Технологические источники ионов на основе контрагированных разрядов
Обеспечивается создание ускоренных пучков ионов с токами до 0,6 А и энергиями до 5 кэВ с равномерным распределением плотности тока ионов в поперечном сечении пучков площадью от 10⁻⁴ до 0,2 м²....
Збережено в:
Дата: | 2006 |
---|---|
Автори: | , |
Формат: | Стаття |
Мова: | Russian |
Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2006
|
Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
Теми: | |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52974 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Технологические источники ионов на основе контрагированных разрядов / В.А. Никитинский, Б.И. Журавлев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 4. — С. 55-58. — Бібліогр.: 18 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraineid |
irk-123456789-52974 |
---|---|
record_format |
dspace |
spelling |
irk-123456789-529742014-01-15T03:10:06Z Технологические источники ионов на основе контрагированных разрядов Никитинский, В.А. Журавлев, Б.И. Технологические процессы и оборудование Обеспечивается создание ускоренных пучков ионов с токами до 0,6 А и энергиями до 5 кэВ с равномерным распределением плотности тока ионов в поперечном сечении пучков площадью от 10⁻⁴ до 0,2 м². 2006 Article Технологические источники ионов на основе контрагированных разрядов / В.А. Никитинский, Б.И. Журавлев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 4. — С. 55-58. — Бібліогр.: 18 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52974 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
collection |
DSpace DC |
language |
Russian |
topic |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование |
spellingShingle |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование Никитинский, В.А. Журавлев, Б.И. Технологические источники ионов на основе контрагированных разрядов Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
description |
Обеспечивается создание ускоренных пучков ионов с токами до 0,6 А и энергиями до 5 кэВ с равномерным распределением плотности тока ионов в поперечном сечении пучков площадью от 10⁻⁴ до 0,2 м². |
format |
Article |
author |
Никитинский, В.А. Журавлев, Б.И. |
author_facet |
Никитинский, В.А. Журавлев, Б.И. |
author_sort |
Никитинский, В.А. |
title |
Технологические источники ионов на основе контрагированных разрядов |
title_short |
Технологические источники ионов на основе контрагированных разрядов |
title_full |
Технологические источники ионов на основе контрагированных разрядов |
title_fullStr |
Технологические источники ионов на основе контрагированных разрядов |
title_full_unstemmed |
Технологические источники ионов на основе контрагированных разрядов |
title_sort |
технологические источники ионов на основе контрагированных разрядов |
publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
publishDate |
2006 |
topic_facet |
Технологические процессы и оборудование |
url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52974 |
citation_txt |
Технологические источники ионов на основе контрагированных разрядов / В.А. Никитинский, Б.И. Журавлев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 4. — С. 55-58. — Бібліогр.: 18 назв. — рос. |
series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
work_keys_str_mv |
AT nikitinskijva tehnologičeskieistočnikiionovnaosnovekontragirovannyhrazrâdov AT žuravlevbi tehnologičeskieistočnikiionovnaosnovekontragirovannyhrazrâdov |
first_indexed |
2023-10-18T18:19:45Z |
last_indexed |
2023-10-18T18:19:45Z |
_version_ |
1796143916955729920 |