2025-02-23T15:17:01-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-52895%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T15:17:01-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-52895%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T15:17:01-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T15:17:01-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза

Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза

Исследованы пленки Ir и алмаза в зависимости от условий получения. Рассмотрено применение поликластерных пленок алмаза в качестве теплоотводов ГИС и управляющих сеток электронных приборов....

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Белянин, А.Ф., Паль, А.Ф., Самойлович, М.И., Суетин, Н.В., Дзбановский, Н.Н., Митин, В.С., Пащенко, П.В., Тимофеев, М.А.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2007
Series:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Subjects:
Технологические процессы и оборудование
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52895
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

Internet

http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52895

Similar Items