Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики

Пленки ZnO получены методом магнетронного ВЧ-распыления. Применялось дополнительное магнитное поле, создаваемое магнитной системой, помещенной за подложкодержателем....

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2006
Автори:	Белянин, А.Ф., Кривченко, В.А., Лопаев, Д.В., Павлушкин, Л.В., Пащенко, П.В., Пирогов, В.Г., Поляков, С.Н., Суетин, Н.В., Сушенцов, Н.И.
Формат:	Стаття
Мова:	Russian
Опубліковано:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2006
Назва видання:	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Теми:	Технологические процессы и оборудование
Онлайн доступ:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53399
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики / А.Ф. Белянин, В.А. Кривченко, Д.В. Лопаев, Л.В. Павлушкин, П.В. Пащенко, В.Г. Пирогов, С.Н. Поляков, Н.В. Суетин, Н.И. Сушенцов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 6. — С. 48-55. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Репозиторії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	irk-123456789-53399
record_format	dspace
spelling	irk-123456789-533992014-01-20T03:11:06Z Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики Белянин, А.Ф. Кривченко, В.А. Лопаев, Д.В. Павлушкин, Л.В. Пащенко, П.В. Пирогов, В.Г. Поляков, С.Н. Суетин, Н.В. Сушенцов, Н.И. Технологические процессы и оборудование Пленки ZnO получены методом магнетронного ВЧ-распыления. Применялось дополнительное магнитное поле, создаваемое магнитной системой, помещенной за подложкодержателем. 2006 Article Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики / А.Ф. Белянин, В.А. Кривченко, Д.В. Лопаев, Л.В. Павлушкин, П.В. Пащенко, В.Г. Пирогов, С.Н. Поляков, Н.В. Суетин, Н.И. Сушенцов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 6. — С. 48-55. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53399 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	Russian
topic	Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование
spellingShingle	Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование Белянин, А.Ф. Кривченко, В.А. Лопаев, Д.В. Павлушкин, Л.В. Пащенко, П.В. Пирогов, В.Г. Поляков, С.Н. Суетин, Н.В. Сушенцов, Н.И. Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description	Пленки ZnO получены методом магнетронного ВЧ-распыления. Применялось дополнительное магнитное поле, создаваемое магнитной системой, помещенной за подложкодержателем.
format	Article
author	Белянин, А.Ф. Кривченко, В.А. Лопаев, Д.В. Павлушкин, Л.В. Пащенко, П.В. Пирогов, В.Г. Поляков, С.Н. Суетин, Н.В. Сушенцов, Н.И.
author_facet	Белянин, А.Ф. Кривченко, В.А. Лопаев, Д.В. Павлушкин, Л.В. Пащенко, П.В. Пирогов, В.Г. Поляков, С.Н. Суетин, Н.В. Сушенцов, Н.И.
author_sort	Белянин, А.Ф.
title	Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
title_short	Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
title_full	Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
title_fullStr	Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
title_full_unstemmed	Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
title_sort	наноструктурированные пленки zno для устройств микроэлектроники и оптики
publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate	2006
topic_facet	Технологические процессы и оборудование
url	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53399
citation_txt	Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики / А.Ф. Белянин, В.А. Кривченко, Д.В. Лопаев, Л.В. Павлушкин, П.В. Пащенко, В.Г. Пирогов, С.Н. Поляков, Н.В. Суетин, Н.И. Сушенцов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 6. — С. 48-55. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.
series	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
work_keys_str_mv	AT belâninaf nanostrukturirovannyeplenkiznodlâustrojstvmikroélektronikiioptiki AT krivčenkova nanostrukturirovannyeplenkiznodlâustrojstvmikroélektronikiioptiki AT lopaevdv nanostrukturirovannyeplenkiznodlâustrojstvmikroélektronikiioptiki AT pavluškinlv nanostrukturirovannyeplenkiznodlâustrojstvmikroélektronikiioptiki AT paŝenkopv nanostrukturirovannyeplenkiznodlâustrojstvmikroélektronikiioptiki AT pirogovvg nanostrukturirovannyeplenkiznodlâustrojstvmikroélektronikiioptiki AT polâkovsn nanostrukturirovannyeplenkiznodlâustrojstvmikroélektronikiioptiki AT suetinnv nanostrukturirovannyeplenkiznodlâustrojstvmikroélektronikiioptiki AT sušencovni nanostrukturirovannyeplenkiznodlâustrojstvmikroélektronikiioptiki
first_indexed	2023-10-18T18:20:44Z
last_indexed	2023-10-18T18:20:44Z
_version_	1796143961496092672

Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики

Репозиторії

Схожі ресурси