Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике
Для формирования защитного покрытия AlN, стойкого к воздействию ударных нагрузок, пригодны методы магнетронного и диодного распыления, а также распыления ионным пучком....
Збережено в:
| Дата: | 2005 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2005
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53629 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, В.Д. Житковский, А.Л. Каменева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 35-41. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |