2025-02-23T23:36:45-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-53682%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T23:36:45-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-53682%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T23:36:45-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T23:36:45-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
СВЧ плазмохимическое осаждение структур для высокоапертурных планарных оптических волноводов

СВЧ плазмохимическое осаждение структур для высокоапертурных планарных оптических волноводов

Представлены результаты разработки технологии и исследования оптических характеристик высокоапертурных ПОВ на основе SiO₂-F | SiO₂ | SiO₂-F-структур, формируемых в плазме СВЧ-разряда....

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Григорьянц, В.В., Долгов, А.П., Кочмарёв, Л.Ю., Шилов, И.П.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2005
Series:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Subjects:
Технологические процессы и оборудование
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53682
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

Similar Items

2025-02-23T23:36:45-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&rows=40&rows=5&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-53682%22&qt=morelikethis
2025-02-23T23:36:45-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&rows=40&rows=5&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-53682%22&qt=morelikethis
2025-02-23T23:36:45-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T23:36:45-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response

Similar Items