Технология получения пленок силицида палладия для мощных диодов Шоттки
Термическое испарение палладия в высоком вакууме позволяет получать слои Pd₂Si непосредственно в процессе напыления без последующей термообработки.
Збережено в:
| Дата: | 2005 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2005
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53610 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Технология получения пленок силицида палладия для мощных диодов Шоттки / Л.П. Ануфриев, В.В. Баранов, Я.А. Соловьев, М.В. Тарасиков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 4. — С. 55-56. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-53610 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-536102014-01-26T03:09:46Z Технология получения пленок силицида палладия для мощных диодов Шоттки Ануфриев, Л.П. Баранов, В.В. Соловьев, Я.А. Тарасиков, М.В. Технологические процессы и оборудование Термическое испарение палладия в высоком вакууме позволяет получать слои Pd₂Si непосредственно в процессе напыления без последующей термообработки. 2005 Article Технология получения пленок силицида палладия для мощных диодов Шоттки / Л.П. Ануфриев, В.В. Баранов, Я.А. Соловьев, М.В. Тарасиков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 4. — С. 55-56. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53610 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование |
| spellingShingle |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование Ануфриев, Л.П. Баранов, В.В. Соловьев, Я.А. Тарасиков, М.В. Технология получения пленок силицида палладия для мощных диодов Шоттки Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Термическое испарение палладия в высоком вакууме позволяет получать слои Pd₂Si непосредственно в процессе напыления без последующей термообработки. |
| format |
Article |
| author |
Ануфриев, Л.П. Баранов, В.В. Соловьев, Я.А. Тарасиков, М.В. |
| author_facet |
Ануфриев, Л.П. Баранов, В.В. Соловьев, Я.А. Тарасиков, М.В. |
| author_sort |
Ануфриев, Л.П. |
| title |
Технология получения пленок силицида палладия для мощных диодов Шоттки |
| title_short |
Технология получения пленок силицида палладия для мощных диодов Шоттки |
| title_full |
Технология получения пленок силицида палладия для мощных диодов Шоттки |
| title_fullStr |
Технология получения пленок силицида палладия для мощных диодов Шоттки |
| title_full_unstemmed |
Технология получения пленок силицида палладия для мощных диодов Шоттки |
| title_sort |
технология получения пленок силицида палладия для мощных диодов шоттки |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2005 |
| topic_facet |
Технологические процессы и оборудование |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53610 |
| citation_txt |
Технология получения пленок силицида палладия для мощных диодов Шоттки / Л.П. Ануфриев, В.В. Баранов, Я.А. Соловьев, М.В. Тарасиков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 4. — С. 55-56. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT anufrievlp tehnologiâpolučeniâplenoksilicidapalladiâdlâmoŝnyhdiodovšottki AT baranovvv tehnologiâpolučeniâplenoksilicidapalladiâdlâmoŝnyhdiodovšottki AT solovʹevâa tehnologiâpolučeniâplenoksilicidapalladiâdlâmoŝnyhdiodovšottki AT tarasikovmv tehnologiâpolučeniâplenoksilicidapalladiâdlâmoŝnyhdiodovšottki |
| first_indexed |
2023-10-18T18:21:06Z |
| last_indexed |
2023-10-18T18:21:06Z |
| _version_ |
1796143977482682368 |