Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке
Рассмотрена кристаллизация силицидной фазы кобальта на поверхности монокристаллического кремния и возможность создания самоформирующихся субмикронных и наноразмерных элементов кремниевых интегральных схем....
Збережено в:
| Дата: | 2007 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2007
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52879 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке / И.В. Белоусов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 5. — С. 54-57. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-52879 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-528792014-01-09T03:08:26Z Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке Белоусов, И.В. Технологические процессы и оборудование Рассмотрена кристаллизация силицидной фазы кобальта на поверхности монокристаллического кремния и возможность создания самоформирующихся субмикронных и наноразмерных элементов кремниевых интегральных схем. 2007 Article Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке / И.В. Белоусов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 5. — С. 54-57. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52879 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование |
| spellingShingle |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование Белоусов, И.В. Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Рассмотрена кристаллизация силицидной фазы кобальта на поверхности монокристаллического кремния и возможность создания самоформирующихся субмикронных и наноразмерных элементов кремниевых интегральных схем. |
| format |
Article |
| author |
Белоусов, И.В. |
| author_facet |
Белоусов, И.В. |
| author_sort |
Белоусов, И.В. |
| title |
Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке |
| title_short |
Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке |
| title_full |
Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке |
| title_fullStr |
Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке |
| title_full_unstemmed |
Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке |
| title_sort |
направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2007 |
| topic_facet |
Технологические процессы и оборудование |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52879 |
| citation_txt |
Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке / И.В. Белоусов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 5. — С. 54-57. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT belousoviv napravlennaâkristallizaciâsilicidnyhplenoknakremnievojpodložke |
| first_indexed |
2023-10-18T18:19:33Z |
| last_indexed |
2023-10-18T18:19:33Z |
| _version_ |
1796143907771252736 |