимонов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 13-15. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52825 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Электронные средства: исследования, разработки Электронные средства: исследования, разработки |
| spellingShingle |
Электронные средства: исследования, разработки Электронные средства: исследования, разработки Шарапов, В.М. Гуржий, А.Н. Филимонов, С.А. Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Предложена и исследована конструкция пьезокерамического сканера для наномикроскопов на основе диморфных пьезоэлементов. Построена и исследована модель сканера при помощи программы MicroCap 7.0. |
| format |
Article |
| author |
Шарапов, В.М. Гуржий, А.Н. Филимонов, С.А. |
| author_facet |
Шарапов, В.М. Гуржий, А.Н. Филимонов, С.А. |
| author_sort |
Шарапов, В.М. |
| title |
Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа |
| title_short |
Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа |
| title_full |
Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа |
| title_fullStr |
Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа |
| title_full_unstemmed |
Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа |
| title_sort |
трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2007 |
| topic_facet |
Электронные средства: исследования, разработки |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52825 |
| citation_txt |
Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа / В.М. Шарапов, А.Н. Гуржий, С.А. Филимонов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 13-15. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT šarapovvm trehkoordinatnyjpʹezokeramičeskijskanernabimorfnyhpʹezoélementahdlâzondovogonanomikroskopa AT guržijan trehkoordinatnyjpʹezokeramičeskijskanernabimorfnyhpʹezoélementahdlâzondovogonanomikroskopa AT filimonovsa trehkoordinatnyjpʹezokeramičeskijskanernabimorfnyhpʹezoélementahdlâzondovogonanomikroskopa |
| first_indexed |
2023-10-18T18:19:26Z |
| last_indexed |
2023-10-18T18:19:26Z |
| _version_ |
1796143902069096448 |