Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике
Для формирования защитного покрытия AlN, стойкого к воздействию ударных нагрузок, пригодны методы магнетронного и диодного распыления, а также распыления ионным пучком....
Збережено в:
| Дата: | 2005 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2005
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53629 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, В.Д. Житковский, А.Л. Каменева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 35-41. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-53629 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-536292014-01-26T03:10:53Z Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике Белянин, А.Ф. Самойлович, М.И. Житковский, В.Д. Каменева, А.Л. Технологические процессы и оборудование Для формирования защитного покрытия AlN, стойкого к воздействию ударных нагрузок, пригодны методы магнетронного и диодного распыления, а также распыления ионным пучком. 2005 Article Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, В.Д. Житковский, А.Л. Каменева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 35-41. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53629 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование |
| spellingShingle |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование Белянин, А.Ф. Самойлович, М.И. Житковский, В.Д. Каменева, А.Л. Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Для формирования защитного покрытия AlN, стойкого к воздействию ударных нагрузок, пригодны методы магнетронного и диодного распыления, а также распыления ионным пучком. |
| format |
Article |
| author |
Белянин, А.Ф. Самойлович, М.И. Житковский, В.Д. Каменева, А.Л. |
| author_facet |
Белянин, А.Ф. Самойлович, М.И. Житковский, В.Д. Каменева, А.Л. |
| author_sort |
Белянин, А.Ф. |
| title |
Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике |
| title_short |
Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике |
| title_full |
Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике |
| title_fullStr |
Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике |
| title_full_unstemmed |
Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике |
| title_sort |
ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе aln в электронной технике |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2005 |
| topic_facet |
Технологические процессы и оборудование |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53629 |
| citation_txt |
Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, В.Д. Житковский, А.Л. Каменева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 35-41. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT belâninaf udarostojkiezaŝitnyeplenočnyepokrytiânaosnovealnvélektronnojtehnike AT samojlovičmi udarostojkiezaŝitnyeplenočnyepokrytiânaosnovealnvélektronnojtehnike AT žitkovskijvd udarostojkiezaŝitnyeplenočnyepokrytiânaosnovealnvélektronnojtehnike AT kamenevaal udarostojkiezaŝitnyeplenočnyepokrytiânaosnovealnvélektronnojtehnike |
| first_indexed |
2023-10-18T18:21:09Z |
| last_indexed |
2023-10-18T18:21:09Z |
| _version_ |
1796143979483365376 |