Получение и свойства пористого карбида кремния
Рассмотрены методы получения пористого карбида кремния, а также влияние режимов травления на морфологию пористого слоя.
Збережено в:
| Дата: | 2005 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2005
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53530 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Получение и свойства пористого карбида кремния / Л.А. Светличная, Н.Н. Московченко, П.В. Серба // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 53-57. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-53530 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-535302014-01-23T03:09:40Z Получение и свойства пористого карбида кремния Светличная, Л.А. Московченко, Н.Н. Серба П.В. Материалы электроники Рассмотрены методы получения пористого карбида кремния, а также влияние режимов травления на морфологию пористого слоя. 2005 Article Получение и свойства пористого карбида кремния / Л.А. Светличная, Н.Н. Московченко, П.В. Серба // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 53-57. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53530 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Материалы электроники Материалы электроники |
| spellingShingle |
Материалы электроники Материалы электроники Светличная, Л.А. Московченко, Н.Н. Серба П.В. Получение и свойства пористого карбида кремния Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Рассмотрены методы получения пористого карбида кремния, а также влияние режимов травления на морфологию пористого слоя. |
| format |
Article |
| author |
Светличная, Л.А. Московченко, Н.Н. Серба П.В. |
| author_facet |
Светличная, Л.А. Московченко, Н.Н. Серба П.В. |
| author_sort |
Светличная, Л.А. |
| title |
Получение и свойства пористого карбида кремния |
| title_short |
Получение и свойства пористого карбида кремния |
| title_full |
Получение и свойства пористого карбида кремния |
| title_fullStr |
Получение и свойства пористого карбида кремния |
| title_full_unstemmed |
Получение и свойства пористого карбида кремния |
| title_sort |
получение и свойства пористого карбида кремния |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2005 |
| topic_facet |
Материалы электроники |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53530 |
| citation_txt |
Получение и свойства пористого карбида кремния / Л.А. Светличная, Н.Н. Московченко, П.В. Серба // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 53-57. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT svetličnaâla polučenieisvojstvaporistogokarbidakremniâ AT moskovčenkonn polučenieisvojstvaporistogokarbidakremniâ AT serbapv polučenieisvojstvaporistogokarbidakremniâ |
| first_indexed |
2023-10-18T18:20:57Z |
| last_indexed |
2023-10-18T18:20:57Z |
| _version_ |
1796143970820030464 |