Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии

Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии

Решение полученных уравнений для конкретных систем и реакторов позволяет определить неравновесные концентрации компонентов как функцию координат и времени в объеме реактора....

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2006
Автори: Воронин, В.А., Губа, С.К., Сиверс, В.Н.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2006
Назва видання:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Теми:
Технологические процессы и оборудование
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52920
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии / В.А. Воронин, С.К. Губа, В.Н. Сиверс // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 3. — С. 50-55. — Бібліогр.: 23 назв. — рос.

Репозиторії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-52920
record_format dspace
spelling irk-123456789-529202014-01-10T03:12:23Z Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии Воронин, В.А. Губа, С.К. Сиверс, В.Н. Технологические процессы и оборудование Решение полученных уравнений для конкретных систем и реакторов позволяет определить неравновесные концентрации компонентов как функцию координат и времени в объеме реактора. 2006 Article Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии / В.А. Воронин, С.К. Губа, В.Н. Сиверс // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 3. — С. 50-55. — Бібліогр.: 23 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52920 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Технологические процессы и оборудование
Технологические процессы и оборудование
spellingShingle Технологические процессы и оборудование
Технологические процессы и оборудование
Воронин, В.А.
Губа, С.К.
Сиверс, В.Н.
Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Решение полученных уравнений для конкретных систем и реакторов позволяет определить неравновесные концентрации компонентов как функцию координат и времени в объеме реактора.
format Article
author Воронин, В.А.
Губа, С.К.
Сиверс, В.Н.
author_facet Воронин, В.А.
Губа, С.К.
Сиверс, В.Н.
author_sort Воронин, В.А.
title Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии
title_short Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии
title_full Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии
title_fullStr Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии
title_full_unstemmed Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии
title_sort обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2006
topic_facet Технологические процессы и оборудование
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52920
citation_txt Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии / В.А. Воронин, С.К. Губа, В.Н. Сиверс // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 3. — С. 50-55. — Бібліогр.: 23 назв. — рос.
series Технология и конструирование в электронной аппаратуре
work_keys_str_mv AT voroninva obobŝennyjteoretičeskijpodhodkanalizugazofaznyhprocessovépitaksii
AT gubask obobŝennyjteoretičeskijpodhodkanalizugazofaznyhprocessovépitaksii
AT siversvn obobŝennyjteoretičeskijpodhodkanalizugazofaznyhprocessovépitaksii
first_indexed 2023-10-18T18:19:38Z
last_indexed 2023-10-18T18:19:38Z
_version_ 1796143911369965568

Схожі ресурси